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20項值得關(guān)注的新興科技趨勢，包括MEMS傳感器等技術(shù)

日前，美國公布了一份長達35頁的《新興科技趨勢報告》。該報告是在美國過去五年內(nèi)由政府機構(gòu)、咨詢機構(gòu)、智囊團、科研機構(gòu)等發(fā)表的32份科技趨勢相關(guān)研究調(diào)查報告的基礎(chǔ)上提煉形成的。通過對近700項科技趨勢的綜合比

了解MEMS傳感器和智能傳感器的核心區(qū)分

不管是工業(yè)，還是生活生產(chǎn)過程中，傳感器的作用都是很重要，扮演著信息搜集以及處理的角色。為何會出現(xiàn)MEMS傳感器呢？這與芯片、材料和制造技術(shù)的發(fā)展密不可分，MEMS傳感器它是一種融合了機電和控制技術(shù)的傳感器，相

走進電子行業(yè)，F(xiàn)LIR紅外熱像儀助力揭示微電子設(shè)備的熱特性

在過去幾十年中，微型化是微電子行業(yè)的重點發(fā)展方向。更小型的設(shè)備運行速度更快且具有更緊湊的系統(tǒng)。納米技術(shù)和薄膜處理領(lǐng)域的進步已延伸到各種技術(shù)領(lǐng)域，包括光伏電池、溫差電材料和微機電系統(tǒng)（MEMS）。這些材料和

硅材料難題解決 助力MEMS器件突破極限

硅材料從大自然常見的沙子中取材，成本低、產(chǎn)量大，因此被廣泛用作MEMS器件的襯底材料，并被譽為信息時代的“骨干”材料。但是，硅在常溫環(huán)境下的脆性限制了MEMS的許多機械性能。蘇黎世聯(lián)邦理工學(xué)院（ETH）與瑞士國

湖南大學(xué)研發(fā)出超高頻超靈敏的聲表面波MEMS傳感器

近日，湖南大學(xué)機械與運載工程學(xué)院微納制造與微系統(tǒng)技術(shù)研究團隊提出了一種基于電極質(zhì)量負(fù)載超靈敏的聲表面波敏感機制，并采用新型電子束納米加工藝、結(jié)合自主推導(dǎo)的專用鄰近效應(yīng)修正公式，制備了超高頻超靈敏的聲表

一起了解MEMS傳感器在汽車領(lǐng)域中的應(yīng)用

MEMS技術(shù)是隨著半導(dǎo)體 集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的，它開辟了一個全新的技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)，其目標(biāo)是把信息的獲取、處理和執(zhí)行集成在一起，組成具有多功能的微型系統(tǒng)，集成于大尺寸系

智能汽車領(lǐng)域 之MEMS傳感器測試解決方案

近兩年來，車聯(lián)網(wǎng)，自動駕駛、無人駕駛，汽車智能化等成為了汽車行業(yè)的熱點話題， 也指引了汽車在未來的發(fā)展方向，目的都是為了進一步提升車輛行駛中的安全性，可靠性及舒適性。以很簡單的例子來看，傳統(tǒng)的緊急制動

日本學(xué)者利用MEMS懸臂梁制造等離子體近紅外光譜儀

近紅外光譜可為物質(zhì)提供特有的吸收光譜，從而使鑒別氣體種類成為可能。因此，需要利用小型化光譜儀實現(xiàn)緊湊型氣體傳感器，從而監(jiān)測生活空間的空氣質(zhì)量。然而，傳統(tǒng)近紅外光譜儀均是利用光柵將入射光分散至不同波長，

MEMS麥克風(fēng)拓展高性能噪聲測量應(yīng)用：聲級計

聲級計（Sound Level Meter，簡稱SLM）的主要成本是測量級麥克風(fēng)，如0.5英寸反應(yīng)耦合等離子體（Inductively Coupled Plasma，簡稱ICP）麥克風(fēng)。高昂的麥克風(fēng)成本限制了聲級計在如建筑工地監(jiān)測或環(huán)境研究等諸多儀器中

環(huán)境傳感器是智能制造和物聯(lián)網(wǎng)的關(guān)鍵要素

傳感器是物聯(lián)網(wǎng)（IoT）的核心。從“智能家居和辦公室”到“戶外環(huán)境和智能工廠”，基于MEMS和IC技術(shù)的感知芯片為所有正在改變數(shù)字格局的新興應(yīng)用提供發(fā)展動力。物聯(lián)網(wǎng)曾經(jīng)定位于工業(yè)或汽車領(lǐng)域，但是它不斷拓展應(yīng)用

基于PXI 的金屬氧化物（MOX）氣體傳感器測試方案

測試背景MEMS技術(shù)應(yīng)用使得金屬氧化物(MOX)氣體傳感器在晶圓級大規(guī)模生產(chǎn)中得以廣泛應(yīng)用，大大降低了硅晶圓制造的成本。這些氣體傳感器裝置適用于一氧化碳(CO)和各種揮發(fā)性有機化合物(OCs)，如：如乙醇、丙酮和甲苯的

