MEMS的最大優(yōu)勢(shì)是可以利用微電子技術(shù)將傳感器、執(zhí)行器和處理電路集成在一起構(gòu)成單片集成傳感器或系統(tǒng)，更可以實(shí)現(xiàn)傳感器芯片的大規(guī)模批量制造，已廣泛用于信息、汽車、消費(fèi)、工控等領(lǐng)域，并成為國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)的戰(zhàn)略制高點(diǎn)。

今年以來(lái)，我國(guó)包括代工業(yè)務(wù)在內(nèi)的芯片產(chǎn)業(yè)面臨著前所未有的市場(chǎng)挑戰(zhàn)，同時(shí)也迎來(lái)了更大的發(fā)展機(jī)遇，傳感器作為信息感知的基礎(chǔ)芯片也是如此。面對(duì)可能存在的供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)，國(guó)內(nèi)企業(yè)開(kāi)始著手構(gòu)建穩(wěn)定的國(guó)內(nèi)供應(yīng)鏈，改變傳感器受制于人的被動(dòng)局面。

我們一定要抓住國(guó)產(chǎn)傳感器需求迫切的機(jī)遇，采取必要的措施，大力推進(jìn)我國(guó)MEMS傳感器的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展，提升傳感器芯片的自主創(chuàng)新能力。

MEMS傳感器具有個(gè)性化、分散化特點(diǎn)

集成電路發(fā)展迅速的原因是標(biāo)準(zhǔn)化，晶體管是其核心，制造圍繞標(biāo)準(zhǔn)單元晶體管進(jìn)行，產(chǎn)品是即插即用的標(biāo)準(zhǔn)集成電路，技術(shù)發(fā)展可通過(guò)摩爾定律清晰預(yù)測(cè)。令人遺憾的是，MEMS傳感器的特點(diǎn)是個(gè)性化的：一是沒(méi)有像晶體管那樣功能強(qiáng)大的標(biāo)準(zhǔn)單元，制造呈現(xiàn)個(gè)性化；二是沒(méi)有像CPU和存儲(chǔ)器市場(chǎng)那么大的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，產(chǎn)品呈現(xiàn)個(gè)性化。因此，其發(fā)展速度遠(yuǎn)低于業(yè)界的預(yù)測(cè)。

盡管MEMS傳感器個(gè)性化特點(diǎn)影響了其發(fā)展速度，但卻有利于我國(guó)實(shí)現(xiàn)跨越發(fā)展。主要體現(xiàn)在兩方面：一是制造個(gè)性化還沒(méi)有形成通用制造流程，技術(shù)更新?lián)Q代緩慢，對(duì)工藝設(shè)備要求遠(yuǎn)低于集成電路的要求，有利于我國(guó)實(shí)現(xiàn)制造突破；二是產(chǎn)品個(gè)性化帶來(lái)的是細(xì)分市場(chǎng)，產(chǎn)品形態(tài)與客戶高度關(guān)聯(lián)，單一公司難以壟斷，有利于我國(guó)發(fā)揮本土優(yōu)勢(shì)實(shí)現(xiàn)應(yīng)用突破。

設(shè)立以產(chǎn)業(yè)化為導(dǎo)向的MEMS傳感器專項(xiàng)

我國(guó)還沒(méi)有為傳感器專門(mén)制訂過(guò)科技計(jì)劃，盡管在許多國(guó)家科技計(jì)劃中包含傳感器的內(nèi)容，但基本都屬于從屬地位，沒(méi)有得到足夠的重視，發(fā)展速度遠(yuǎn)不盡如人意，使得國(guó)內(nèi)市場(chǎng)一直被國(guó)外產(chǎn)品壟斷。另一方面，國(guó)產(chǎn)傳感器的落后也使得國(guó)內(nèi)用戶大多不選用國(guó)貨，進(jìn)一步拉大了國(guó)產(chǎn)傳感器與國(guó)外產(chǎn)品差距，造成了產(chǎn)品越?jīng)]人用越不行的惡性循環(huán)。目前的國(guó)際芯片供應(yīng)鏈形勢(shì)，給許多國(guó)內(nèi)傳感器用戶帶來(lái)了空前的危機(jī)感，有了構(gòu)建國(guó)內(nèi)穩(wěn)定供應(yīng)鏈的迫切需求。

