1、電導(dǎo)率儀的精確度：電導(dǎo)率儀用來測量超純水的導(dǎo)電性能，直接反映了水中各種帶電離子的含量，離子含量越高水質(zhì)越差。原子吸收，ICP,離子色譜要求水中離子含量極低。要求超純水的電導(dǎo)率為0.055μS/cm(18.2MΩ·cm@25℃)。能否精確測量的關(guān)鍵在于電導(dǎo)率儀的精度。電極常數(shù)的高低代表了電導(dǎo)率儀的精度，進(jìn)口水機(jī)具備電極常數(shù)為0.01—0.1cm-1的在線電導(dǎo)率儀，并具有溫度自動補(bǔ)償功能。國產(chǎn)水機(jī)為0.1-0.5cm-1,且不具備溫度補(bǔ)償功能。
2、TOC(總有機(jī)碳)監(jiān)測儀：超純水中TOC濃度的高低影響HPLC、LC-MS等儀器的分析，高濃度的TOC會對儀器造成污染，干擾基線及信號背景噪聲且會出現(xiàn)雜峰影響分離度，難以定量。進(jìn)口水機(jī)內(nèi)置TOC監(jiān)測儀，能監(jiān)測水中TOC的含量。檢測范圍1-999ppb,檢測精度±1ppb。具備獨(dú)立的石英檢測室，獨(dú)立的185nm紫外燈。國產(chǎn)水機(jī)目前均不具備獨(dú)立的TOC監(jiān)測儀，主要以電導(dǎo)率的差值進(jìn)行模擬，TOC數(shù)值無法通過計(jì)量認(rèn)證。
