1983年,第17屆國際計(jì)量大會(huì)將“米”定義為:米是光在真空中299792458分之一秒的時(shí)間間隔內(nèi)行程的長度。激光干涉儀以激光的波長作為“標(biāo)尺”,是復(fù)現(xiàn)米的定義最高準(zhǔn)確度的計(jì)量儀器。在長度計(jì)量的量值溯源系統(tǒng)表中,分別是端度(量塊)、線紋、角度的最高計(jì)量儀器,被譽(yù)為長度計(jì)量皇冠上的明珠。
近日,廣州計(jì)量院(GIMT)新購入的633nm波長標(biāo)準(zhǔn)裝置和激光干涉比長儀順利完成安裝調(diào)試及人員培訓(xùn),即將投入使用。這兩套設(shè)備的引入,使得廣州計(jì)量院(GIMT)具備了激光干涉儀的檢定校準(zhǔn)能力,進(jìn)一步提升其在幾何量檢測領(lǐng)域量值傳遞的技術(shù)能力,為大灣區(qū)高端裝備制造業(yè)的產(chǎn)業(yè)升級(jí)提供精準(zhǔn)的計(jì)量支撐。
激光干涉比長儀也可以用于一、二等標(biāo)準(zhǔn)金屬線紋尺、一、二等標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺的檢定校準(zhǔn)。同時(shí)預(yù)留了位移傳感器的治具接口,也能用于位移傳感器的位移示值誤差檢定校準(zhǔn)。真正做到了一機(jī)多用,柔性計(jì)量,滿足不同被檢儀器設(shè)備的檢定校準(zhǔn)要求。
廣東作為中國制造業(yè)的最強(qiáng)省份,激光干涉儀的市場保有量超過500臺(tái)套。廣州計(jì)量院(GIMT)將以此次設(shè)備購置為契機(jī),為激光干涉儀提供全參數(shù)、近距離的量值溯源服務(wù),全面提升精測部在幾何量檢測領(lǐng)域的技術(shù)水平和服務(wù)質(zhì)量,重點(diǎn)支撐大灣區(qū)工業(yè)制造、半導(dǎo)體、新能源、新材料、汽車制造、金屬鑄造、航空航天等產(chǎn)業(yè)的檢測需求,助力企業(yè)優(yōu)化產(chǎn)品質(zhì)量、加速技術(shù)升級(jí)。
附:
1.633nm波長標(biāo)準(zhǔn)裝置的主要技術(shù)指標(biāo):
波長的相對擴(kuò)展不確定度達(dá)到Urel=2×10?1?(k=2)
頻率相對擴(kuò)展不確定度Urel≤5×10??(k=2)。2.激光干涉比長儀的主要技術(shù)指標(biāo):
線紋尺測量時(shí),擴(kuò)展不確定度為U=0.06μm + 0.1×10??L(k=3)
激光干涉儀測量時(shí),擴(kuò)展不確定度為U=0.14μm/m(k=2)