近日，武漢大學(xué)發(fā)布2項儀器設(shè)備采購意向，預(yù)算總額達(dá)1.99億元，涉及真空互聯(lián)原子刻蝕產(chǎn)品檢測儀、真空互聯(lián)光刻膠熒光檢測儀、真空互聯(lián)光刻膠光吸收檢測儀、真空互聯(lián)光刻膠電學(xué)性能檢測儀、硅晶圓激光隱形切割設(shè)備、多功能X射線測試裝置、集成電路關(guān)鍵尺寸檢測儀、大功率8寸手動變溫探針測試系統(tǒng)等，預(yù)計采購時間為2025年5~6月。
武漢大學(xué)2025年5~6月儀器設(shè)備采購意向匯總表
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