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MEMS熱電堆——讓深硅刻蝕成為行業(yè)新寵

深硅刻蝕技術(shù)在工業(yè)界應(yīng)用廣泛，包括集成電路制造、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造和微納光子學(xué)的研究等領(lǐng)域，其經(jīng)歷了由濕法刻蝕到干法

6項(xiàng)微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)獲批發(fā)布 助力行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展

2024年9月29日，市場(chǎng)監(jiān)管總局（國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)委）發(fā)布2024年第22號(hào)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)公告，批準(zhǔn)發(fā)布《微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 傳感器用MEMS壓電薄膜的環(huán)境試驗(yàn)方法》（GB/T 44513-2024）等六項(xiàng)微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，計(jì)劃于2025年4月前陸續(xù)實(shí)施。這六項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC336）歸口，明確了MEMS

昆博研究院牽頭起草MEMS硅壓阻溫壓復(fù)合壓力傳感器芯片國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

日前，全國(guó)標(biāo)準(zhǔn)信息公共服務(wù)平臺(tái)公開(kāi)發(fā)布信息，由昆山昆博智能感知產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司（簡(jiǎn)稱：昆博研究院）牽頭起草的《微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS硅壓阻溫壓復(fù)合壓力傳感器芯片》獲批立項(xiàng)，正式進(jìn)入起草階段，這是該研究院第二次牽頭制定國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。圖片近年來(lái)，昆山昆博智能感知產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司憑借其專業(yè)的

欣“芯”向榮！安徽出臺(tái)14條舉措打造智能傳感產(chǎn)業(yè)集群

5月25日，在第六屆中國(guó)（蚌埠）MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)上，安徽省人工智能產(chǎn)業(yè)推進(jìn)組發(fā)布《關(guān)于支持中國(guó)傳感谷發(fā)展若干政策》，通過(guò)支持加大投入、創(chuàng)新發(fā)展、人才引育等五個(gè)方面的14條舉措，支撐安徽省蚌埠市立足中國(guó)傳感谷打造皖北地區(qū)高質(zhì)量發(fā)展增長(zhǎng)極和智能傳感產(chǎn)業(yè)集群新高地。圖片政策中提出，在支持加大投入方面

為狀態(tài)監(jiān)控選擇MEMS加速度計(jì)時(shí)，這些經(jīng)常被忽視的參數(shù)

MEMS加速度計(jì)對(duì)于檢測(cè)故障情況、幫助防止意外斷電或避免發(fā)生其他代價(jià)高昂的事件至關(guān)重要，但我們?cè)谶x擇和安裝合適的MEMS傳感器之前，需要仔細(xì)考慮多個(gè)關(guān)鍵參數(shù)，然而這些參數(shù)常常被忽視。本文將討論您在做出選擇時(shí)應(yīng)特別留意的一些關(guān)鍵標(biāo)準(zhǔn)。狀態(tài)監(jiān)控 CbM是利用傳感器監(jiān)測(cè)機(jī)械系統(tǒng)可能出現(xiàn)的潛在缺陷或損壞的過(guò)程。CbM用于

一起了解Mems加速度傳感器特點(diǎn)

微機(jī)電系統(tǒng)，Micro-Electro-Mechanical-SySTems，簡(jiǎn)稱MEMS，基于MEMS技術(shù)的加速度傳感器已有30多年的發(fā)展歷史，但因?yàn)榇嬖诩夹g(shù)和成本等客觀發(fā)展因素的限制，未能像電子消費(fèi)產(chǎn)品一樣進(jìn)入市場(chǎng)。目前，由于MEMS加速度傳感器技術(shù)的進(jìn)步，如今低功耗、高性能的MEMS加速度傳感器已經(jīng)改變了市場(chǎng)新的傳感器市場(chǎng)發(fā)展趨勢(shì)。mems加速度

電子工程師最關(guān)注什么？調(diào)查顯示五大傳感器技術(shù)趨勢(shì)

