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MEMS熱電堆——讓深硅刻蝕成為行業(yè)新寵

深硅刻蝕技術(shù)在工業(yè)界應(yīng)用廣泛，包括集成電路制造、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造和微納光子學(xué)的研究等領(lǐng)域，其經(jīng)歷了由濕法刻蝕到干法

2020-04-29

6項(xiàng)微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)國家標(biāo)準(zhǔn)獲批發(fā)布助力行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展

2024年9月29日，市場監(jiān)管總局（國家標(biāo)準(zhǔn)委）發(fā)布2024年第22號國家標(biāo)準(zhǔn)公告，批準(zhǔn)發(fā)布《微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 傳感器用MEMS壓電薄膜的環(huán)境試驗(yàn)方法》（GB/T 44513-2024）等六項(xiàng)微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)國家標(biāo)準(zhǔn)，計(jì)劃于2025年4月前陸續(xù)實(shí)施。這六項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)由全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（SAC/TC336）歸口，明確了MEMS

2024-10-17

昆博研究院牽頭起草MEMS硅壓阻溫壓復(fù)合壓力傳感器芯片國家標(biāo)準(zhǔn)

日前，全國標(biāo)準(zhǔn)信息公共服務(wù)平臺公開發(fā)布信息，由昆山昆博智能感知產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司（簡稱：昆博研究院）牽頭起草的《微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS硅壓阻溫壓復(fù)合壓力傳感器芯片》獲批立項(xiàng)，正式進(jìn)入起草階段，這是該研究院第二次牽頭制定國家標(biāo)準(zhǔn)。圖片近年來，昆山昆博智能感知產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司憑借其專業(yè)的

2024-08-11

欣“芯”向榮！安徽出臺14條舉措打造智能傳感產(chǎn)業(yè)集群

5月25日，在第六屆中國（蚌埠）MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會上，安徽省人工智能產(chǎn)業(yè)推進(jìn)組發(fā)布《關(guān)于支持中國傳感谷發(fā)展若干政策》，通過支持加大投入、創(chuàng)新發(fā)展、人才引育等五個方面的14條舉措，支撐安徽省蚌埠市立足中國傳感谷打造皖北地區(qū)高質(zhì)量發(fā)展增長極和智能傳感產(chǎn)業(yè)集群新高地。圖片政策中提出，在支持加大投入方面

2024-05-27

為狀態(tài)監(jiān)控選擇MEMS加速度計(jì)時，這些經(jīng)常被忽視的參數(shù)

MEMS加速度計(jì)對于檢測故障情況、幫助防止意外斷電或避免發(fā)生其他代價高昂的事件至關(guān)重要，但我們在選擇和安裝合適的MEMS傳感器之前，需要仔細(xì)考慮多個關(guān)鍵參數(shù)，然而這些參數(shù)常常被忽視。本文將討論您在做出選擇時應(yīng)特別留意的一些關(guān)鍵標(biāo)準(zhǔn)。狀態(tài)監(jiān)控 CbM是利用傳感器監(jiān)測機(jī)械系統(tǒng)可能出現(xiàn)的潛在缺陷或損壞的過程。CbM用于

2023-08-12

一起了解Mems加速度傳感器特點(diǎn)

微機(jī)電系統(tǒng)，Micro-Electro-Mechanical-SySTems，簡稱MEMS，基于MEMS技術(shù)的加速度傳感器已有30多年的發(fā)展歷史，但因?yàn)榇嬖诩夹g(shù)和成本等客觀發(fā)展因素的限制，未能像電子消費(fèi)產(chǎn)品一樣進(jìn)入市場。目前，由于MEMS加速度傳感器技術(shù)的進(jìn)步，如今低功耗、高性能的MEMS加速度傳感器已經(jīng)改變了市場新的傳感器市場發(fā)展趨勢。mems加速度

2020-12-14

電子工程師最關(guān)注什么？調(diào)查顯示五大傳感器技術(shù)趨勢

近日，專注傳感器行業(yè)的國外網(wǎng)站FierceElectronics對2020年電子工程師感興趣的主題進(jìn)行了調(diào)查，調(diào)查顯示，按照排名順序，電子工程師最關(guān)注的主題領(lǐng)域是：微機(jī)電系統(tǒng)、物聯(lián)網(wǎng)和連接設(shè)備、自動駕駛汽車、低功耗和電源管理、系統(tǒng)設(shè)計(jì)。是什么趨勢促使人們對這些主題產(chǎn)生興趣？一、MEMS 自從將MEMS用于檢測鋼中應(yīng)變的第一個商業(yè)

2020-06-24

帶你了解MEMS陀螺儀的工作原理

陀螺儀是用來測量角速率的儀器，在加速度功能基礎(chǔ)上，可以進(jìn)一步發(fā)展，構(gòu)建陀螺儀。陀螺儀的內(nèi)部原理是這樣的：對固定指施加電壓，并交替改變電壓，讓一個質(zhì)量塊做振蕩式來回運(yùn)動，當(dāng)旋轉(zhuǎn)時，會產(chǎn)生科里奧利加速度，此時就可以對其進(jìn)行測量；這有點(diǎn)類似于加速度計(jì)，解碼方法大致相同，都會用到放大器。角速率由科氏加速度測

2020-05-13

應(yīng)用于MEMS產(chǎn)品的精密電子零部件及制造技術(shù)

一、精密電子零部件概述微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）是指尺寸在毫米級甚至微米級的微型電子裝置，主要可分為微型傳感器和微型執(zhí)行器兩個大類。由于MEMS的尺寸較小，用于生產(chǎn)MEMS產(chǎn)品的零部件通常也相對較小，一般僅為幾毫米，因此MEMS產(chǎn)品對精密零部件的加工精密度要求非常高。根據(jù)功能和作用的不同，應(yīng)用于MEMS產(chǎn)品的常見精密電子

2020-04-01

中國傳感器發(fā)展的外患內(nèi)憂及政策解讀

數(shù)字化技術(shù)驅(qū)動產(chǎn)業(yè)升級，產(chǎn)品逐步進(jìn)入智能階段。繼互聯(lián)網(wǎng)之后，與國民經(jīng)濟(jì)息息相關(guān)的物聯(lián)網(wǎng)也被推到了風(fēng)口浪尖，根據(jù)此前全球物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展數(shù)據(jù)來看，2018年全球物聯(lián)網(wǎng)市場規(guī)模突破千億美元。不可否認(rèn)，未來，國內(nèi)外物聯(lián)網(wǎng)的市場前景十分廣闊，但是就目前國內(nèi)物聯(lián)網(wǎng)而言，從感知、傳輸、計(jì)算以及應(yīng)用層面上依然存在亟待解決。

2019-12-10

掌握MEMS工藝變量利用vHF氣相蝕刻SiO?

由于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）產(chǎn)品的三維（3D）結(jié)構(gòu)及其與生俱來的機(jī)械特性，制造MEMS器件面臨著獨(dú)特的挑戰(zhàn)。此類產(chǎn)品需要特定的微機(jī)械結(jié)構(gòu)，以便實(shí)現(xiàn)包括振動、旋轉(zhuǎn)或其他動作類型的MEMS功能（圖1）。為此，MEMS制造工藝流程要求在傳統(tǒng)的半導(dǎo)體器件制造工藝流程中增加一個維度（高度），因?yàn)閭鹘y(tǒng)的工藝僅用于制造平面型電子器件

2019-11-14