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50納米級的超高分辨率數(shù)字圖像傳感器


  來源: 儀器儀表商情網(wǎng) 時間:2015-11-09 作者:Stanford
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宋教授介紹說,具體而言,首先他們定義了一個新的數(shù)字電路基本元件:光子場效應(yīng)管(PET)PET具有兩電極結(jié)構(gòu),甚至簡單于CMOS數(shù)字圖像傳感器像素中的一個場效應(yīng)管放大器,但是PET卻能實現(xiàn)光強(qiáng)傳感和放大雙重功能。也就是說,PET以一個異常簡單的半導(dǎo)體元件結(jié)構(gòu)卻能實現(xiàn)數(shù)字圖像傳感器像素中光電二極管,場效應(yīng)管放大器的綜合像素功能,進(jìn)而為簡化數(shù)字圖像傳感器結(jié)構(gòu)打下了堅實的基礎(chǔ)。在定義PET的基礎(chǔ)上,他們利用電子束光刻以及半導(dǎo)體納米柱自然生長的綜合方法,制備出三維PET納米像素陣列,進(jìn)一步縮小了像素平面面積的大小。另外他們巧妙的利用了納米材料表面修飾,以及納米半導(dǎo)體陣列與金屬電極之間的肖特基勢壘,極大的降低了傳感器噪音。納米半導(dǎo)體材料加上三維的器件結(jié)構(gòu),使得這一新型數(shù)字圖像傳感器的分辨率大幅度超越當(dāng)前數(shù)字圖像傳感器極限,將最高分辨率從1微米直接降到50納米。如果按當(dāng)前流行的全幅相機(jī)傳感器尺寸為標(biāo)準(zhǔn),如果采用這一新型數(shù)字圖像傳感器技術(shù),全幅傳感器將擁有驚人的3000多億像素,是現(xiàn)在傳感器的10000倍。

這一超高分辨率將對圖像信息存儲,超分辨顯微技術(shù),光與物質(zhì)相互作用,以及光子計算機(jī)等一系列重要的技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域產(chǎn)生巨大的影響。研究團(tuán)隊下一步將在這一新型傳感器基礎(chǔ)上,研究全帶寬相應(yīng),即全彩色,高響應(yīng)速度的超高精度數(shù)字圖像傳感器,并進(jìn)一步以此為基礎(chǔ)推進(jìn)其在基礎(chǔ)科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域中的應(yīng)用。

20世紀(jì)后半頁以來,半導(dǎo)體技術(shù)的興起,引發(fā)人類社會第三次技術(shù)革命,數(shù)字化技術(shù)席卷眾多領(lǐng)域。在圖像記錄領(lǐng)域,數(shù)字圖像傳感器,以CCD(Charge-coupled Device,電荷耦合器件)CMOS(Complementary metal Oxide Semiconductor,互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)為代表,迅速發(fā)展,并于21世紀(jì)初迅速替代絕大部分以膠片為載體的圖像信息記錄技術(shù)。

最近隨著微電子集成技術(shù)的發(fā)展,CMOS逐漸占據(jù)市場主體,廣泛應(yīng)用于民用,工業(yè)等廣泛領(lǐng)域,據(jù)美國權(quán)威市場調(diào)研公司IC Insights 報告,2015年僅CMOS這一主流數(shù)字圖像傳感器的民用市場銷售額將突破100億美金。

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