6月30日，由國家智能傳感器創(chuàng)新中心（簡稱“創(chuàng)新中心”）建設(shè)的國內(nèi)首條12英寸先進(jìn)傳感器中試線成功通線。該中試線以國產(chǎn)設(shè)備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、化學(xué)機(jī)械研磨、濕法清洗、自動(dòng)化量測等先進(jìn)傳感器和晶圓級3D集成技術(shù)的核心工藝能力，同時(shí)為國產(chǎn)裝備提供驗(yàn)證平臺，加速先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化，實(shí)現(xiàn)自主可控。

圖：12寸中試線的工藝設(shè)備

面向新興技術(shù)發(fā)展和市場應(yīng)用需求，創(chuàng)新中心將在12英寸中試線持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關(guān)鍵共性技術(shù)，重點(diǎn)突破光學(xué)、聲學(xué)、力學(xué)、生物等先進(jìn)傳感器的核心工藝，并推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)品及應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)化。

12英寸中試線位于上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園內(nèi)，產(chǎn)業(yè)園以智能傳感器為核心，以創(chuàng)新平臺和龍頭企業(yè)為支撐，伴有精準(zhǔn)的政策助力，發(fā)展傳感器特色工藝，積極培育和引進(jìn)領(lǐng)先的智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈領(lǐng)軍企業(yè)，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)集聚和協(xié)同發(fā)展，力爭將上海嘉定打造成國內(nèi)傳感器領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)高地。

國家智能傳感器創(chuàng)新中心致力于先進(jìn)傳感器技術(shù)創(chuàng)新，以關(guān)鍵共性技術(shù)的研發(fā)和中試為目標(biāo)，聯(lián)合中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟1000+ 家產(chǎn)業(yè)鏈各領(lǐng)域的代表企業(yè)開展共性技術(shù)研發(fā)，形成“產(chǎn)、學(xué)、研、用”協(xié)同創(chuàng)新機(jī)制，加速我國先進(jìn)傳感器及其相關(guān)應(yīng)用的核心技術(shù)發(fā)展，推動(dòng)智能傳感、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能的生態(tài)體系建設(shè)。