因此，應(yīng)該搶抓機(jī)遇，針對(duì)MEMS傳感器的特點(diǎn)，盡快設(shè)立以產(chǎn)業(yè)化為導(dǎo)向的MEMS傳感器專項(xiàng)，全力構(gòu)建MEMS傳感器制造體系，扶植有特色的MEMS傳感器企業(yè)做大做強(qiáng)，提升國(guó)產(chǎn)傳感器的市場(chǎng)占有率，提升傳感器芯片自主能力，改變嚴(yán)重受制于人的局面。

二次開(kāi)發(fā)集成電路產(chǎn)線 構(gòu)建MEMS傳感器制造體系

MEMS傳感器制造從本質(zhì)上講是基于微電子技術(shù)，但與集成電路又有很大不同，因此，不能直接將常規(guī)集成電路產(chǎn)線用來(lái)制造傳感器芯片。集成電路芯片制造的核心是晶體管，制造工藝為平面工藝，關(guān)注的主要是電性能。

MEMS傳感器芯片制造的核心是微機(jī)械結(jié)構(gòu)，需要進(jìn)行三維微機(jī)械結(jié)構(gòu)加工，除了要關(guān)注電性能外，更要關(guān)注機(jī)械和力學(xué)等性能。而且，微機(jī)械結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)個(gè)性化，還沒(méi)有一種像晶體管那樣功能強(qiáng)大的標(biāo)準(zhǔn)微機(jī)械結(jié)構(gòu)。不過(guò)微機(jī)械結(jié)構(gòu)的尺寸一般都在微米量級(jí)，對(duì)工藝設(shè)備的要求遠(yuǎn)低于集成電路，通常的集成電路產(chǎn)線經(jīng)過(guò)二次工藝開(kāi)發(fā)，都能滿足MEMS傳感器的制造需求。

因此，可通過(guò)MEMS傳感器專項(xiàng)支持，選擇合適的集成電路產(chǎn)線，進(jìn)行二次工藝開(kāi)發(fā)，打造出適應(yīng)MEMS傳感器個(gè)性化制造需求的量產(chǎn)線。

由于MEMS傳感器芯片需求量遠(yuǎn)小于集成電路芯片，而且轉(zhuǎn)產(chǎn)MEMS傳感器芯片投入大，為提高集成電路芯片廠轉(zhuǎn)產(chǎn)MEMS傳感器芯片的積極性，應(yīng)對(duì)MEMS傳感器芯片量產(chǎn)線給予資金支持和稅收優(yōu)惠。同時(shí)，選擇合適科研機(jī)構(gòu)，建立MEMS傳感器芯片研發(fā)平臺(tái)，用于MEMS傳感器前期開(kāi)發(fā)樣品研制，建立MEMS傳感器中試平臺(tái)，用于MEMS傳感器產(chǎn)品開(kāi)發(fā)量產(chǎn)工藝驗(yàn)證，全力構(gòu)建出我國(guó)MEMS傳感器制造體系。

發(fā)揮本土優(yōu)勢(shì) 做大做強(qiáng)企業(yè)

MEMS傳感器呈現(xiàn)出小批量多品種的個(gè)性化特色，不同的傳感器產(chǎn)品形態(tài)有明顯的不同，即使是同一種傳感器，使用場(chǎng)合不同其產(chǎn)品形態(tài)也有明顯的不同。例如，僅汽車壓力傳感器就有進(jìn)氣壓力傳感器、機(jī)油壓力傳感器、剎車壓力傳感器、變速箱壓力傳感器、燃油箱蒸汽壓力傳感器、高壓共軌壓力傳感器等，其產(chǎn)品形態(tài)與應(yīng)用場(chǎng)合密切相關(guān)，是典型的用戶關(guān)聯(lián)產(chǎn)品。

用戶關(guān)聯(lián)產(chǎn)品的市場(chǎng)營(yíng)銷需要與用戶密切互動(dòng)，這可充分發(fā)揮本土企業(yè)與用戶溝通便利、進(jìn)行定制半定制保姆式服務(wù)等優(yōu)勢(shì)，使本土企業(yè)在與國(guó)外公司競(jìng)爭(zhēng)中處于有利地位。