目前，世界各國(guó)都在研制與開發(fā)各種智能傳感器和多功能傳感器。其中最成功的是美國(guó)Honeywell公司研制的DSTJ-3000智能壓差壓力傳感器在同一塊半導(dǎo)體基片上用離子注入法配置擴(kuò)散了壓差、靜壓和溫度三個(gè)敏感元件，整個(gè)傳感器還包括變換器、多路轉(zhuǎn)換器、脈沖調(diào)制、微處理器和數(shù)字量輸出接口等。另外還在PROM中裝有該傳感器的特性數(shù)據(jù)，以實(shí)現(xiàn)非線性補(bǔ)償。ParScientific公司研制1000系列數(shù)字式石英智能傳感的器。日本日立研究所研制出可以識(shí)別四種氣體嗅覺傳感器。智能傳感器是測(cè)量技術(shù)、半導(dǎo)體技術(shù)、計(jì)算技術(shù)、信息處理技術(shù)、微電子學(xué)、材料科學(xué)互相結(jié)合的綜合密集型技術(shù)。目前各國(guó)科學(xué)家正在按下列技術(shù)途徑開發(fā)研究：

(1)利用新型材料研制基本傳感器。基本傳感器是智能傳感器的基礎(chǔ)，它的制作及其性能對(duì)整個(gè)智能傳感器影響甚大。除硅材料具有優(yōu)良的物理特性，能夠方便地制成各種集成傳感器。此外還有功能陶瓷、石英、記憶合金等都是制作傳感器的優(yōu)質(zhì)材料。

(2)利用新的加工技術(shù)。近年來利用微加工技術(shù)日趨成熟，可以加工高性能的微結(jié)構(gòu)傳感器、ASIC制作技術(shù)，也可用于制造智能傳感器。

(3)采用新的測(cè)量原理和方法。諧振式傳感器輸出數(shù)字量，可以直接和微機(jī)及接口總線連接，不用A/D轉(zhuǎn)換器。另外，光纖傳感器、化學(xué)傳感器、生物傳感器新型傳感器，為智能傳感器提供新的信息來源。