雙脈沖測試主要實現(xiàn)的是功率半導(dǎo)體的動態(tài)特性測試，動態(tài)特性主要包括開關(guān)特性、反向恢復(fù)、結(jié)電容、柵電荷等幾部分，其具體包括的測試項目如表1所示。
表1 雙脈沖測試項目內(nèi)容
雙脈沖測試所需硬件組成
如圖8所示是雙脈沖測試平臺結(jié)構(gòu)圖，包括測試板、直流電源、輔助電源、信號發(fā)生器、示波器、電壓探頭、電流探頭等硬件組成。
圖8 雙脈沖測試平臺結(jié)構(gòu)圖
測試板：包括主功率電路、驅(qū)動電路、去耦電容、母線電容、對外接口，一般由測試人員自行設(shè)計，確保實現(xiàn)所需測試無誤，測試板需要根據(jù)被測產(chǎn)品不同而進行調(diào)整。
直流電源：在雙脈沖測試中，為母線電容充電，起到提供母線電壓的作用，對其基本要求是其輸出電壓能夠滿足測試要求，特別需要考慮電壓等級，輸出電流能力等。
輔助電源：輔助電源一般用于為驅(qū)動電路供電，一般以臺式直流源為主。
信號發(fā)生器：在雙脈沖測試過程中需向驅(qū)動電路發(fā)生雙脈沖信號指令，可以由測試者使用MCU開發(fā)板完成，或者選擇單獨的信號發(fā)生器產(chǎn)品亦可。
示波器：雙脈沖測試中最重要的設(shè)備就是示波器，示波器的選擇要充分考慮被測設(shè)備的上升時間、頻率響應(yīng)時間，因此對示波器的帶寬有一定要求。隨著目前功率器件開關(guān)頻率的上升，示波器的帶寬一般要求不小于500MHz。其次為準確測量雙脈沖過程中的電壓、電流數(shù)據(jù)，對示波器本身的測量精度、底噪要求會比較高，最好采用高位數(shù)ADC的示波器產(chǎn)品。
ZUS系列是致遠儀器推出的采用12bit高速ADC，實現(xiàn)最高1GHz測量帶寬，并配備了電源分析、智能硬件時序分析、汽車總線分析、以太網(wǎng)眼圖、X-Key等功能的高精度示波器，非常使用用于雙脈沖測試。
圖9 ZUS系列高精度示波器
電壓探頭：由于功率器件在開關(guān)瞬間往往會有較高的電壓，因此電壓采集一般采用高壓差分探頭，在雙脈沖測試中需要選擇帶寬足夠高、共模抑制比足夠大的差分探頭，更好的選擇是使用光隔離探頭。
致遠儀器推出的ZOP5035系列光隔離探頭，具有超高共模抑制比，最大差分電壓測量可達2500V，具備500MHz帶寬，非常適合用于雙脈沖測試。
圖10 ZOP5035光隔離探頭
電流探頭：雙脈沖測試中需要測試電流信號，需要匹配電流探頭，與差分探頭一樣需要考慮電流探頭的帶寬、量程范圍。
致遠儀器推出的ZCP系列電流探頭，具有量程寬，帶寬高，兼容性好等特點。
圖11 ZCP系列電流探頭
時間偏移校準夾具：因為示波器采用了差分探頭和電流探頭，而且雙脈沖測試中電壓、電流頻率較高，探頭在測試高頻信號時會產(chǎn)生一定的延遲。在測試中需要校準探頭延時，以消除延時影響。因此需要配套時間偏移夾具進行校準。
致遠儀器提供的ZDF1000校準夾具支持LARGE LOOP/SMALL LOOP工作模式，可以輸出12KHz方波信號用于探頭校準。
圖12 ZDF1000校準夾具
隨著行業(yè)測試需求的提升，致遠儀器將立足行業(yè)需求，不斷推出新的測試方案，為行業(yè)發(fā)展提供助力。