近日，專注傳感器行業(yè)的國(guó)外網(wǎng)站FierceElectronics對(duì)2020年電子工程師感興趣的主題進(jìn)行了調(diào)查，調(diào)查顯示，按照排名順序，電子工程師最關(guān)注的主題領(lǐng)域是：微機(jī)電系統(tǒng)、物聯(lián)網(wǎng)和連接設(shè)備、自動(dòng)駕駛汽車、低功耗和電源管理、系統(tǒng)設(shè)計(jì)。是什么趨勢(shì)促使人們對(duì)這些主題產(chǎn)生興趣？一、MEMS 自從將MEMS用于檢測(cè)鋼中應(yīng)變的第一個(gè)商業(yè)

帶你了解MEMS陀螺儀的工作原理

陀螺儀是用來(lái)測(cè)量角速率的儀器，在加速度功能基礎(chǔ)上，可以進(jìn)一步發(fā)展，構(gòu)建陀螺儀。陀螺儀的內(nèi)部原理是這樣的：對(duì)固定指施加電壓，并交替改變電壓，讓一個(gè)質(zhì)量塊做振蕩式來(lái)回運(yùn)動(dòng)，當(dāng)旋轉(zhuǎn)時(shí)，會(huì)產(chǎn)生科里奧利加速度，此時(shí)就可以對(duì)其進(jìn)行測(cè)量；這有點(diǎn)類似于加速度計(jì)，解碼方法大致相同，都會(huì)用到放大器。角速率由科氏加速度測(cè)

應(yīng)用于MEMS產(chǎn)品的精密電子零部件及制造技術(shù)

一、精密電子零部件概述 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）是指尺寸在毫米級(jí)甚至微米級(jí)的微型電子裝置，主要可分為微型傳感器和微型執(zhí)行器兩個(gè)大類。由于MEMS的尺寸較小，用于生產(chǎn)MEMS產(chǎn)品的零部件通常也相對(duì)較小，一般僅為幾毫米，因此MEMS產(chǎn)品對(duì)精密零部件的加工精密度要求非常高。根據(jù)功能和作用的不同，應(yīng)用于MEMS產(chǎn)品的常見(jiàn)精密電子

中國(guó)傳感器發(fā)展的外患內(nèi)憂及政策解讀

數(shù)字化技術(shù)驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)，產(chǎn)品逐步進(jìn)入智能階段。繼互聯(lián)網(wǎng)之后，與國(guó)民經(jīng)濟(jì)息息相關(guān)的物聯(lián)網(wǎng)也被推到了風(fēng)口浪尖，根據(jù)此前全球物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展數(shù)據(jù)來(lái)看，2018年全球物聯(lián)網(wǎng)市場(chǎng)規(guī)模突破千億美元。不可否認(rèn)，未來(lái)，國(guó)內(nèi)外物聯(lián)網(wǎng)的市場(chǎng)前景十分廣闊，但是就目前國(guó)內(nèi)物聯(lián)網(wǎng)而言，從感知、傳輸、計(jì)算以及應(yīng)用層面上依然存在亟待解決。

掌握MEMS工藝變量 利用vHF氣相蝕刻SiO?

由于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）產(chǎn)品的三維（3D）結(jié)構(gòu)及其與生俱來(lái)的機(jī)械特性，制造MEMS器件面臨著獨(dú)特的挑戰(zhàn)。此類產(chǎn)品需要特定的微機(jī)械結(jié)構(gòu)，以便實(shí)現(xiàn)包括振動(dòng)、旋轉(zhuǎn)或其他動(dòng)作類型的MEMS功能（圖1）。為此，MEMS制造工藝流程要求在傳統(tǒng)的半導(dǎo)體器件制造工藝流程中增加一個(gè)維度（高度），因?yàn)閭鹘y(tǒng)的工藝僅用于制造平面型電子器件

工信部：《智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動(dòng)指南》獲批

據(jù)消息，工信部電子信息司副司長(zhǎng)彭紅兵日前透露，《智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動(dòng)指南（2017-2019）》已獲部長(zhǎng)辦公會(huì)正式審議通過(guò)。該行動(dòng)指南明確產(chǎn)業(yè)發(fā)展目標(biāo)和方向就是傳感器的智能化，并制定了產(chǎn)業(yè)發(fā)展路線圖，確定了MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）工藝和集成電路工藝相結(jié)合的產(chǎn)業(yè)發(fā)展路徑，以及以市場(chǎng)應(yīng)用為主導(dǎo)的政策扶持原則。

