eLichens的超低功率二氧化碳傳感器（來源：eLinchens）

ELichen還開發(fā)了設(shè)計(jì)HVAC通風(fēng)系統(tǒng)所需的技術(shù)解決方案。

在通風(fēng)開發(fā)中，一個關(guān)鍵是要考慮一種系統(tǒng)，該系統(tǒng)不僅可以減少Co2的含量，而且不會降低Co2的濃度，以至于對用戶造成不好的影響，畢竟室內(nèi)空氣質(zhì)量是影響智力和整體健康的重要因素。為了測量室內(nèi)空氣質(zhì)量并將此信息提供給通風(fēng)系統(tǒng)，eLichens開發(fā)了傳感器來測量多種類型的室內(nèi)污染物：二氧化碳（CO2），揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOC）和顆粒物（PM2.5和PM10）。

ELichens的技術(shù)可以類似地應(yīng)用于智能城市，燃?xì)庑孤┍O(jiān)測，智能家居和客艙汽車。

6、Innoluce BV

Inoluce是ToF LiDAR微型激光掃描模塊的開發(fā)商，于2016年10月被英飛凌收購。

它知名的產(chǎn)品是由硅制成的獲得專利的1D MEMS反射鏡。據(jù)說該技術(shù)可自由更改反射鏡直徑和頻率，同時(shí)保持光學(xué)性能。這使諧振式1D MEMS反射鏡技術(shù)能夠提供不同的功能和廣泛的應(yīng)用范圍。

Innoluce激光掃描模塊（可根據(jù)客戶特定配置進(jìn)行調(diào)整）包含帶有ASIC的MEMS反射鏡，用于控制和驅(qū)動MEMS.（來源：Innoluce）

7、Innoviz

Innoviz是一家由以色列國防軍技術(shù)部門前成員于2016年在以色列成立的初創(chuàng)公司。Innoviz專注于“以大眾市場采用所需的成本和尺寸”為自動駕駛汽車開發(fā)激光雷達(dá)傳感器，其產(chǎn)品基于固態(tài)設(shè)計(jì)。

該初創(chuàng)企業(yè)與眾多戰(zhàn)略合作伙伴和頂級投資者建立了聯(lián)系。他們包括Aptiv（德爾福汽車公司），Magna International,三星，韓國軟銀風(fēng)險(xiǎn)投資公司，360 Capital Partners,Glory Ventures和Naver.

Innoviz的總資金已達(dá)到2億多美元。最新的融資消息是2019年，Innoviz獲得1.32億美元C輪融資。本輪融資確保了Innoviz的生產(chǎn)、制造和研發(fā)的順利推進(jìn)。2021年其固態(tài)激光雷達(dá)也將能夠按時(shí)交付。

8、MEMS Drive

MEMS Drive成立于2014年，是基于MEMS的執(zhí)行器設(shè)備的開發(fā)商。其目標(biāo)是設(shè)計(jì)用于移動設(shè)備的光學(xué)圖像穩(wěn)定（OIS）技術(shù)。

這家初創(chuàng)公司開發(fā)了用于智能手機(jī)中的首個5軸OIS（光學(xué)圖像穩(wěn)定）技術(shù)，通過移動傳感器，MEMS OIS可以針對攝像機(jī)的運(yùn)動提供快速而準(zhǔn)確的圖像穩(wěn)定。

MEMS Drive的光學(xué)圖像穩(wěn)定技術(shù)使成像器可以移動，而無需移動鏡筒進(jìn)行調(diào)整。它的優(yōu)點(diǎn)是無論使用哪種鏡筒或成像器格式，圖像都將穩(wěn)定下來，并且沒有鏡筒傾斜會降低圖像質(zhì)量。（來源：MEMS驅(qū)動器）

9、Menlo Micro

Menlo Micro成立于2016年，是一家從通用電氣（General Electric,GE）獨(dú)立出來的公司，致力于為磁共振成像（MRI）和其它醫(yī)療設(shè)備開發(fā)可靠、安全的功率開關(guān)。

Menlo Micro的6通道單刀單擲（SPST）機(jī)械開關(guān)（來源：Menlo Micro）

Menlo Micro注意到傳統(tǒng)的機(jī)電開關(guān)技術(shù)幾乎沒有創(chuàng)新，因此開發(fā)獨(dú)特的材料，設(shè)計(jì)和加工技術(shù)，以構(gòu)建增強(qiáng)型電子開關(guān)，該開關(guān)可以應(yīng)對必須持續(xù)數(shù)十年的高溫和高應(yīng)力條件。

該公司稱其新開關(guān)“比典型的機(jī)械開關(guān)的運(yùn)行速度快1000倍，可以處理數(shù)百瓦的功率，并且其結(jié)構(gòu)比人的頭發(fā)還小?！?Menlo Micro計(jì)劃針對其新型數(shù)字微型交換機(jī)，針對包括5G網(wǎng)絡(luò)在內(nèi)的移動基礎(chǔ)設(shè)施和工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)市場。

2019年，Menlo Micro發(fā)布了一款采用MEMS技術(shù)制造的新型功率繼電器。這款繼電器的FET與MEMS觸點(diǎn)并聯(lián)。FET可以消除觸點(diǎn)的電弧，因?yàn)樵?nèi)部的控制電路會在觸點(diǎn)斷開后關(guān)閉FET.FET會在觸點(diǎn)閉合之前導(dǎo)通，因此導(dǎo)通時(shí)間僅為10μs,與傳統(tǒng)的MEMS開關(guān)相比速度大幅提高。

Menlo Micro由GE Ventures支持，并由Corning Incorporated,Microsemi Corporation和Paladin Capital Group投資。該公司在2016年宣布籌集了1870萬美元。

10、Mistic SAS

Mistic SAS是一家位于法國巴黎的初創(chuàng)公司，致力于為醫(yī)療設(shè)備市場和其他行業(yè)開發(fā)基于鈦的MEMS技術(shù)。

Mistic SAS成立于2016年，從2010年代初開始就利用由學(xué)術(shù)和行業(yè)合作伙伴財(cái)團(tuán)領(lǐng)導(dǎo)的研究活動的成果。

Mistic技術(shù)的核心是將半導(dǎo)體納米和微制造技術(shù)轉(zhuǎn)換為鈦基板（“晶圓”）。據(jù)Mistic稱，它能夠提供多功能的鈦基部件，公差低至1μm.

機(jī)械和電氣特征是通過使用各種材料的選擇性沉積和蝕刻工藝來實(shí)現(xiàn)的。

為了滿足最嚴(yán)格的生物相容性要求，使用專有的生物相容性高貴材料對組件進(jìn)行了微工程處理。它們包括鈦，氧化鈦，氮化鈦，金，鉑和氧化鋁，并可以與客戶指定的任何材料一起使用。