1.16 高精度加速度傳感器

研究目標(biāo)：開(kāi)發(fā)高精度微型加速度傳感器，突破溫度漂移抑制和工藝一致性等關(guān)鍵技術(shù)，開(kāi)展工程化開(kāi)發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)在航空儀表、微慣性測(cè)量單元等領(lǐng)域儀器中的應(yīng)用。

考核指標(biāo)：量程±50g，分辨率≤5μg，綜合精度≤10μg，輸入軸失準(zhǔn)角≤12μrad，重復(fù)性≤4.5×10-4/年，功耗≤5mW，封裝體積≤φ20mm×12mm,工作溫度范圍-45°C~ 85°C，抗沖擊≥250g;平均故障間隔時(shí)間≥5000小時(shí)。[pagebreak]

1.17 陣列式微型超聲換能器

研究目標(biāo)：開(kāi)發(fā)陣列式微型超聲換能器，突破大幅面陣列陣元制備關(guān)鍵技術(shù)，開(kāi)展工程化開(kāi)發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)在超聲成像、流量檢測(cè)、指紋識(shí)別等儀器中的應(yīng)用。

考核指標(biāo)：陣列尺寸≤40mm×40mm，陣元數(shù)量≥64×64，工作頻率范圍100kHz~2MHz，空氣中聲壓級(jí)≥75dB（20μPa/V@1m），波束寬度≤30°，機(jī)械品質(zhì)因數(shù)≥30;平均故障間隔時(shí)間≥5000小時(shí)。

1.18 微型風(fēng)速風(fēng)向傳感器

研究目標(biāo)：開(kāi)發(fā)高性能微型風(fēng)速風(fēng)向傳感器，突破閉環(huán)控制和溫度漂移抑制等關(guān)鍵技術(shù)，開(kāi)展工程化開(kāi)發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)在風(fēng)電廠風(fēng)場(chǎng)檢測(cè)儀、野外便攜式氣象檢測(cè)儀、環(huán)境檢測(cè)儀等儀器中的應(yīng)用。