圖9差分電路后輸出波形
5.3測(cè)試數(shù)據(jù)
測(cè)試數(shù)據(jù)，如表1所示不同值的5次測(cè)量結(jié)果。
對(duì)于100 pA，測(cè)量平均值：
=100.156 pA，測(cè)量誤差為0.16%，測(cè)量重復(fù)性s=0.24 pA；
對(duì)于10 pA，測(cè)量平均值：
=9.993 pA，測(cè)量誤差為- 0.07%，測(cè)量重復(fù)性s=0.04 pA.
測(cè)量準(zhǔn)確度、重復(fù)性達(dá)到預(yù)期目的，符合0.5級(jí)要求。
6結(jié)論
隨著電子測(cè)量技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，pA級(jí)別的電流測(cè)量在眾多領(lǐng)域具有極其重要的地位，微電流測(cè)量極易受到環(huán)境條件和測(cè)量?jī)x器自身噪聲的影響。依據(jù)提出的測(cè)量方法設(shè)計(jì)的測(cè)量?jī)x器經(jīng)高、低溫、電磁干擾等試驗(yàn)，對(duì)于10 pA電流，儀器準(zhǔn)確度可達(dá)0.5級(jí)，具有較高的準(zhǔn)確度和較好的測(cè)量重復(fù)性、穩(wěn)定性。試驗(yàn)數(shù)據(jù)表明，去除工頻干擾和直流誤差的影響是減小微電流測(cè)量誤差的主要因素。
