9月8日，中國計(jì)量科學(xué)研究院在北京組織召開國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目NQI重點(diǎn)專項(xiàng)“納米幾何特征參量計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器研究及應(yīng)用示范”項(xiàng)目實(shí)施方案論證會(huì)。來自北京航天航空大學(xué)、西安交通大學(xué)、天津大學(xué)、中科院微電子所等國內(nèi)科研院所和重點(diǎn)大學(xué)的10多位專家參加會(huì)議。蘇州市計(jì)量測試院作為課題承擔(dān)單位參加了會(huì)議。

目前，我國納米計(jì)量量值傳遞體系尚不完善，納米幾何特征參量標(biāo)準(zhǔn)器存在不少空白，導(dǎo)致產(chǎn)業(yè)中大量的納米測量設(shè)備校準(zhǔn)溯源依賴國外儀器生產(chǎn)商和檢測機(jī)構(gòu),限制我國先進(jìn)制造業(yè)發(fā)展。

蘇州市計(jì)量測試院將通過開展“納米幾何特征參量計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器在先進(jìn)制造產(chǎn)業(yè)應(yīng)用示范”課題的研究，主要解決三個(gè)問題：一是針對量傳體系與產(chǎn)業(yè)脫節(jié)的技術(shù)問題，建立納米領(lǐng)域的社會(huì)公用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)到國家計(jì)量基準(zhǔn)的溯源。組織全國比對，確保全國計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)量值的準(zhǔn)確、一致、可靠。以點(diǎn)帶面，逐步在全國范圍內(nèi)建立完善的納米計(jì)量量傳體系；二是針對平板顯示領(lǐng)域中微納幾何關(guān)鍵參數(shù)溯源方法缺失的技術(shù)問題，應(yīng)用建立納米領(lǐng)域的社會(huì)公用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)，統(tǒng)一金屬、非金屬膜厚及ITO 電極尺寸定值過程中所涉及的掃描探針顯微鏡、三維光學(xué)輪廓儀等測量儀器的溯源問題。三是針對空氣潔凈領(lǐng)域中，由于測量儀器不同導(dǎo)致顆粒粒徑定值不統(tǒng)一的技術(shù)問題，通過用社會(huì)公用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)溯源的掃描電子顯微鏡的微觀分析技術(shù)，應(yīng)用于潔凈領(lǐng)域的空氣顆粒粒徑等參數(shù)的精確測量，規(guī)范空氣顆粒粒徑等參數(shù)的測試方法，形成行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，保障產(chǎn)業(yè)中對潔凈度等級(jí)進(jìn)行劃分的主要技術(shù)指標(biāo)的準(zhǔn)確。

朱建榮副長作為課題負(fù)責(zé)人，向各位專家介紹了課題的技術(shù)路線、研究難點(diǎn)、任務(wù)分解及實(shí)施進(jìn)度安排。課題將圍繞先進(jìn)制造產(chǎn)業(yè)計(jì)量需求，在產(chǎn)業(yè)密集區(qū)建立納米計(jì)量社會(huì)公用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)，組織全國比對確保量值準(zhǔn)確可靠一致，逐步形成覆蓋全國的納米幾何量值傳遞體系，并開展應(yīng)用示范，從根本上解決納米幾何標(biāo)準(zhǔn)器缺失和量傳體系與產(chǎn)業(yè)脫節(jié)的問題，打破國外壟斷，提升產(chǎn)品質(zhì)量和國際競爭力。