2月20日，中國科學(xué)技術(shù)協(xié)會2023“科創(chuàng)中國”年度會議在北京舉行，會議上舉行了"科創(chuàng)中國"系列榜單發(fā)布儀式。榜單經(jīng)初評、終評，遴選出先導(dǎo)技術(shù)榜150項、新銳企業(yè)榜100項、融通創(chuàng)新組織榜10項、創(chuàng)業(yè)就業(yè)先鋒榜50項、技術(shù)經(jīng)理人先鋒榜20項、國際創(chuàng)新合作50項、開源創(chuàng)新榜30項，共計410項擬入榜項目。

“科創(chuàng)中國”聯(lián)合體理事長、中國工程院院士周濟(jì)介紹了2022年系列榜單征集遴選情況，并與中國科協(xié)副主席、中國工程院院士陳學(xué)東，中國科學(xué)院院士陳潤生等評審專家代表共同揭曉榜單。

中國科學(xué)技術(shù)協(xié)會是我國科學(xué)技術(shù)工作最主要的民間團(tuán)體之一，下轄189個全國性學(xué)會和32個省級科協(xié)，與傳感器產(chǎn)業(yè)息息相關(guān)的中國儀器儀表學(xué)會、中國電子學(xué)會等均在其中。

“科創(chuàng)中國”是中國科協(xié)推出的平臺品牌，旨在構(gòu)建資源整合、供需對接的技術(shù)服務(wù)和交易平臺，為建設(shè)世界科技強國作出新的更大的貢獻(xiàn)。從2020年開始，中國科協(xié)攜手眾多業(yè)界院士、專家和地方學(xué)會、機構(gòu)，推出“科創(chuàng)中國”系列榜單，圍繞服務(wù)國家重大戰(zhàn)略需求，促進(jìn)創(chuàng)新鏈和產(chǎn)業(yè)鏈深度融合，為前沿技術(shù)的轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)落地起到了帶動和示范作用，為科技創(chuàng)新和人才就業(yè)提供有力支撐。

其中，先導(dǎo)技術(shù)榜，聚焦高質(zhì)量發(fā)展的新領(lǐng)域新賽道，著重有重大突破、商業(yè)模式可見、商業(yè)潛力巨大的技術(shù)成果，圍繞電子信息、生物醫(yī)藥、裝備制造、先進(jìn)材料、綠色低碳、產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)6大方向，遴選出150項前沿技術(shù)。

“科創(chuàng)中國”系列榜單極具重量級和權(quán)威性，被認(rèn)為是科創(chuàng)領(lǐng)域的國家級榜單。2022年“科創(chuàng)中國-先導(dǎo)技術(shù)榜”中，有MEMS激光雷達(dá)、高溫柔性溫度傳感器、全國產(chǎn)化高端壓力傳感器等10項傳感器技術(shù)入選。

1、MEMS激光雷達(dá)

技術(shù)團(tuán)隊：北京一徑科技有限公司

推薦單位：中國電子學(xué)會

所屬領(lǐng)域：電子信息領(lǐng)域

一徑科技成立于2017年，是國內(nèi)較早做面向車載應(yīng)用的固態(tài)激光雷達(dá)的團(tuán)隊，提供高性能、小型集成化、可量產(chǎn)的車規(guī)級全固態(tài)激光雷達(dá)產(chǎn)品，賦予無人駕駛汽車、機器人等人工智能應(yīng)用可靠穩(wěn)定、寬視角、遠(yuǎn)距離及高分辨率的三維深度視覺能力。一徑科技MEMS激光雷達(dá)是本次榜單中唯一入選的激光雷達(dá)技術(shù)。

非同軸的MEMS激光雷達(dá)架構(gòu)，是其產(chǎn)品的一大特色。一徑科技認(rèn)為：MEMS技術(shù)是近10年既滿足自動駕駛系統(tǒng)高性能的要求，又滿足車規(guī)級可靠性、低成本和大規(guī)模量產(chǎn)的最佳技術(shù)路線。

2019年1月，一徑科技推出第一顆激光雷達(dá)產(chǎn)品ML-30，此后一經(jīng)科技推出ML-30s、ML-Xs等MEMS激光雷達(dá)，2023年1月在美國CES展上正式發(fā)布全新短距補盲激光雷達(dá)產(chǎn)品—ML-30s+，并計劃在今年內(nèi)實現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)交付。

2、應(yīng)用于極端環(huán)境的柔性溫度傳感器

技術(shù)團(tuán)隊：西安交通大學(xué)

