隨著貿(mào)易摩擦日益加重，由此引發(fā)的中美科技之爭(zhēng)給世界分工帶來(lái)了巨大沖擊。宏觀來(lái)看，“十四五”規(guī)劃文件牽引、地方政策支持、國(guó)產(chǎn)采購(gòu)傾斜、支持國(guó)產(chǎn)儀器發(fā)展已經(jīng)成為政府、市場(chǎng)以及公眾的共識(shí)。巨浪之下，國(guó)產(chǎn)儀器如何發(fā)展？如何打破壟斷、解決“卡脖子”難題？

近兩年，北京市“專精特新”企業(yè)北京萊伯泰科儀器股份有限公司（股票代碼：688056.SH，以下簡(jiǎn)稱“萊伯泰科”）的發(fā)展駛?cè)肟燔嚨?，公司?020年成功登陸科創(chuàng)板，讓更多行業(yè)外的人士知道了什么是實(shí)驗(yàn)分析儀器行業(yè)；緊接著又在2021年發(fā)布質(zhì)譜新品，強(qiáng)勢(shì)進(jìn)軍高端分析儀器領(lǐng)域，以發(fā)展高端儀器產(chǎn)業(yè)、助力中國(guó)制造騰飛為己任，銳意突破，不斷進(jìn)行產(chǎn)品革新。我們知道，發(fā)展國(guó)產(chǎn)高端分析儀器的道路必定不易，萊伯泰科創(chuàng)始人胡克博士是如何看待并規(guī)劃的呢？

1、高端產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，離不開尖端分析儀器

分析儀器，被稱作科學(xué)家的“眼睛”，也被比喻為高端制造業(yè)皇冠上的明珠，是制造業(yè)發(fā)展中的咽喉行業(yè)。儀器儀表行業(yè)單從生產(chǎn)規(guī)模來(lái)講，算不上大行業(yè)，但是它的重要性和戰(zhàn)略性不能簡(jiǎn)單以生產(chǎn)規(guī)模來(lái)衡量。中國(guó)光學(xué)和儀器儀表及計(jì)量科教事業(yè)的奠基人之一、兩院院士王大珩曾經(jīng)指出，儀器儀表是認(rèn)識(shí)未知世界的科學(xué)工具，也是控制生產(chǎn)過(guò)程的工具，是工業(yè)生產(chǎn)的“倍增器”。在制造業(yè)中，想要生產(chǎn)出合格的產(chǎn)品，從原料控制到成品質(zhì)量控制，都需要儀器儀表進(jìn)行測(cè)量。在高端產(chǎn)業(yè)中，要生產(chǎn)出尖端的產(chǎn)品，更是離不開最尖端的分析儀器，并且產(chǎn)業(yè)越高端，對(duì)于分析儀器的要求就會(huì)越嚴(yán)格，近乎苛刻。

近幾年來(lái)，隨著我國(guó)產(chǎn)業(yè)升級(jí)速度的加快，各行各業(yè)對(duì)于高端分析儀器的需求亦不斷增長(zhǎng)。我們僅以理化分析儀器及裝備（包含質(zhì)譜）的進(jìn)口額為例，從2017年到2021年，我國(guó)每年的進(jìn)口額都在600億元左右，而且逐年穩(wěn)步增長(zhǎng)，即便是疫情期間也絲毫未受影響。

我國(guó)儀器儀表發(fā)展規(guī)模雖然不斷擴(kuò)大，但是一直存在基礎(chǔ)研究薄弱、產(chǎn)品可靠性和穩(wěn)定性低、以中低端產(chǎn)品為主等問(wèn)題，高端儀器儀表、核心零部件等長(zhǎng)期依賴進(jìn)口。我國(guó)儀器儀表產(chǎn)品一直處于進(jìn)出口貿(mào)易逆差的狀態(tài)，逆差每年都在150億美元以上，是機(jī)械制造業(yè)中逆差最大的行業(yè)之一。

