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重磅！微電子所在新型硅基環(huán)柵納米線MOS器件研究中取得進(jìn)展

近日，中國科學(xué)院微電子研究所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心在面向5納米以下技術(shù)代的新型硅基環(huán)柵納米線（Gate-all-around silicon nanowire，GAA SiNW）MOS器件的結(jié)...

來源 : 儀商網(wǎng) | 2018-04-28 11:56

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