推薦單位：中國機械工程學(xué)會

所屬領(lǐng)域：產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)領(lǐng)域

高溫溫度測量技術(shù)是高溫制造裝備設(shè)計、制造、生產(chǎn)與運維等過程的關(guān)鍵技術(shù)，尤其在鋼鐵冶金、航空航天與石油化工等領(lǐng)域有著迫切的應(yīng)用需求?？捎糜阡撹F冶煉過程高溫精確控制、航空航天高溫部件及流道溫度測量、物理化學(xué)炸藥爆炸溫度場檢測等。

基于Seebeck原理，基于靜電紡絲技術(shù)，在柔性鋁硅氧的紡絲基底上采用高Seebeck系數(shù)且具有良好熱電效應(yīng)的氧化銦、氧化銦錫、鉑等材料作為溫度感知材料。實現(xiàn)瞬時1300℃的燃?xì)鉀_刷溫度測試，將現(xiàn)有柔性溫度傳感器溫域擴(kuò)大> 550%，響應(yīng)時間<2ms，實現(xiàn)柔性傳感器在700℃下的長時間下高溫環(huán)境測試。

同時，制備的樣機已在渦輪發(fā)動機、多種物理化學(xué)爆炸場、燃?xì)饬鲌鲞M(jìn)行初步測試與應(yīng)用驗證,實現(xiàn)無損無擾流的原位溫度場檢測。目前，國內(nèi)的高溫溫度傳感器在材料、加工、標(biāo)定、工程應(yīng)用等技術(shù)方面尚不成熟，尤其在高溫環(huán)境下的柔性溫度傳感器，更是存在“量不了、測不準(zhǔn)”的測量瓶頸。

國外在該領(lǐng)域?qū)ξ覈M(jìn)行長期技術(shù)封鎖與產(chǎn)品壟斷,國內(nèi)“得不到”成熟產(chǎn)品、“摸不清”關(guān)鍵技術(shù)，亟需開展應(yīng)用于極端環(huán)境下的柔性高溫溫度傳感器關(guān)鍵技術(shù)研究，推動我國高端裝備制造技術(shù)發(fā)展。

3、面向全國產(chǎn)化應(yīng)用需求的高端壓力傳感器

技術(shù)團(tuán)隊：西安思微傳感科技有限公司

推薦單位：中國航空學(xué)會

所屬領(lǐng)域：產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)領(lǐng)域

思微科技成立于2021年2月，是航空618所的子公司，思微科技依托于自控所的MEMS工藝制造平臺，以中高端壓力測量為出發(fā)點，旨在打造一家完全自主可控的中高端壓力芯片及傳感器級產(chǎn)品供應(yīng)商，解決核心領(lǐng)域傳感器的需求問題。

本技術(shù)涉及高精度硅諧振壓力傳感器與高溫硅壓阻壓力傳感器兩大系列產(chǎn)品。其中，高精度硅諧振壓力傳感器采用了目前最先進(jìn)的諧振檢測技術(shù)，通過檢測因應(yīng)力變化而產(chǎn)生的頻率的變化，實現(xiàn)溫度范圍-55℃~ 85℃，全量程綜合精度0.01%FS的產(chǎn)品研制，處于國內(nèi)領(lǐng)先水平。

高溫硅壓阻壓力傳感器采用基于SOI工藝的惠斯通電橋技術(shù)方案，通過檢測電阻阻值變化即可實現(xiàn)壓力的測量。公司已具備從芯片設(shè)計、制作到整表級封裝、測試的全流程能力，目前已實現(xiàn)耐溫200℃的多量程譜系產(chǎn)品。

4、高性能MOEMS晶圓制造技術(shù)

技術(shù)團(tuán)隊：中國兵器工業(yè)第二一四研究所

推薦單位：中國兵工學(xué)會

所屬領(lǐng)域：產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)領(lǐng)域

高性能MOEMS晶圓制造技術(shù)主要針對準(zhǔn)靜態(tài)MEMS微鏡、MOEMS掃描鏡等MOEMS產(chǎn)品的晶圓制造領(lǐng)域。

中國兵器工業(yè)第二一四研究所突破高性能MOEMS晶圓制造系列關(guān)鍵技術(shù)，多項技術(shù)和產(chǎn)品填補國內(nèi)空白，建立了國際先進(jìn)、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的垂直不等高驅(qū)動器制備技術(shù)體系，實現(xiàn)了光衰減器、光開關(guān)陣列、可調(diào)光濾波器、MOEMS掃描鏡等產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)。

這些產(chǎn)品是光交叉、智能光束控制和掃描成像的核心芯片，在5G通信、激光雷達(dá)、無人駕駛、智慧工業(yè)等新基建產(chǎn)業(yè)具有廣闊的應(yīng)用前景，是國家發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的重要支撐。

