Omnitron的3D MEMS設(shè)計方案基于簡單而穩(wěn)健的晶圓制造工藝

精度和可靠性也是Omnitron技術(shù)的關(guān)鍵。Aguilar說：“如果我們讓掃描鏡指向三度角，那它就真的可以精確指向三度角。我們在平面上構(gòu)建了隔離層，使我們能夠?qū)Ⅱ?qū)動能量與傳感機制分離。這意味著沒有驅(qū)動信號耦合到傳感信號中，從而避免影響數(shù)據(jù)。”他說，這些都已經(jīng)通過制造得到了驗證。

實現(xiàn)可靠校準

Omnitron的3D MEMS技術(shù)的另一個特點是能夠確?？煽康男?。這是由其選擇的驅(qū)動方案實現(xiàn)的。Aguilar說：“我們構(gòu)建的馬達執(zhí)行器采用靜電驅(qū)動原理。”

Aguilar解釋稱，MEMS驅(qū)動通常有三種方法，包括靜電、電磁或壓電方案?！拔覀儾捎渺o電方案主要是為了在溫度范圍內(nèi)保持線性，靜電驅(qū)動系統(tǒng)的精妙在于它們可以非常線性的隨溫度膨脹和收縮，具有確定性，因而易于校準?！?

Aguilar說，電磁或壓電等其他替代技術(shù)的問題是，對溫度有滯后響應(yīng)。這意味著器件的溫度曲線在溫度上升和溫度下降時是不同的。這會在性能中產(chǎn)生嚴重誤差，從而影響校準。

面向下一代設(shè)計的新型MEMS拓撲

的確，如今嵌入式系統(tǒng)的許多創(chuàng)新都源自在更快微處理器和MCU上運行的軟件功能。Omnitron的創(chuàng)新MEMS拓撲告訴我們，硬件的創(chuàng)新仍然可以帶來重大的影響。

Aguilar說：“盡管軟件是個好東西，但如果沒有硬件的突破性創(chuàng)新，我們將無法實現(xiàn)想象中的未來。因此，我們必須回到第一性原理思維，以開發(fā)這種有望變革傳感器行業(yè)的全新MEMS工藝。”