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圖像傳感器之像素縮放競賽


  來源: 傳感器專家網(wǎng) 時間:2020-05-14 編輯:儀器儀商WXF
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高分辨率相機不一定等同于更好的照片。這是像素尺寸和分辨率之間的權(quán)衡問題。像素縮放意味著像素更多,當(dāng)分辨率超過40MP和50MP時,這些功能可能超出了人們的視野,無法看到它們捕獲的內(nèi)容。對于CMOS圖像傳感器,具有更好的量子效率(QE)和信噪比的像素是圖像質(zhì)量的最重要因素。



此外,智能手機不會取代專業(yè)數(shù)碼單反相機。但顯然,智能手機提供了比以往更多的功能。Veeco產(chǎn)品營銷高級經(jīng)理Ronald Arif表示:“人們一定會為5G吸引更多的帶寬和潛在的應(yīng)用,例如現(xiàn)場體育賽事的8K流媒體到實時AR / VR / MR游戲?!薄白钚碌?G手機中的攝像頭已經(jīng)變得更加先進。他們開始整合用于深度感測的VCSEL器件,該器件可用于從客廳的自動對焦到3D映射的任何地方??梢韵胂髮⒕哂猩疃扔成涔δ芎?G的高級相機組合在一起。這可能會打開豐富的新應(yīng)用程序,例如游戲,實時流媒體,遠程學(xué)習(xí)和視頻會議?!?


在其他創(chuàng)新中,供應(yīng)商正在運送近紅外(NIR)圖像傳感器。NIR可以照亮可見光譜之外的波長的物體,是為在近乎或完全黑暗的環(huán)境中工作的應(yīng)用而設(shè)計的。OmniVision的新近紅外技術(shù)使940nm的不可見近紅外光譜提高了25%,而在幾乎不可見的850nm的近紅外波長上,則提高了17%。


在單獨的開發(fā)中,Sony和Prophesee開發(fā)了基于事件的視覺傳感器。這些傳感器面向機器視覺應(yīng)用,可在各種環(huán)境中檢測快速移動的物體。


2、像素縮放競賽


幾年前,CMOS圖像傳感器供應(yīng)商開始了所謂的像素縮放競賽。


像素縮放競賽指在給定時間段內(nèi)減小每一代的像素間距,像素間距描述了設(shè)備中每個像素之間的距離,較高的像素密度等于更高的分辨率,但并非所有傳感器都需要較小的間距。


圖像傳感器本身是一個復(fù)雜的芯片。頂層稱為微透鏡陣列,下一層是基于馬賽克綠色,紅色和藍色陣列的濾色器,再下一層是有源像素陣列,它由稱為光電二極管的光捕獲組件以及其他電路組成。


CMOS圖像傳感器的框圖。資料來源:OmniVision


有源像素陣列細(xì)分為微小的單個感光像素,像素由光電二極管,晶體管和其他組件組成,像素大小以μm為單位。


像素尺寸較大的圖像傳感器會收集更多的光,這意味著信號更強。較大的圖像傳感器會占用電路板空間。像素較小的圖像傳感器收集的光較少,但是您可以將更多的傳感器封裝在芯片上。反過來,這提高了分辨率。


目前,有幾種方法可以在晶圓廠中制造圖像傳感器。


方法一是形成像素陣列。流程從在基板上進行正面處理開始,晶片被粘結(jié)到載體或處理晶片;然后,頂部經(jīng)過注入步驟,再進行退火工藝;最后,頂部涂有抗反射涂層,彩色膠卷和微透鏡被顯影。


方法二是先對硅基板的表面進行注入步驟,在頂部形成擴散阱和金屬化疊層后,結(jié)構(gòu)被翻轉(zhuǎn),溝槽刻在背面,襯層沉積在溝槽的側(cè)壁上,并填充有介電材料,最后,濾光器和微透鏡在頂部制造。


幾年前,圖像傳感器的像素間距為7μm,而發(fā)展到2020年,索尼已經(jīng)突破了0.7μm。在這場像素競賽中,廠商們經(jīng)歷了多次技術(shù)的變革。


①、高速發(fā)展的FSI時代


直到2009年,主流CMOS圖像傳感器都基于前照式(FSI)像素陣列架構(gòu)。在操作中,光線會照射到設(shè)備的正面,然后微透鏡收集光并將其傳輸?shù)讲噬珵V光片,光再穿過互連的堆疊并被二極管捕獲。最后,電荷在每個像素處轉(zhuǎn)換為電壓,然后信號被多路復(fù)用。


多年來,F(xiàn)SI體系結(jié)構(gòu)使供應(yīng)商在短時間內(nèi)得到了快速發(fā)展。例如,據(jù)TechInsights稱,F(xiàn)SI體系結(jié)構(gòu)使供應(yīng)商的間距從2006年的2.2μm減少到2007年的1.75μm,但到2008年時,像素縮放卡在了1.4μm的瓶頸上。


②、BSI繼續(xù)加速啟動像素縮放


因此,從2009年左右開始,供應(yīng)商開始使用一種新的架構(gòu)——背面照明(BSI)。BSI體系結(jié)構(gòu)將圖像傳感器顛倒了,光從硅襯底的背面進入。因為光子到光電二極管的路徑更短,從而提高了量子效率。


FSI與BSI。資料來源:Omnivision


在像素縮放方面,BSI傳感器技術(shù)可在1.2μm至1.4μm的范圍內(nèi)實現(xiàn)最佳像素尺寸,而堆疊式BSI可使具有此類像素尺寸的傳感器的占位面積保持在30mm2以下。因此 ,可以使用四像素架構(gòu)啟用亞微米尺寸的像素,從而實現(xiàn)超過48MP的分辨率。


但在BSI中還有需要注意的問題,比如,在像素縮放中,光電二極管(關(guān)鍵的光捕獲組件)在圖像傳感器內(nèi)縮小,從而降低了效率,而且二極管靠得更近,容易產(chǎn)生串?dāng)_問題。


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