5、全鏈條高溫應(yīng)變傳感器研制-標(biāo)定-檢測-補償技術(shù)

技術(shù)團(tuán)隊：北京科技大學(xué)

推薦單位：北京市科學(xué)技術(shù)協(xié)會

所屬領(lǐng)域：產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)領(lǐng)域

技術(shù)團(tuán)隊發(fā)明了全鏈條高溫應(yīng)變傳感器制備-標(biāo)定-檢測-補償成套系統(tǒng)與方法。通過敏感材料細(xì)晶化，提高了高溫應(yīng)變傳感器使用溫度，研制出自由框架絲柵式高溫應(yīng)變傳感器；提出了四點彎等應(yīng)變反饋控制位移、力值加載及智能功率溫度控制方法，開發(fā)了高溫應(yīng)變傳感器特性參數(shù)標(biāo)裝置；提出了溫度參數(shù)對實測應(yīng)變修正補償時變模型，開發(fā)了高溫應(yīng)變精度修正軟件，獨創(chuàng)了高溫應(yīng)變傳感器穩(wěn)定化處理規(guī)范，實現(xiàn)了高溫應(yīng)變高精度測量。

技術(shù)團(tuán)隊開發(fā)了高溫應(yīng)變傳感器參數(shù)標(biāo)定裝置系列產(chǎn)品,，服務(wù)于多項國家重大儀器設(shè)備開發(fā)專項、國家重點研發(fā)計劃等項目，還為國內(nèi)多家企業(yè)提供了高溫應(yīng)變傳感器標(biāo)定服務(wù)，獲取了應(yīng)變傳感器關(guān)鍵特性參數(shù)。

6、77GHz毫米波雷達(dá)芯片技術(shù)

技術(shù)團(tuán)隊：中國電子科技集團(tuán)公司第三十八研究所

推薦單位：中國電子科技集團(tuán)有限公司

所屬領(lǐng)域：產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)領(lǐng)域

77GHz毫米波雷達(dá)芯片作為汽車?yán)走_(dá)傳感器的核心器件，是國際公認(rèn)的難以攻克的領(lǐng)域，技術(shù)難度高，市場潛力巨大。

中國電子科技集團(tuán)公司第三十八研究所毫米波雷達(dá)芯片團(tuán)隊基于硅基工藝，實現(xiàn)毫米波雷達(dá)收發(fā)前端單芯片集成；基于扇出型晶圓級封裝技術(shù)，實現(xiàn)毫米波天線封裝內(nèi)集成；建立毫米波傳感器芯片測試驗證系統(tǒng)，并通過傳感器應(yīng)用驗證，形成一整套解決方案；在項目產(chǎn)品研制及產(chǎn)業(yè)化過程中形成一系列產(chǎn)品及多項相關(guān)技術(shù)成果，推動這些成果在新能源汽車及智能網(wǎng)聯(lián)汽車上的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

7、新一代UWB室內(nèi)高精度感知技術(shù)

技術(shù)團(tuán)隊：清研訊科（北京）科技有限公司

推薦單位：中國電子學(xué)會

所屬領(lǐng)域：電子信息領(lǐng)域

清研訊科成立于2014年，核心團(tuán)隊來自清華大學(xué)測試技術(shù)與儀器國家重點實驗室，是全系列工業(yè)精確定位產(chǎn)品與解決方案提供商。LocalSense無線定位技術(shù)（自主），實現(xiàn)了與傳統(tǒng)粗定位系統(tǒng)的 1-1.5 代的技術(shù)代差、實現(xiàn)了與一般精確定位方案 1.5-2 年的領(lǐng)先度，2021年入選工業(yè)和信息化部第三批專精特新“小巨人”企業(yè)公示名單。

清研訊科UWB室內(nèi)高精度感知技術(shù)采用自研算法，利用無線脈沖測距，實現(xiàn)準(zhǔn)確的、穩(wěn)定的、多環(huán)境適應(yīng)的位置分析解算能力，突破實現(xiàn)了10cm級定位精度，入選電子信息領(lǐng)域先導(dǎo)技術(shù)榜。

