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航裕電源:光刻機測試解決方案


  來源: 航裕電源 時間:2022-03-18 編輯:清風(fēng)
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■ 電源輸入采用斷路器控制 ,更加安全

■ 輸出 ON / OFF 按鍵

■ 風(fēng)機智能調(diào)速設(shè)計,減少噪音

■ 前面/側(cè)面進風(fēng) ,后部出風(fēng),節(jié)省散熱空間

■ 支持 Modbus 協(xié)議

■ 標(biāo)配接口:RS-485&RS-232

■ 選購接口:LAN&CAN USB GPIB 模擬量編程和監(jiān)測(隔離型)


HY-PM 可編程多功能直流電源    



產(chǎn)品特點

■ 2U機型輸出額定電流510A,最大電流550A

■ 高功率密度:單機最大 5kW / 2U

■ 工作模式:恒壓 CV、恒流 CC,CV / CC 優(yōu)先可設(shè)

■ 輸入標(biāo)配 PFC,功率因素高達 0.99(5 kW / 2U)

■ 支持前面板編程,無須上位機軟件控制

■ 上升和下降斜率可調(diào)(電壓/電流)

■ 電源輸出軟啟動功能,應(yīng)對感性負(fù)載

■ 16 bits D/A 高精度轉(zhuǎn)換器,輸出精確

■ 20 bits A/D 高精度轉(zhuǎn)換器,回讀更準(zhǔn)

■ 多重保護功能 OVP / OCP / OTP

■ 19 英寸標(biāo)準(zhǔn)機架尺寸

■ 4 英寸超大液晶顯示屏

■ 觸摸屏操作 & 數(shù)字按鍵輸入

■ 多級飛梭調(diào)節(jié)旋鈕

■ 電源輸入采用斷路器控制 ,更加安全(3U)

■ 輸出 ON / OFF 按鍵

■ 標(biāo)配遠(yuǎn)端測量端子,補償輸出線壓降

■ 風(fēng)機智能調(diào)速設(shè)計,減少噪音

■ 前面/側(cè)面進風(fēng) ,后部出風(fēng),節(jié)省散熱空間

■ 支持 Modbus 和 SCPI 協(xié)議

■ 標(biāo)配接口:RS-485 & RS-232、Digital I/O

■ 選購接口:LAN & CAN、USB GPIB 模擬量編程和監(jiān)測(隔離型)

■ 可串聯(lián)、并聯(lián),組裝于集成柜


HY-PM系列多功能直流電源上升時間實測:8.446ms


HY-HS系列高速直流電源上升時間實測:161.9μs


關(guān)鍵詞:航裕電源 光刻機測試 解決方案    瀏覽量:24149

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