流量的精準測量和控制對于半導體和氫能源等工業(yè)領域有著廣泛的應用要求。各種質量流量計，質量流量控制器參與到各個工藝過程中，控制著各種不同的氣體流量，精確的進行各種化學反應，實現(xiàn)高質量的產(chǎn)品生產(chǎn)和高效率的化學反應。

在半導體的生產(chǎn)工藝中，針對不同的工藝階段，需要用到各種高純特種氣體，比如摻雜工藝中有砷烷，三氟化磷，乙硼烷等，外延工藝中有四氯化碳，硅烷等，離子注入過程中的各種磷系，砷系和硼系氣體等，蝕刻和化學氣相沉積中用到的各種氟化物氣體等。

在這些工藝中需要高純度的氣體和精準的流量控制，通常由集成供氣系統(tǒng)（IGS）來控制和分配， 集成供氣系統(tǒng)由諸多的質量流量計/質量流量控制器，壓力傳感器和各種調節(jié)閥等組成。其中的質量流量計（MFM）/質量流量控制器（MFC）對于氣體的控制尤為重要，需要時刻保證精準可靠的控制。

在氫能源的應用中，氫燃料電池技術作為氫能源在發(fā)電，汽車等領域的應用方向，在近些年發(fā)展越來越成熟。

氫燃料電池是將氫氣和氧氣反應的化學能轉換為電能的發(fā)電裝置，能源利用效率能達到50%以上， 基本原理是將氫氣送到燃料電池的陽極板（負極），經(jīng)過催化劑（鉑）的作用，氫原子中的電子被分離出來，失去電子的氫離子（質子）穿過質子交換膜，到達燃料電池陰極板（正極），而電子只能經(jīng)外部電路，到達燃料電池陰極板，從而在外電路中產(chǎn)生電流。質子到達陰極板后，與氧原子和氫離子重新結合為水。

氫燃料電池系統(tǒng)主要由電堆和系統(tǒng)部件組成，電堆是整個電池系統(tǒng)的核心組件，主要由膜電極等構成的電池單元組成。電池系統(tǒng)部件主要由氫氣供氣系統(tǒng)，水管理系統(tǒng)和空氣管理系統(tǒng)等組成。氫氣供氣系統(tǒng)負責實時控制氫氣的流量，提高氫氣的利用效率，水管理系統(tǒng)負責處理反應過程中產(chǎn)生的水，同時負責控制電堆系統(tǒng)的水含量，保障反應的正常進行，提高氫氣利用效率?？諝夤芾硐到y(tǒng)負責提供反應所需的氧化劑（氧氣）。

在這些系統(tǒng)中，氫氣和空氣管理系統(tǒng)都需要準確的控制流量和壓力，從而實現(xiàn)最高效率的能源轉換。

流量的測量和控制離不開各種質量流量計和控制器，而對于質量流量計和控制器的高效而準確的校準顯得尤為的關鍵。

Fluke molbloc/molbox1+ 氣體流量校準系統(tǒng)可用來校準質量流量計，質量流量控制器，轉子流量計等氣體流量產(chǎn)品，支持多種氣體校準，包括空氣，氮氣，氫氣，SF6， 氦氣等18種氣體，同時還支持客戶自定義系數(shù)轉換，充分滿足半導體和氫能源等應用領域的各種氣體校準需求。適用于質量流量計/質量流量控制器的生產(chǎn)校準，也可以應用于實驗室和產(chǎn)線的工藝參數(shù)優(yōu)化和調整。

molbloc/molbox1+ 氣體流量校準系統(tǒng)

?最優(yōu)不確定度可達0.125%讀數(shù)，可覆蓋大多數(shù)精度等級的流量計校準要求

?較寬的量程范圍比，層流模塊支持從最低的10sccm到100slm，音速噴嘴模塊最大可以支持到5000slm

?測量達到1秒1個讀數(shù)，高效快捷校準各種流量產(chǎn)品

?自帶的流量積算功能，可以實現(xiàn)周期內的流量統(tǒng)計

?可選搭配COMPASS軟件，實現(xiàn)流量校準調整等自動控制要求。

COMPASS® for Flow

基于 COMPASS for Pressure 軟件平臺，是可定制且啟用了宏的質量流量校準軟件包。

?可執(zhí)行復雜的實時流量計算以及根據(jù)數(shù)據(jù)改變測試方案

?提供測試設置下的整套裝置、測試設置和報告生成工具