1.4 聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡

研究目標(biāo)：針對集成電路芯片設(shè)計(jì)修正和失效分析、樣品3D重構(gòu)、透射電鏡樣品制備等微納加工技術(shù)需求，突破高分辨率聚焦離子束、高分辨率場發(fā)射電子束獲得等核心技術(shù)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、性能穩(wěn)定可靠、核心部件全部國產(chǎn)化的聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡，開發(fā)相關(guān)軟件，開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。

考核指標(biāo)：液態(tài)鎵離子源聚焦離子束掃描分辨率≤5nm@30kV(雙束重合點(diǎn))，能量≥30kV，束流≥65nA；聚焦電子束分辨率≤1.2nm@1kV(雙束重合點(diǎn))，能量≥30kV，束流≥50nA；最大樣品直徑≥150mm，Z向高度調(diào)節(jié)范圍≥40mm；具備聚焦離子束材料刻蝕、沉積和透射電鏡樣品制備、3D 結(jié)構(gòu)重構(gòu)能力；具備聚焦離子束加工過程中掃描電子束實(shí)時觀察能力。項(xiàng)目完成時產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測試，平均故障間隔時間≥168小時，技術(shù)就緒度達(dá)到8級。明確發(fā)明專利、標(biāo)準(zhǔn)和軟件著作權(quán)等知識產(chǎn)權(quán)數(shù)量；形成批量生產(chǎn)能力，明確項(xiàng)目驗(yàn)收時銷售數(shù)量和銷售額。

1.5 高性能流式細(xì)胞分選儀

研究目標(biāo)：針對生物和醫(yī)學(xué)等行業(yè)血液和細(xì)胞分析需求，突破單細(xì)胞多色熒光高效分光技術(shù)、百萬量級細(xì)胞數(shù)據(jù)處理技術(shù)、微流控細(xì)胞分選技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件全部國產(chǎn)化的高性能流式細(xì)胞分選儀，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫，實(shí)現(xiàn)對細(xì)胞、熒光微球等生物顆粒的分析、計(jì)數(shù)與分選。開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。

考核指標(biāo)：激光器波長數(shù)≥4；激發(fā)熒光波長數(shù)≥30；熒光檢測靈敏度：FITC≤80MESF，PE≤30MESF；細(xì)胞檢測和分析速度≥70000細(xì)胞/秒；顆粒檢測大小0.2μm-50μm。項(xiàng)目完成時產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測試，平均故障間隔時間≥5000小時，技術(shù)就緒度達(dá)到8級。明確發(fā)明專利、標(biāo)準(zhǔn)和軟件著作權(quán)等知識產(chǎn)權(quán)數(shù)量；形成批量生產(chǎn)能力，明確項(xiàng)目驗(yàn)收時銷售數(shù)量和銷售額。