東南大學依托電子科學與工程學院電子科學與技術學科，并結合工程力學、機械、材料、物理等相關優(yōu)勢學科，組建了MEMS研究機構。實驗室是國家211工程、985工程重點建設部門，擁有具備國際先進水平的研究設施。近3年，實驗室先后承擔了國家重點研發(fā)計劃、國家973計劃、國家重大科研儀器研制、國家自然科學基金重點項目、教育部及地方政府等一大批重大科研項目，并取得一系列原創(chuàng)性重大成果。

主要研究團隊：

黃慶安教授（長江學者，IEEE Fellow），實驗室的研究方向包括風速風向傳感器、氣象傳感器、無源無線傳感器等多種MEMS傳感器的設計與加工制作。

秦明教授：主要研究MEMS流量、風速、氣壓等傳感器。

廖小平教授：主要研究基于RF MEMS技術的微波通訊信號的功率、相位和頻率的集成檢測系統(tǒng)，以及微型能量收集等方面的設計理論和實現(xiàn)方法研究。

尚金堂教授：的研究方向包括芯片級原子/量子器件以及微半球諧振器。

黃曉東教授：主要研究微能源器件與信息存儲器件。

竇廣彬教授：主要研究MEMS重力梯度及慣導傳感，NEMS石墨烯位移傳感，機械量子傳感系統(tǒng)。

周再發(fā)教授：主要研究MEMS材料參數(shù)在線測試技術與MEMS設計軟件開發(fā)。

官網(wǎng)：https://mems.seu.edu.cn/

6、浙江大學

主要研究方向：生物傳感器、嗅覺和味覺生化傳感器、光纖傳感器

主要研究單位：生物傳感器技術國家專業(yè)實驗室、現(xiàn)代光學儀器國家重點實驗室

浙江大學生物傳感器技術國家專業(yè)實驗室是世界銀行“重點學科發(fā)展項目”貸款資助的專業(yè)實驗室，于1991年成立。主要研究和開發(fā)生物醫(yī)學領域中的傳感器和檢測技術，兼顧其他相關行業(yè)的傳感器及檢測技術。

浙江大學現(xiàn)代光學儀器國家重點實驗室始建于1989年，1995年建成并通過國家驗收。實驗室的定位為：以發(fā)展現(xiàn)代光學成像與傳感技術為主旨，圍繞國家重大需求，結合光學工程與光子學前沿技術，引領光學儀器相關研究與產(chǎn)業(yè)發(fā)展，建設國際一流的光學儀器研究和人才培養(yǎng)基地。

官網(wǎng)：

http://www.moi-lab.zju.edu.cn/

7、上海交通大學

主要研究方向：MEMS技術的微慣性器件、微飛行器、微安全保證系統(tǒng)、微表面應力傳感器、微流控生化芯片、新型傳感器、光電與視覺檢測、生物醫(yī)學感知等

主要研究院系：微納電子學系

主要研究單位：微系統(tǒng)集成研究所、儀器科學與工程系現(xiàn)代傳感器與光電檢測研究室、通用MEMS技術實驗室、EE-MEMS實驗室、微米納米加工技術國家級重點實驗室（上交分部）

微系統(tǒng)集成研究所研究方向涵蓋控制、機械、電子、材料、生物等領域。在微慣性器件方面，研究重點為靜電懸浮微陀螺、靜電懸浮微加速度計以及固體模態(tài)振動微陀螺等，微表面應力傳感器包括微剪切應力傳感器、微脈動壓力傳感器等。

現(xiàn)代傳感與光電檢測研究室隸屬于上海交通大學電子信息與電氣工程學院儀器科學與工程系，主要致力于新型傳感器、光電與視覺檢測、生物醫(yī)學感知等方面的科學研究，具有多項國際首創(chuàng)的科研成果，部分技術水平處于國際領先。

官網(wǎng)：

https://microsystem.sjtu.edu.cn/index.html

8、電子科技大學電子科學技術發(fā)展研究院

主要研究方向：氣濕敏傳感器、光電傳感器、力敏傳感器、柔性傳感器等

主要研究單位：薄膜與集成器件國家重點實驗室、光電探測與傳感集成技術教育部重點實驗室

電子薄膜與集成器件國家重點實驗室于2006年7月經(jīng)科技部批準建設，實驗室緊密結合電子信息系統(tǒng)微小型化和單片集成的重大需求，重點圍繞電子功能材料的薄膜化和電子器件的集成化開展基礎、應用基礎與工程應用的研究。