北京康斯特儀表科技的MEMS微針陣列觸覺芯片（針尖直徑5μm），突破傳統(tǒng)硅基工藝限制，可實(shí)現(xiàn)0.01N級(jí)微力檢測，據(jù)悉已獲得國際大廠機(jī)器人訂單。

從現(xiàn)有的MEMS技術(shù)路線產(chǎn)品來看，國內(nèi)廠商在壓阻式、電容式、壓電式、磁電霍爾效應(yīng)、光學(xué)式等多種技術(shù)路線上均有布局，且已達(dá)到國際先進(jìn)水平。

一款陣列式觸覺傳感單元

柔性觸覺傳感器則具備類似于人類皮膚的柔韌性，可以適應(yīng)任意載體形狀，更利于測量物體表面受力信息、感知目標(biāo)物體性質(zhì)特征，目前正處于研發(fā)和小批量應(yīng)用階段。

目前，柔性觸覺傳感器高端產(chǎn)能被國外大廠占據(jù)，市場格局較為集中。根據(jù)QYReaearch數(shù)據(jù)，全球柔性觸覺傳感器市場主要被海外企業(yè)占據(jù)，全球排名TOP5的廠商主要包括Novasentis、Tekscan、Japan Display Inc. (JDI)、Baumer、Fraba，合計(jì)占有大約57.1%的市場份額。國內(nèi)企業(yè)主要包括漢威科技、鈦深科技等。

漢威科技基于柔性壓電材料（PVDF）開發(fā)的觸覺傳感薄膜，厚度僅0.1mm，可貼合復(fù)雜曲面，靈敏度達(dá)0.01N級(jí)，目前已應(yīng)用于優(yōu)必選Walker S靈巧手指尖，可實(shí)現(xiàn)壓力分布實(shí)時(shí)反饋。

漢威旗下蘇州能斯達(dá)采用納米敏感材料體系，推出了柔性壓阻式觸覺傳感器，支持大面積陣列設(shè)計(jì)（100×100單元），空間分辨率達(dá)0.5mm，在工業(yè)機(jī)器人夾爪中可實(shí)現(xiàn)±0.2N力控精度。

從總體態(tài)勢(shì)上來看，國內(nèi)儀器廠商在柔性觸覺傳感器領(lǐng)域已基本形成“雁型”陣列。