人類歷史上，3次技術(shù)革命都和計量測試技術(shù)的突破息息相關(guān)，計量測試科技成果對推動其他科學(xué)技術(shù)的進步與發(fā)展具有重要的促進和引領(lǐng)作用。

激光干涉測量是實現(xiàn)超精密測控和微納尺度測量的最有效手段之一，是保障可溯源納米測量的重要途徑，也是邁向計量強國、制造強國不可或缺的關(guān)鍵計量測試技術(shù)。近日，由清華大學(xué)李巖、尉昊赟、吳學(xué)健、張弘元、張繼濤、趙世杰、朱敏昊、黃沛、任利兵、楊宏雷完成的“高測速多軸高分辨力激光干涉測量技術(shù)與儀器”項目獲得2018年度中國計量測試學(xué)會科學(xué)技術(shù)進步一等獎。

該項目團隊針對光刻機工件臺超精密定位、基礎(chǔ)計量測量和高端儀器應(yīng)用中對激光干涉儀高動態(tài)、高分辨力、跨尺度和可溯源等測量需求，深入開展測量原理、方法和測量系統(tǒng)儀器化中的共性科學(xué)技術(shù)問題研究，突破集成多軸干涉、信號解調(diào)和折射率補償?shù)汝P(guān)鍵技術(shù)，形成全套自主的高性能激光干涉測量系統(tǒng)；提出系列可溯源至長度或頻率基準(zhǔn)的激光干涉測量方法，實現(xiàn)不確定度為皮、納米量級的高精度測量；形成了系列知識產(chǎn)品成果，研究成果支撐了我國自主研發(fā)光刻機的高精度定位，激光測振儀的信號解調(diào)等應(yīng)用，并入選國家“十二五”科技創(chuàng)新成就展。

該項目實現(xiàn)了從干涉儀組件、信號探測解調(diào)到多自由度探測方案設(shè)計的全鏈條自研開發(fā)的高測速、多軸大量程、高分辨力激光干涉測量系統(tǒng)，提出了光頻可溯源系列化激光干涉精密測長方法。截至目前，項目獲授權(quán)發(fā)明專利20余項，發(fā)表SCI收錄論文30余篇。

該項目團隊所研發(fā)的光刻機用雙頻激光干涉儀系統(tǒng)，已成功應(yīng)用到我國自研光刻機工件臺樣機研發(fā)過程中，累計應(yīng)用50余臺套，很好地滿足了光刻機雙工件臺樣機的精密測量需求，支撐了國內(nèi)光刻機用雙頻激光干涉儀能力的形成，減輕了對國外高端干涉儀的依賴，為我國高端裝備和儀器研發(fā)提供了性能優(yōu)良且不受制于人的測量及溯源能力。

“中國計量測試學(xué)會科學(xué)技術(shù)進步獎”是在國家科學(xué)技術(shù)獎勵辦公室登記備案的省部級科技進步獎。其中申報一等獎的項目要求整體技術(shù)已正式應(yīng)用三年以上并取得較大的經(jīng)濟效益或社會效益。目前產(chǎn)品已成功應(yīng)用到航空航天、汽車制造、機床檢測等多個領(lǐng)域，成為提升中國制造產(chǎn)品質(zhì)量的有力支撐工具。