總之 ，面向國家安全和醫(yī)療健康領域的重大需求，經(jīng)過多年持續(xù)的努力，我們?nèi)〉靡幌盗芯哂袊H先進水平的科研成果，部分技術處于國際領先地位， 其中多項核心技術尚屬國際首創(chuàng)。
《微納電子與智能制造》：傳感器技術與計算機技術、通信技術作為現(xiàn)代信息技術的三大支柱，也是計算機技術與通信技術的基礎 ，核心傳感器的元器件更是工業(yè)基石 ，請您簡要介紹一下近些年智能傳感器與 MEMS 技術研究和發(fā)展的重要歷程及產(chǎn)業(yè)發(fā)展動態(tài)。
尤政院士：簡單來說 ，傳感器的重要性體現(xiàn)在：它是信息獲取的源頭 、物理世界與數(shù)字世界的接口。傳感器可以把環(huán)境中的物理、化學量等被測信息轉(zhuǎn)化為電信號 ，而 MEMS 技術則可將傳感器中機械結(jié)構(gòu)與電路系統(tǒng)通過規(guī)模化制造工藝集成在芯片上 ，因而 MEMS 技術是傳感器的使能技術。
在 “MEMS”一詞出現(xiàn)之前 ，深硅刻蝕、諧振器、電容檢測等 MEMS 技術就早已應用于微傳感器中；隨著 20 世紀 90 年代以來的 MEMS 技術快速發(fā)展期 ，基于 MEMS 技術的各種微傳感器大發(fā)異彩 ，已經(jīng)成為傳感器技術領域的重要發(fā)展方向與發(fā)展趨勢。
進入新世紀 ，特別是近 10 年以來 ，微電子 、MEMS、光電子技術的不斷突破 ，人工智能 、無線通訊等科技的興起 ，智能微系統(tǒng)技術又成為了智能傳感器的關鍵核 心技術 ，推動傳感器在社會生產(chǎn)生活中發(fā)揮越來越重要的作用。
從技術發(fā)展的角度來講 ，早期的智能傳感器大都是指傳統(tǒng)傳感器加入處理器 ，帶有數(shù)據(jù)處理功能的傳感器；發(fā)展到現(xiàn)在，隨著 MEMS 技術、通訊技術、 計算機技術，特別是微系統(tǒng)技術、人工智能等前沿技 術的交叉融合，基于微系統(tǒng)技術的智能傳感器，不僅具有傳感、處理、通訊等功能，還能實現(xiàn)自供電、自組網(wǎng)、自校準、自學習等智能化的功能、性能。
基于微系統(tǒng)技術的智能傳感器將在各個領域發(fā)揮重要作用，除了航空航天、高端裝備等事關國防安全、重大工程的國家戰(zhàn)略領域之外，在醫(yī)療健康、汽車 電子、消費電子、物聯(lián)網(wǎng)等事關社會經(jīng)濟發(fā)展及民生領域等也都離不開智能傳感器。
《微納電子與智能制造》：目前中國智能微系統(tǒng)與 MEMS 產(chǎn)業(yè)的發(fā)展中 ，核心關鍵的傳感元器件的發(fā)展還存在發(fā)展瓶頸，然而機會與挑戰(zhàn)并存，請您介紹一下中國在該領域的發(fā)展面臨怎樣的瓶頸和挑戰(zhàn)，有哪些發(fā)展機遇，該如何進行突破？
尤政院士：傳感器作為“工業(yè)基石”，是各類產(chǎn)業(yè)賴以生存和發(fā)展的基礎，作為“性能關鍵”，將直接決定重大裝備和整機產(chǎn)品的性能、質(zhì)量，那么基于微系統(tǒng)技術與 MEMS 技術的智能傳感器也必將成為構(gòu)筑未來智能社會基礎設施、工業(yè)基礎支撐體系、各類裝備產(chǎn)品的關鍵。
然而由于我國目前微系統(tǒng)與智能傳 感器領域的核心關鍵技術發(fā)展滯后 ，中高端傳感器受制于人 ，已經(jīng)成為“卡脖子”障礙。
我國自主生產(chǎn)的傳感器已完全可以滿足低端市場的需求 ，然而在中高端市場上，超過60%的市場份額被國外愛默生、 西門子、博世、意法半導體、霍尼韋爾等外國巨頭占據(jù)，特別是高端產(chǎn)品幾乎全靠進口，80%的傳感器芯片依賴國外。
目前，我國主要面臨以下挑戰(zhàn)與瓶頸問題：
（1）在研究主體方面，國內(nèi)主要集中在高等院校與研究所，而國外還包括眾多有實力的公司和企業(yè)；
（2）在研發(fā)投入方面，國內(nèi)微系統(tǒng)與智能傳感器制造的專門設施較少，研發(fā)投入也較少，而國外基本都具備比較完善的開放生產(chǎn)線（平臺），同時投入大量研發(fā)經(jīng)費；
（3）在傳感器芯片方面，由于工藝成熟度與傳感器專用試驗設施的不足，國內(nèi)差距明顯，特別是中高端芯片；
（4）在制造與集成工藝方面，尚無微系統(tǒng)制造與集成的國產(chǎn)化關鍵設備，與國外仍有較大差距；
（5）在產(chǎn)業(yè)化方面，國外多家公司已具備批生產(chǎn)能力，而國內(nèi)總體處于集成、封裝及工程化的初級階段。
至于對策 ，除了針對上述差距與問題落實有針對性的措施之外 ，還要圍繞智能微系統(tǒng)這一顛覆性關鍵技術 ，把握技術發(fā)展趨勢 ，搶占未來技術制高點，催生大批升級換代甚至變革行業(yè)的新產(chǎn)品，為相關傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)跨越式發(fā)展提供新機遇。
在設計、制造、 測試等共性基礎技術方面進行重點發(fā)力，在感知、處理、通訊、執(zhí)行、供能等重要關鍵技術方面進行重點突破 ，同時在感知智能微系統(tǒng)、空間智能微系統(tǒng)、生化分析微系統(tǒng)、新概念智能微系統(tǒng)等前沿方向布局示范。