西安交大在人工智能設(shè)計(jì)MEMS陀螺儀領(lǐng)域取得重要進(jìn)展

采用微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)設(shè)計(jì)的MEMS陀螺具有體積小、功耗低、成本低、易于與集成電路集成等優(yōu)點(diǎn)，對(duì)微納衛(wèi)星、無(wú)人機(jī)群等先進(jìn)裝備的大批量部署具有重要意義。MEMS陀螺儀正在取代造價(jià)昂貴的傳統(tǒng)陀螺儀，目前，中低

北京大學(xué)高成臣團(tuán)隊(duì)在MEMS壓力傳感器領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)多項(xiàng)突破

2023年1月，某超小型MEMS壓力傳感器芯片成功研制，器件技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，為解決該項(xiàng)技術(shù)的“卡脖子”問(wèn)題、實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品自主可控邁出了堅(jiān)實(shí)的一步。作為技術(shù)團(tuán)隊(duì)的負(fù)責(zé)人，57歲的北京大學(xué)集成電路學(xué)院教授級(jí)高

利用MEMS振動(dòng)傳感器實(shí)現(xiàn)汽車外部拾音

汽車行業(yè)近些年正在經(jīng)歷一場(chǎng)巨變，越來(lái)越多的電子元器件正被集成到汽車之中，以提高駕駛員和乘客的安全性和舒適性。甚至，如今的汽車已經(jīng)比幾十年前的超級(jí)計(jì)算機(jī)，擁有更高的算力和功能。自動(dòng)駕駛汽車現(xiàn)在似乎已經(jīng)準(zhǔn)

萬(wàn)分級(jí)高精度MEMS諧振式壓力傳感器轉(zhuǎn)化應(yīng)用取得新進(jìn)展

中國(guó)航天科技集團(tuán)有限公司九院704所完成了萬(wàn)分級(jí)高精度MEMS諧振式壓力傳感器研制，為新一代裝備和先進(jìn)工業(yè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)自主可控和升級(jí)換代提供核心關(guān)鍵產(chǎn)品。圖片“高精度MEMS諧振式壓力傳感器涉及電子、機(jī)械、材料、熱

電科思儀110GHz同軸探針步入國(guó)際先進(jìn)行列

微波測(cè)量探針廣泛應(yīng)用于射頻集成電路在片測(cè)試、管結(jié)參數(shù)提取、MEMS器件測(cè)試等領(lǐng)域，是發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的必備工具。中電科思儀科技股份有限公司于2022年1月正式推出Ceyear36102系列寬頻帶同軸探針，集現(xiàn)代微波毫米波寬

研究人員利用大面陣窄帶F-P干涉儀，實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)波紅外光譜傳感

西澳大利亞大學(xué)研究人員利用基于MEMS的固定腔法布里-珀羅（F-P）干涉儀實(shí)現(xiàn)了在長(zhǎng)波紅外（LWIR）波段的光學(xué)遙控成像和傳感，并完成了該光譜系統(tǒng)的輕型化和便攜式。F-P干涉儀基于鍺 (Ge) 氟化鋇 (BaF2) 薄膜分布式布

東南大學(xué)研發(fā)可穿戴無(wú)縫多模傳感器，可識(shí)別不同關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)狀態(tài)

近日，東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的孫立濤教授研究團(tuán)隊(duì)在MicrosystemsNanoengineering上報(bào)道了一種新型可穿戴無(wú)縫多模傳感器，該傳感器能夠解耦壓力和應(yīng)變刺激，并識(shí)別不同的關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。在

MEMS鍵合工藝成就單芯片“可見(jiàn)光+短波紅外”高光譜成像

近年來(lái)，人們對(duì)短波紅外（在1000到2000納米之間）波段的成像需求不斷攀升。這些短波紅外傳感器在食品檢驗(yàn)等行業(yè)至關(guān)重要，它們可以提供探測(cè)物體內(nèi)部的能力，例如，可通過(guò)早期探測(cè)蘋果瘀傷，來(lái)防止整個(gè)蘋果變壞（如圖

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