近日，智能經(jīng)濟(jì)研究所發(fā)布了《深圳市MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展白皮書》，報(bào)告認(rèn)為：

1、深圳市MEMS產(chǎn)業(yè)下游應(yīng)用需求旺盛，核心產(chǎn)品緊系電子信息產(chǎn)業(yè)主動(dòng)脈。

2、MEMS制造環(huán)節(jié)短板突出，亟需構(gòu)建中試服務(wù)平臺(tái)，助力中小企提速發(fā)展。

3、深圳市在多個(gè)MEMS細(xì)分賽道具備先發(fā)優(yōu)勢(shì)，有望培育出若干獨(dú)角獸。

4、MEMS特色工藝種類多、難度大，強(qiáng)化高端MEMS人才引育是“關(guān)鍵一招”。

以下為報(bào)告精華內(nèi)容分享：

一、MEMS技術(shù)概覽

（一）MEMS的定義

微機(jī)電系統(tǒng)（Micro Electro-Mechanical System，簡(jiǎn)稱MEMS），是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的電子機(jī)械器件。MEMS具有微型化、智能化、高集成度和適于大批量生產(chǎn)、多學(xué)科交叉等特征。

（二）MEMS器件分類

MEMS器件根據(jù)其技術(shù)原理可分為四類：傳感MEMS、生物MEMS、光學(xué)MEMS和射頻MEMS。

圖片來(lái)源：創(chuàng)新中心智能經(jīng)濟(jì)研究所

二、MEMS產(chǎn)業(yè)鏈

MEMS整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈涉及設(shè)計(jì)、制造、封裝測(cè)試、軟件及應(yīng)用方案環(huán)節(jié)。MEMS產(chǎn)業(yè)鏈的上游負(fù)責(zé)MEMS器件設(shè)計(jì)、材料和生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)，中游生產(chǎn)制造出MEMS器件，下游使用MEMS器件制造終端電子產(chǎn)品。

圖：MEMS生產(chǎn)制造工藝流程圖，資料來(lái)源：創(chuàng)新中心智能經(jīng)濟(jì)研究所

三、MEMS產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)格局

（一）全球市場(chǎng)格局

1.全球MEMS行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模保持穩(wěn)定增長(zhǎng)。

據(jù)IC Insights統(tǒng)計(jì)，2019年全球MEMS產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)銷售額超140億美元，同比增長(zhǎng)10%，預(yù)計(jì)未來(lái)幾年全球MEMS市場(chǎng)將以15%的年復(fù)合增長(zhǎng)率增長(zhǎng)，到2023年市場(chǎng)規(guī)模突破200億美元。

圖：全球MEMS市場(chǎng)規(guī)模統(tǒng)計(jì)及預(yù)測(cè) 資料來(lái)源：IC Insights

2.細(xì)分領(lǐng)域呈現(xiàn)寡頭壟斷的分布格局。

據(jù)Yole Development公布的2018年全球MEMS元件廠商TOP30企業(yè)榜單，TOP30企業(yè)的總銷售額高達(dá)103億美元（占全行業(yè)81%）。其中，美國(guó)排名前30的廠商有12家，市場(chǎng)份額占比45.63%，主要包括RF MEMS、壓力傳感器、慣性傳感器、溫濕傳感器、MEMS麥克風(fēng)等細(xì)分領(lǐng)域；日本排名前30的廠商有10家，市場(chǎng)份額占比18.97%，主要包括圖像傳感器、繼電器、噴墨打印頭、壓力傳感器等領(lǐng)域；而中國(guó)只有歌爾和瑞聲兩家企業(yè)上榜，主要生產(chǎn)MEMS麥克風(fēng)。

圖：2018年全球TOP30MEMS元件制造廠商 資料來(lái)源：Yole Development

3.歐美MEMS代工廠具有壓倒性優(yōu)勢(shì)。

據(jù)Yole Development 發(fā)布的2018年全球MEMS代工廠發(fā)展報(bào)告，提供MEMS代工的IDM廠商主要有ST、索尼、TI等，臺(tái)積電MEMS代工業(yè)務(wù)也排在前列。從MEMS代工業(yè)務(wù)規(guī)模來(lái)看，TOP1為美國(guó)的ST，每2臺(tái)手機(jī)中就有1顆ST MEMS傳感器，其開展MEMS代工業(yè)務(wù)已有20余年。TOP2為加拿大的Teledyne DALSA，是全球最大的純MEMS 代工廠。TOP4是中國(guó)耐威科技控股公司Silex Microsystems AB，在純MEMS代工廠中排名第二。