2、國(guó)產(chǎn)儀器在半導(dǎo)體行業(yè)舉步維艱

目前我國(guó)各行業(yè)中使用的質(zhì)譜類儀器，幾乎全部依賴進(jìn)口。尤其是自中美貿(mào)易戰(zhàn)以來(lái)全國(guó)上下共同關(guān)注的半導(dǎo)體行業(yè)，檢測(cè)中必須具備的電感耦合等離子體質(zhì)譜儀ICP-MS幾乎百分之百來(lái)自于進(jìn)口品牌。雖然國(guó)家在多個(gè)層面支持國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的自主創(chuàng)新發(fā)展，然而，半導(dǎo)體行業(yè)中所用ICP-MS全面依賴進(jìn)口依然是個(gè)不爭(zhēng)的事實(shí)。

在半導(dǎo)體行業(yè)中，ICP-MS被廣泛應(yīng)用于高純材料、高純化學(xué)品以及生產(chǎn)過(guò)程中雜質(zhì)含量的監(jiān)控。從應(yīng)用角度來(lái)講，半導(dǎo)體行業(yè)需要同時(shí)檢測(cè)的元素范圍非常廣。因?yàn)闊o(wú)機(jī)元素雜質(zhì)會(huì)對(duì)集成電路造成危害，比如堿金屬與堿土金屬（Li、Na、K、Ca、Mg、Ba等）污染會(huì)造成元器件漏電，造成低擊穿；過(guò)渡金屬與重金屬（Fe、Cr、Ni、Cu、Au、Mn、Pb）污染會(huì)增大工作時(shí)的暗電流進(jìn)而縮短元器件壽命；滲透元素（S、P、Si、As、Sb、B、Al等）污染具有擴(kuò)散作用，會(huì)影響電子和空穴的數(shù)量。除了需同時(shí)檢測(cè)輕、中、重元素外，隨著集成電路對(duì)線寬的要求越來(lái)越嚴(yán)苛，對(duì)濕電子化學(xué)品的要求也越來(lái)越高，對(duì)有害粒子含量要求從10-6（ppm）發(fā)展到了10-9（ppb）甚至10-12（ppt），因此半導(dǎo)體行業(yè)需要檢測(cè)儀器具有極高的靈敏度。

由于行業(yè)具有的特殊性，半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)ICP-MS儀器本身也具有極高的準(zhǔn)入門檻要求，從儀器性能到儀器的安全可靠性，都有極為嚴(yán)格的規(guī)定。

首先，在儀器性能方面，ICP-MS必須做到從Li到Pb，從輕元素、中元素到重元素的快速檢測(cè)；能到達(dá)ppt級(jí)別的檢出能力；針對(duì)高Si基體樣品檢測(cè)時(shí)的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和重現(xiàn)性，每周7*24小時(shí)不間斷運(yùn)行；特殊情況下需要儀器冷焰、熱焰快速穩(wěn)定切換，高通量多元素準(zhǔn)確檢出；對(duì)整機(jī)及內(nèi)部部件的潔凈度、耐腐蝕性要求極高等等。

其次，半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)ICP-MS的安全可靠性方面也有著特別的要求。ICP-MS首先必須通過(guò)半導(dǎo)體工業(yè)的全球執(zhí)行聯(lián)盟（SEMI）的SEMI S2認(rèn)證，這是一套適用于半導(dǎo)體及平面顯示器制造設(shè)備的環(huán)境、安全及健康的效能的標(biāo)準(zhǔn)，半導(dǎo)體業(yè)者為了降低機(jī)械危害的風(fēng)險(xiǎn)，在采購(gòu)設(shè)備系統(tǒng)時(shí)，將 SEMI S2 安規(guī)認(rèn)證列為必備的規(guī)格要求。另一方面，半導(dǎo)體制造企業(yè)在水、電、氣、化學(xué)溶劑、真空射頻、微波、射線和高能粒子等方面也都提出了更高的要求。