此外，這個方法利用與數碼相機中所使用的算法相類似的圖像處理算法，以最大限度地提高性能。然而，系統(tǒng)的波長分辨率取決于陣列中探測器元件的尺寸和間隔；在這個陣列中，更小、排列更加緊密的元件提供更高的分辨率。大多數近紅外（NIR）波長敏感的陣列探測器需要價格高且稀缺的材料；這些材料在多元件陣列配置中的十分昂貴。因此，為了降低儀器成本，陣列的分辨率通常較低，或者根本就不可用。為了提高性能，針對較高波長所設計的探測器需要冷卻至環(huán)境溫度以下，從而增加了對系統(tǒng)成本、尺寸和功率的要求，而這也不利于在實驗室以外使用這個方法。

一個強大的使用MEMS技術的新方法

可以使用一個具有單點探測器的基于光學微機電系統(tǒng) （MEMS）陣列技術的全新方法來克服傳統(tǒng)光譜分析方法的很多問題和限制。一個固態(tài)光學MEMS陣列用一個簡單、空間波長濾波器取代了基于單點探測器的系統(tǒng)內的傳統(tǒng)電動光柵。這個方法在消除精細控制電動系統(tǒng)問題的同時，利用了單點探測器的性能優(yōu)勢。近些年，此類系統(tǒng)已經被生產出來；在這些系統(tǒng)中，將每個特定波長過濾到單點探測器中的MEMS器件取代了掃描光柵。這個方法已經被證明，在實現更加小巧且耐用的光譜分析儀的同時，可以產生出高性能。

相對于線性陣列探測器架構來說，光學MEMS陣列具有幾個優(yōu)勢。首先，可以使用較大的單個元件探測器，這就增加了光采集，并且極大地降低了探測器的成本和復雜度，特別是對于紅外系統(tǒng)更是如此。此外，由于不再使用陣列探測器，像素到像素噪聲也被消除了。消除了這個像素到像素噪聲是對信噪比 （SNR）性能的大幅提升。SNR性能的增加可以在更短的時間內獲得更加精確的測量值。[pagebreak]

圖1顯示了一個使用MEMS技術的光譜分析系統(tǒng)的一般工作原理。衍射光柵和聚焦元件的功能不變， 不過來自聚焦元件的光被成像在MEMS陣列上。為了選擇一個針對此分析的波長，光譜響應的一個特定波段被激活，以便將光引向用于光采集和測量的單點探測器元件。