全雙端口SOLT校準包括開路、短路、負載和直通4種校準標準，4種標準分別對應(yīng)4種片上的校準件（如圖9所示）。以開路校準為例，在顯微鏡中定位開路校準件，扎下探針，點擊如圖8所示校準界面的[開路]，彈窗中點擊 [PROBE(OPEN)]，完成后發(fā)出提示音表示此標準校準完成，[開路]變?yōu)榫G色。端口2的[開路]校準方法同上。 [短路]、[負載]和[直通]均按此方法依次校準。

圖9  片上的4種校準件

（5）保存校準數(shù)據(jù)

校準完成后，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀可保存.cst校準文件方便回調(diào)。

（6）校準后系統(tǒng)驗證

為驗證校準結(jié)果的準確性，校準后測量校準片上的其它校準件，結(jié)果如表2所示。驗證系統(tǒng)結(jié)果表明：系統(tǒng)已被校正完成，可以進行測試。

表2  校準后系統(tǒng)驗證

注意：

? 矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀開機后要預(yù)熱充分使系統(tǒng)穩(wěn)定，否則校準或測試結(jié)果可能產(chǎn)生漂移；

? 安裝探針與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的連接電纜時，連接要可靠且電纜線盡量固定，保證測量過程中不發(fā)生移動；

? 探針為易損件且價格昂貴，在測試過程中應(yīng)避免磕碰；

? 在扎下探針時，力度要控制在合理范圍內(nèi)。力度太輕容易造成測量不穩(wěn)定，太重則會縮短探針壽命，甚至損壞探針；

? 任何調(diào)整探針位置及姿態(tài)的操作都要在探針與測試件分離的情況下進行。

2.3 測試

校準完成，開始對被測件進行測試。

（1）定位被測件

載物臺的控制旋鈕如圖10所示。拉起安全壓桿，將校準片從載物臺上移除，放置被測件，放下安全壓桿。圖中X、Y和θ三個旋鈕可分別調(diào)節(jié)載物臺的X、Y和θ方向，其中θ是載物臺繞Z軸的旋轉(zhuǎn)角。平移載物臺，使顯微鏡中可觀測到被測件，被測件如圖11所示。

圖10  探針臺移動旋鈕所在位置

圖11  被測件

（2）測試結(jié)果

將左右探針分別扎入被測件中間和右側(cè)的PAD上，扎針力度控制在合理范圍內(nèi)。從矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀中讀取測試結(jié)果如圖12所示，測試結(jié)果包含S11、S21、S12和S22。通過[光標]鍵設(shè)置光標至關(guān)心的頻率點，可得到此頻率點的S參數(shù)。

圖12  被測件S參數(shù)測試結(jié)果

（3）保存結(jié)果

選擇[文件]→[另存為]，屏幕圖像可保存為.png或.jpg文件，數(shù)據(jù)可保存為.s2p或.prn類型文件。保存數(shù)據(jù)時，有“對數(shù)相位”、“線性相位”和“實部虛部”三種格式，本文選擇[定義數(shù)據(jù)存儲]→[對數(shù)/相位]，保存數(shù)據(jù)文件。

（4）測量結(jié)束

保存完成后，將探針與被測件分離，抬起安全壓桿，拉出載物臺，取出被測件。小心取下探針，關(guān)閉探針臺和矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，整個測量過程結(jié)束。

(中電科思儀科技股份有限公司 李宇陽、楊保國供稿)