表面測量儀器用于測量物體表面的形貌、粗糙度、輪廓等參數(shù)。以下是常見的表面測量儀器及其簡要介紹：

1、表面粗糙度儀器(Roughness Tester)：

作用：用于測量表面的粗糙度，通常用于表面處理前后的質(zhì)量比較、工藝控制以及表面質(zhì)量的檢驗(yàn)。

原理：通過磨損式、感應(yīng)式、光學(xué)式等原理，測量表面的峰谷起伏情況，輸出Ra、Rz等粗糙度參數(shù)。

2、表面形狀測量儀(3D Surface Profiler)：

作用：用于測量表面的三維形貌，能夠很好地呈現(xiàn)表面的高低起伏和整體形態(tài)。

原理：通過機(jī)械式、光學(xué)式、激光干涉式等原理，獲取表面的三維形貌數(shù)據(jù)，如表面高度、輪廓等。

3、表面輪廓儀(Contour Measuring Instrument)：

作用：主要用于測量物體表面的輪廓、凹凸度等參數(shù)，常用于工件外形尺寸的檢測。

原理：多采用機(jī)械探針、光學(xué)測量等原理，可以在微米級(jí)別精確測量物體的輪廓形狀。

4、光學(xué)顯微鏡(Optical Microscope)：

作用：通過放大觀察樣品表面的微觀結(jié)構(gòu)，能夠快速直觀地獲取表面形貌信息。

原理：利用光學(xué)放大原理，通過目視或照相等方式觀察表面的微觀結(jié)構(gòu)，常用于金相分析等領(lǐng)域。

5、探針式原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope, AFM)：

作用：用于在原子尺度下測量物體表面的形貌、力學(xué)性質(zhì)等參數(shù)，可提供非常高分辨率的表面形貌信息。

原理：利用微米尺度的探針，通過測量探針與樣品之間的相互作用力以及位移，獲取表面形貌等信息。

這些儀器在工程、材料科學(xué)、制造業(yè)和科學(xué)研究等領(lǐng)域起著關(guān)鍵作用，能夠有效評(píng)估表面質(zhì)量，并指導(dǎo)相關(guān)工藝和研究。