8、“感算一體”動態(tài)視覺智能SoC-Speck

技術(shù)團(tuán)隊：成都時識科技有限公司

推薦單位：成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)管理委員會

所屬領(lǐng)域：電子信息領(lǐng)域

SynSense時識科技（原名aiCTX）創(chuàng)立于2017年，是全球領(lǐng)先的類腦智能與應(yīng)用解決方案提供商。

SynSense時識科技“感算一體”動態(tài)視覺智能SoC-Speck，是唯一入榜類腦芯片技術(shù)，以啟發(fā)自生物的“類腦”+“類眼”技術(shù)在能耗及延遲等方面的量及提升為基礎(chǔ)優(yōu)勢，基于自主研發(fā)的Dynap-CNN芯片架構(gòu)及計算架構(gòu)，結(jié)合動態(tài)視覺傳感器及脈沖神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)處理器模塊、Sinabs模型訓(xùn)練及SNN仿真驗證平臺，Speck聚焦智能設(shè)備終端傳感信息實時處理運算。

無需聯(lián)網(wǎng)，Speck可在毫瓦級功耗下實現(xiàn)always-on的手勢控制、面部識別、人臉檢測、行為分析、跌倒監(jiān)測、姿勢識別等交互任務(wù)，獨立勝任設(shè)備端上視覺智能交互等應(yīng)用場景，降低對計算資源及算力的依賴，實現(xiàn)純邊端感知即處理的超低延遲、超低功耗智能視覺信息處理。

9、單分子基因測序技術(shù)

技術(shù)團(tuán)隊：深圳市真邁生物科技有限公司

推薦單位：深圳市科學(xué)技術(shù)協(xié)會

所屬領(lǐng)域：生物醫(yī)藥領(lǐng)域

真邁生物成立于2012年，致力于基因檢測設(shè)備及試劑的研發(fā)，2018年落戶羅湖大梧桐新興產(chǎn)業(yè)帶，成功研發(fā)出亞洲第一臺具有世界領(lǐng)先水平的單分子基因測序儀，成為國際上屈指可數(shù)的擁有自主基因測序儀品牌的硬科技企業(yè)。

基因測序儀的核心技術(shù)之一是基于MEMS制造工藝的微流控芯片，也被稱為芯片實驗室（Lab-on-a-chip）。真邁生物是此次生物醫(yī)藥領(lǐng)域上榜成果中唯一的基因測序技術(shù)成果。

真邁生物基于單分子測序技術(shù)推出的GenoCare 1600單分子基因測序儀，無需依托于特定的固相PCR或滾環(huán)擴(kuò)增技術(shù)進(jìn)行信號放大，即可直接實現(xiàn)對結(jié)合在芯片表面的“單拷貝核酸分子”進(jìn)行序列的讀取工作。單分子測序技術(shù)搭配PCR-free的文庫制備流程可使檢測結(jié)果更真實地反應(yīng)樣本的原始狀態(tài)，保持檢測結(jié)果的高準(zhǔn)確性，尤其在小片段微缺失微重復(fù)、低比例嵌合異常等樣品的檢出、定量分析上更具優(yōu)勢。

10、嵌入式光纖微探頭超精密激光干涉儀

技術(shù)團(tuán)隊：哈爾濱工業(yè)大學(xué) 超精密光電儀器工程研究所

推薦單位：中國儀器儀表學(xué)會

所屬領(lǐng)域：裝備制造領(lǐng)域

激光干涉測量儀器在光刻機等高端裝備集成、納米傳感器計量校準(zhǔn)以及新材料特性表征等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。

作為激光干涉測量儀器發(fā)展的新方向，與傳統(tǒng)激光干涉儀相比，微探頭傳感器式激光干涉儀測頭集成度極高、體積極小，易嵌入實驗裝置或精密裝備中，在狹小空間中執(zhí)行測量任務(wù)；測頭與主機僅通過單根光纖連接，裝調(diào)便捷且不引入熱污染，易達(dá)成超精密測量目標(biāo)。

微探頭傳感器式激光干涉儀在航空裝備領(lǐng)域、高端測量裝備領(lǐng)域、精密計量測試領(lǐng)域、光刻領(lǐng)域等具備廣泛應(yīng)用，支撐裝備制造中的傳感式超精密測量需求，為我國高端光刻機研發(fā)提供嵌入式在線測量手段，為納米計量測試提供核心儀器。

結(jié)語

由中國科協(xié)推出的“科創(chuàng)中國”系列榜單，一年一度，可謂是中國科技領(lǐng)域年度國家級重磅榜單，極具重量級和權(quán)威性。

本次“科創(chuàng)中國”先導(dǎo)技術(shù)榜單中，有10項來自傳感器領(lǐng)域，而這里面又有5項先導(dǎo)傳感器技術(shù)來自于產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)領(lǐng)域，可見傳感器在國家科技體系中發(fā)揮的重要基礎(chǔ)性作用，傳感器的重要性可見一斑。