為GX7305的前面板設(shè)計(jì)的專(zhuān)用ITA，允許在測(cè)試系統(tǒng)資源和加載板之間進(jìn)行簡(jiǎn)單、干凈的布線(xiàn)。PXI儀器線(xiàn)纜和外部E36313A電源線(xiàn)與ITA背板的連接器進(jìn)行適配，當(dāng)鉸鏈面板關(guān)閉時(shí)，連接器是隱藏在內(nèi)部的。ITA的前面板有連接到負(fù)載板的線(xiàn)纜、質(zhì)量流量控制器和排氣閥的連接裝置（如圖4）。

圖5詳細(xì)描述了測(cè)試系統(tǒng)資源和相關(guān)的ITA結(jié)構(gòu)框圖。

氣體控制

為了精確控制氣體對(duì)DUT的曝光量，專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)了一個(gè)封閉的環(huán)境(chamber)來(lái)容納負(fù)載板，并將測(cè)試氣體限制在一個(gè)有限的空間內(nèi)。通過(guò)質(zhì)量流量控制器(MFCs)將氣體引入到這個(gè)封閉的空間中，質(zhì)量控制器測(cè)量潔凈干燥空氣、濕化空氣和測(cè)試氣體，允許它們精確地混合，以達(dá)到所需的氣體密度(單位為百萬(wàn)分之一)。還為每個(gè)chamber提供了一個(gè)單獨(dú)的MFC，以便測(cè)量混合氣體到封閉室的控制體積。MFC的控制是使用GX5295的J3連接器上的外部PMU通道來(lái)執(zhí)行的。

測(cè)試完成后，使用排氣閥將測(cè)試氣體從負(fù)載板的封閉室內(nèi)排出。排氣閥是通過(guò)電磁閥進(jìn)行操作，所需的電源由E36313A電源供給，控制是通過(guò)ITA上面的12V的開(kāi)關(guān)繼電器進(jìn)行控制。

軟件

控制系統(tǒng)的軟件是使用的ATEasy 10。軟件控件的編寫(xiě)方便了后期系統(tǒng)的擴(kuò)展。ATEasy支持多線(xiàn)程應(yīng)用。對(duì)于每個(gè)GX5295/負(fù)載板 /chamber（封閉室），ATEasy實(shí)例化一個(gè)單獨(dú)的線(xiàn)程來(lái)處理測(cè)量數(shù)據(jù)并生成數(shù)據(jù)日志報(bào)告。ATEasy測(cè)試應(yīng)用程序可查詢(xún)系統(tǒng)中安裝的GX5295的數(shù)量（每64個(gè)站點(diǎn)的負(fù)載板對(duì)應(yīng)一個(gè)GX5295），然后為每個(gè)負(fù)載板動(dòng)態(tài)分配一個(gè)線(xiàn)程。處理所有線(xiàn)程中共有的線(xiàn)程，如：初始化每個(gè)負(fù)載板上并行運(yùn)行的數(shù)字測(cè)試模式，方便使用線(xiàn)程進(jìn)行同步。

ATEasy測(cè)試應(yīng)用程序中的驅(qū)動(dòng)包括GX5295、GX5733、Keysight 電源模塊、GX7305機(jī)箱控制器以及一個(gè)用于管理數(shù)據(jù)日志記錄的Excel電子表格驅(qū)動(dòng)程序。在GX5733靜態(tài)數(shù)字設(shè)備上構(gòu)建了一個(gè)MOX驅(qū)動(dòng)程序，用于簡(jiǎn)化對(duì)負(fù)載板的控制。

交付的包中包含用于高級(jí)創(chuàng)建I2C總線(xiàn)模式、連接和加載I2C總線(xiàn)序列以及下載捕獲的I2C總線(xiàn)流量進(jìn)行診斷和分析的工具。將數(shù)據(jù)記錄到Excel電子表格中可以方便地使用Excel的所有高級(jí)數(shù)據(jù)分析工具，如圖形、過(guò)濾器和公式的應(yīng)用。

與DUT的通信是通過(guò)I2C總線(xiàn)完成的。如上所述，每個(gè)設(shè)備都預(yù)先配置了相同的I2C從地址。如果所有DUT都駐留在同一個(gè)I2C總線(xiàn)上，那么在進(jìn)行測(cè)試之前，需要用唯一的從地址對(duì)每個(gè)設(shè)備重新編程，以避免總線(xiàn)沖突，然后將從地址重新編程為默認(rèn)值，以便交付給客戶(hù)。使用每個(gè)設(shè)備的專(zhuān)用總線(xiàn)允許發(fā)生在該默認(rèn)地址上的所有通信，節(jié)省了時(shí)間和金錢(qián)，也可以避免潛在的認(rèn)為錯(cuò)誤。一個(gè)獨(dú)立的GX5295有32個(gè)I/O通道可以允許8組I2C總線(xiàn)同事進(jìn)行通訊，而無(wú)須考慮地址沖突問(wèn)題。

I2C測(cè)試模式是通過(guò)一個(gè)用ATEasy編寫(xiě)的簡(jiǎn)單應(yīng)用程序生成的（如圖6）?？偩€(xiàn)命令是使用預(yù)先定義的總線(xiàn)命令的下拉菜單構(gòu)造的，用于對(duì)設(shè)備寄存器進(jìn)行讀/寫(xiě)操作。空閑命令還允許在需要空閑時(shí)間的命令之間插入空閑時(shí)間，或者作為數(shù)據(jù)模式中的可視分隔。

基于測(cè)試流程的需求，需要對(duì)單個(gè)設(shè)備生成一系列的命令。然后使用用于生成和診斷GX5295數(shù)字測(cè)試模式的工具DIOEasy(如圖7)，將單個(gè)(四線(xiàn))總線(xiàn)控制復(fù)制到GX5295支持的其余7個(gè)總線(xiàn)上。每個(gè)測(cè)試進(jìn)程都被寫(xiě)為一系列獨(dú)立的測(cè)試序列，所以可以以任何想要的順序進(jìn)行組合。

執(zhí)行這種組合的ATEasy包含一個(gè)離線(xiàn)實(shí)用程序，它可以生成一個(gè)大型的測(cè)試文件，在系統(tǒng)初始化期間快速加載到測(cè)試硬件中。為了幫助調(diào)試和診斷，也將生成一個(gè)文本文件，其中會(huì)標(biāo)識(shí)加載測(cè)試的順序、他們的初始向量地址和每個(gè)模式序列中的模式大小。