基于 PXI 金屬氧化物（MOX）氣體的傳感器測試方案

測試背景MEMS技術(shù)應(yīng)用使得金屬氧化物(MOX)氣體傳感器在晶圓級大規(guī)模生產(chǎn)中得以廣泛應(yīng)用，大大降低了硅晶圓制造的成本。這些氣體傳感器裝置適用于一氧化碳(CO)和各種揮發(fā)性有機化合物(OCs)，如：如乙醇、丙酮和甲苯的

華中科技大學(xué)開發(fā)出高精度的便攜式MEMS重力儀

相對重力儀是一種測量重力加速度變化的儀器，它在區(qū)域重力研究及重力填圖、油氣及礦藏勘探、地球重力場輔助導(dǎo)航等方面有著廣泛的應(yīng)用。但是，目前商用的相對重力儀器主要是進口設(shè)備，價格非常昂貴，而且體積較大，限

加速度傳感器靈敏度提高100倍以上 噪聲降至十分之一以下

東京工業(yè)大學(xué)的益一哉校長等人與NTT尖端技術(shù)公司利用由多個金屬層形成的積層金屬結(jié)構(gòu)，成功開發(fā)出具有超低噪聲和超高靈敏度特性的MEMS加速度傳感器。實現(xiàn)了利用以往的MEMS技術(shù)難以實現(xiàn)的1微（μ）G級（G=9.8m/s2，重

壓縮氣泄漏“狙擊手”——聲學(xué)成像泄露檢測儀ii900

福祿克全新推出的ii900聲學(xué)泄露檢測儀采用尖端的陣列MEMS傳感器技術(shù)，通過采集0-50KHZ的聲波及超聲波結(jié)合可見關(guān)技術(shù)，可以在最遠50米外在10秒內(nèi)快速發(fā)現(xiàn)壓縮空氣/二氧化碳/氮氣等1mm以內(nèi)的小孔徑泄露（和壓力相關(guān)）,

NI PXI SMU為半導(dǎo)體測試系統(tǒng)提升多達6倍的通道密度

NI宣布推出PXIe-4163高密度源測量單元(SMU)，該測量單元提供了比以往NI PXI SMU高達6倍的直流通道密度，適用于測試RF、MEMS以及混合信號和其他模擬半導(dǎo)體元件。由于其高吞吐量、高性價比和占地面積小，NI的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)(STS)正在快速應(yīng)用到芯片生產(chǎn)中。

分析穩(wěn)定系統(tǒng)中的慣性MEMS的頻率響應(yīng)

無人飛行器安裝的監(jiān)控設(shè)備、海上微波接收機、車輛安裝的紅外成像系統(tǒng)傳感器以及其他儀器系統(tǒng)都需要具有穩(wěn)定的平臺，以達到最佳性能，但它們通常在可能遇到振動和其他類型不良運動的應(yīng)用中使用。振動和正常車輛運動會導(dǎo)致通信中斷、圖像模糊以及其他很多行為，從而降低儀器的性能和執(zhí)行所需功能的能力。平臺穩(wěn)定系統(tǒng)采用閉環(huán)控制系統(tǒng)，以主動消除此類運動，從而保證達到這些儀器的重要性能目標(biāo)。圖1是平臺穩(wěn)定系統(tǒng)的整體框圖，它使用伺服電機來校正角向運動。反饋傳感器為儀器平臺提供動態(tài)方位信息。反饋控制器處理這些信息，并將其轉(zhuǎn)換為伺服電機的

支持超低功耗物聯(lián)網(wǎng)節(jié)點信號處理設(shè)計的ECG前端IC

隨著無線通信技術(shù)、嵌入式計算機技術(shù)與微機電(MEMS)技術(shù)的發(fā)展,無線傳感器網(wǎng)絡(luò)(WSNs)已經(jīng)越來越深入到人類生活的方方面面，而對于無線傳感器網(wǎng)絡(luò)(WSN)，電池壽命和電路板空間逐漸成為關(guān)鍵性規(guī)范，因此缺少可供使用的選項也許會令人沮喪。

基于MEMS加速度計的振動監(jiān)控解決方案

MEMS加速度計終于達到了能夠測量廣泛機器平臺振動的階段。其最近的能力進步，加上MEMS加速度計已有的相對于傳統(tǒng)振動傳感器的諸多優(yōu)勢（尺寸、重量、成本、抗沖擊性、易用性），促使一類新興的狀態(tài)監(jiān)控（CBM）系統(tǒng)開始使用MEMS加速度計。

MEMS技術(shù)在非制冷紅外探測器中的應(yīng)用

微電子機械系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)作為一項新興的微細加工技術(shù)，已開始在各領(lǐng)域應(yīng)用。它可將信息獲取、處理和執(zhí)行等功能集成，具有微小、智能、可執(zhí)行、可集成、工藝兼容性好、成本低等優(yōu)點，在紅外探測技術(shù)領(lǐng)域也有非常廣泛的應(yīng)用前景，將為該領(lǐng)域的研究提供一條更新的途徑。將MEMS技術(shù)用于非制冷紅外探測器的研制能夠使器件向高可靠性、微型化、智能化、高密度陣列集成和低成本、可批量生產(chǎn)等方向發(fā)展，并有可能利用該技術(shù)制造出具有全新機理的非制冷紅外探測器。

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