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我國利用SNoiM在納米結(jié)構(gòu)電子非平衡性檢測方面取得突破


  來源: 中華人民共和國科學(xué)技術(shù)部官網(wǎng) 時間:2018-05-10 編輯:夏立
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美國基礎(chǔ)能源科學(xué)顧問委員會報告中指出,當前科學(xué)上面臨的5大挑戰(zhàn)之一就是對非平衡態(tài)尤其是遠離平衡態(tài)的表征和操控。

按平衡態(tài)理論,人們預(yù)測在微電子器件中電流最大的位置往往會是電子溫度最高的地方。中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所紅外物理國家重點實驗室陸衛(wèi)研究員和復(fù)旦大學(xué)安正華研究員的科研團隊共同合作,利用非平衡輸運熱電子的實驗檢測在技術(shù),通過散粒噪聲對非局域熱電子能量耗散進行空間成像研究,發(fā)現(xiàn)在納米尺度結(jié)構(gòu)中,電子溫度最高之處并非局域在電流最大位置,而是明顯地向電流的流動方向偏離了,而且電子的溫度高于晶格溫度很多倍。從理論和實驗兩方面證實了這種奇異特性就來自熱電子的非平衡態(tài)特征。

該研究工作的最大挑戰(zhàn)來自于非平衡輸運熱電子的實驗檢測技術(shù)上。實驗室采用了自主研發(fā)的超高靈敏甚長波量子阱紅外探測器的掃描噪聲顯微鏡(SNoiM)技術(shù),稱為掃描噪聲顯微鏡技術(shù)。其基本機理是非平衡態(tài)電子的電流強烈漲落形成的散粒噪聲會直接導(dǎo)致近場甚長波紅外輻射,通過高靈敏的紅外近場檢測可實現(xiàn)僅測量到非平衡態(tài)電子特性,從而為直接觀察在納米結(jié)構(gòu)中電子的非平衡態(tài)乃至遠離平衡態(tài)的特性提供了獨特的方法。

相關(guān)研究成果“Imaging of nonlocal hot-electron energy dissipation via shot noise”(DOI: 10.1126/science.aam9991)已于2018年3月29日獲得《Science》雜志在線發(fā)表,將對認識和操控非平衡熱電子進而增強器件功能發(fā)揮重要作用。

這項研究工作得到了科技部國家重點研發(fā)計劃、國家自然科學(xué)基金委、上海市科委重大項目、中國科學(xué)院海外科學(xué)家計劃等資助。


應(yīng)用掃描噪聲顯微鏡(SNoiM)進行的超高頻率(~21.3THz)噪聲的納尺度成像,(A)掃描噪聲顯微鏡的實驗裝置示意圖。(B) GaAs/AlGaAs量子阱納米器件的電子受限區(qū)域的SEM圖。(C和D)相反偏置電壓(6V)下二維實空間的近場噪聲強度信號成像,近場信號由針尖高度調(diào)制模式獲得,其中彩色表達了電子的等效溫度。(E) 近場信號與針尖高度關(guān)系,近場信號是由電壓調(diào)制模式獲得。


噪聲強度隨偏置電壓增大的演變。(A-F)由針尖高度調(diào)制模式獲得的二維成像圖。(G)y方向(平行于[100])一維近場信號隨位置變化圖。(H)近場(圓和三角形點表達)和遠場(方形點表達)探測到的噪聲強度隨著偏置電壓的變化規(guī)律。


關(guān)鍵詞:微電子器件 掃描噪聲顯微鏡 非平衡態(tài)電子    瀏覽量:4821

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