該系統(tǒng)由刻蝕反應(yīng)腔和樣品傳遞腔構(gòu)成,兩個腔室分別獨立獲得真空和進行檢測。樣品傳遞腔與真空主管道相連接,并具有符合要求的取放樣品及傳遞的功能。刻蝕反應(yīng)腔中進行反應(yīng)刻蝕,配置不少于6個氣路,室溫~60℃連續(xù)可調(diào)的加熱刻蝕載樣臺,溫度均勻性±2℃
200萬
1
1/f噪聲測試系統(tǒng),矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、源擴展模塊
投標(biāo)人可投報任意包件
318萬
1
X射線衍射儀
本項目不接受聯(lián)合體投標(biāo)
98萬
1
夜視環(huán)境與紅外紫外數(shù)碼光源系統(tǒng)光源測量與校準系統(tǒng)
關(guān)鍵詞:儀器采購 2134萬 中科院 進口儀器 瀏覽量:894
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