1.突破共性核心技術(shù)，搶占戰(zhàn)略發(fā)展制高點。

重點圍繞MEMS慣導(dǎo)組件、車規(guī)級MEMS激光雷達、工業(yè)級MEMS壓電及力學(xué)傳感器等高精度、高可靠性核心器件的共性通用技術(shù)，實施一批重大核心技術(shù)攻關(guān)專項，力爭取得一批產(chǎn)業(yè)帶動性強、自主可控的重大原創(chuàng)科技成果和自主知識產(chǎn)權(quán)，搶占MEMS產(chǎn)業(yè)高端價值鏈。

2.建立MEMS中試平臺，助力企業(yè)提速發(fā)展。

以政府為主導(dǎo)搭建MEMS中試平臺，圍繞射頻、壓電、光學(xué)MEMS器件開展特色制造工藝的研發(fā)和中試，為廣大中小企業(yè)開發(fā)新產(chǎn)品提供工藝技術(shù)開發(fā)、流片試制、中試驗證、檢測評估等公共服務(wù)，加速MEMS器件全流程研發(fā)創(chuàng)新，補齊制造短板，構(gòu)建大灣區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)圈，促進MEMS產(chǎn)業(yè)高端化發(fā)展。

3.面向全球“靶向引才”，構(gòu)筑創(chuàng)新人才高地。

設(shè)立MEMS行業(yè)稀缺人才特殊獎勵政策，主動面向全球MEMS行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)、研究機構(gòu)和高校引進一批擁有豐富制造生產(chǎn)經(jīng)驗和先進工藝開發(fā)能力的頂級技術(shù)專家及工程師，助于本地MEMS企業(yè)迅速提升設(shè)計能力和工藝水平。同時，依托MEMS中試平臺開展國際研發(fā)項目合作、共建聯(lián)合實驗室，培養(yǎng)一批MEMS領(lǐng)軍人才，加強后備人才隊伍建設(shè)。引進和培育“兩手抓”，構(gòu)建國際一流人才高地，激發(fā)創(chuàng)新活力。