河南日報記者 李宗寬 河南日報社全媒體記者 范坤鵬

7月11日，在位于洛陽高新區(qū)的洛陽單晶硅集團控股子公司麥斯克電子材料股份有限公司（以下簡稱麥斯克電子）超凈車間里，單晶硅棒經(jīng)過切割、倒角、化學清洗以及拋光，一片片光滑如鏡的銀灰色硅拋光片被送到自動化設(shè)備上接受質(zhì)量檢測。

“今年上半年，我們克服不利因素，全力以赴拼經(jīng)濟，企業(yè)運行平穩(wěn)有序?！甭尻枂尉Ч杓瘓F總經(jīng)理兼麥斯克電子董事長史建強告訴記者，“我們的8英寸硅拋光片不僅替代進口，還逐步走向了國際市場?！弊鳛橹胁康貐^(qū)首家具備規(guī)?；a(chǎn)IC級8英寸硅拋光片能力的高新技術(shù)企業(yè)，麥斯克電子已具備100萬片年產(chǎn)能，產(chǎn)品銷往美國、韓國、新加坡、日本、印度等國家。

硅拋光片是芯片等產(chǎn)品的上游原材料，然而，在大直徑半導體硅片領(lǐng)域，我國對于進口的依賴程度依舊較高。“尺寸越大，可制造的芯片數(shù)量就越多，相應(yīng)成本就越低?！笔方◤娊榻B，麥斯克電子的拳頭產(chǎn)品為4至8英寸硅拋光片，盡管每次迭代產(chǎn)品只有2英寸的差別，但是每次提升工藝控制的難度都成倍地增加，在研發(fā)和生產(chǎn)的每個環(huán)節(jié)，都要精益求精。

領(lǐng)跑的背后是科研的強力支撐。麥斯克電子是國務(wù)院國資委科改示范企業(yè)和國家級專精特新“小巨人”企業(yè)，公司建有企業(yè)技術(shù)中心、大尺寸硅拋光片工程技術(shù)研究中心及先進硅基低阻值電子材料工程研究中心等三個省級研發(fā)平臺，致力于半導體硅片加工技術(shù)的研究和半導體硅材料產(chǎn)業(yè)自主水平的提升。麥斯克電子“工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺賦能硅基底材料全生命周期質(zhì)量管控解決方案”入選工信部發(fā)布的“工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺+質(zhì)量管理試點示范”名單。通過持續(xù)探索大規(guī)模集成電路硅拋光片智能化制造的新路徑，麥斯克電子以數(shù)字化助力“中國芯”加速崛起。

目前，麥斯克電子與國內(nèi)知名設(shè)備廠商聯(lián)合，在國內(nèi)首創(chuàng)完成了半導體硅片用金剛線設(shè)備和切割工藝的開發(fā)。麥斯克電子還與國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈上下游建立了穩(wěn)固的合作關(guān)系，積極推進設(shè)備與原材料國產(chǎn)化進程；在原材料方面，與省內(nèi)多家知名企業(yè)密切合作，帶動產(chǎn)業(yè)鏈上下游共同發(fā)展。

“我們正在積極向半導體硅片領(lǐng)域進行縱深布局，將充分利用技術(shù)積淀優(yōu)勢，整合和優(yōu)化現(xiàn)有產(chǎn)業(yè)鏈，提升企業(yè)價值和競爭力，為河南省加速搶灘半導體產(chǎn)業(yè)、實施換道領(lǐng)跑戰(zhàn)略作出國資國企貢獻?！笔方◤姳硎尽?