MEMS傳感器從誕生到現(xiàn)在已經(jīng)有40多年的歷史，并且已經(jīng)成為國內(nèi)傳感器企業(yè)爭相追逐的目標之一。雖然國外先行一步，但是國內(nèi)傳感器企業(yè)和MEMS工藝主流生產(chǎn)線也在逐步浮出水面，且為國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展助一臂之力。
下面盤點目前公開信息可查的本土主要的MEMS產(chǎn)線，涵蓋晶圓代工廠和IDM產(chǎn)線的最新情況跟蹤如下（排名不分先后）：
1、上海微技術工研院——國內(nèi)首條8吋“超越摩爾”研發(fā)中試線
2017年12月1日，上海微技術工業(yè)研究院（以下簡稱“工研院”）運營的8吋“超越摩爾” 研發(fā)中試線首款傳感器產(chǎn)品獲得驗證通過，正式宣告研發(fā)中試線通線成功。
圖：上海微技術工研院8吋 “超越摩爾” 研發(fā)中試線
研發(fā)中試線著重開展表面硅、體硅、3D微納加工工藝的開發(fā)，并根據(jù)“超越摩爾”產(chǎn)品和技術特點部署MEMS、硅光子、射頻、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相關工藝和量測設備，提供全方位的產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術培訓、設備驗證等服務，月產(chǎn)能5千片。
2、蘇州納米城——6吋MEMS中試線
該中試線是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目。2014年9月正式運營，為我國中小MEMS企業(yè)的發(fā)展帶來福音。超凈場地、廠務配套設施、研發(fā)實驗室、公共服務等場地共16000平方米，其中超凈工藝場地5200平方米。
其主要開展MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測試、專利運營、設備租賃、超凈場地租賃、工藝技術培訓等十多項專業(yè)服務，目前已成功導入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產(chǎn)品。
3、蘇州納米所——納米加工平臺
納米加工平臺適用于微納電子、光電子器件、微納光機電系統(tǒng)、各種傳感器和生物芯片等研制開發(fā)。針對應用基礎和具有應用前景的科學與技術研究，集微米、納米加工和檢測手段于一體，具有先進的、有特色的加工裝備的研究基地；具有孵化器功能，為企業(yè)全方位開放的服務體系。
約5000平方米的潔凈間，包括百級和千級面積，以及150多臺各種微加工設備，最小加工特征線條尺寸10nm，兼容6英寸-4英寸-2英寸-不規(guī)則小片，提供器件設計和工藝加工的全套解決方案。
4、中科院微電子研究所——8吋MEMS中試線
2016年，中科院微電子所建立了MEMS研發(fā)平臺，其8吋MEMS中試線工藝穩(wěn)定性達到98%；針對三軸重力加速度計、基于氧化釩的紅外圖像傳感器、醫(yī)用CT中X-ray探測、基于薄膜體聲波濾波器（FBAR）、MEMS紅外探測器等產(chǎn)品。該MEMS中試線可靈活、高效地對外提供特種工藝和小批量生產(chǎn)服務及詳細工藝方案。
5、中科院上海微系統(tǒng)所——MEMS生產(chǎn)線
上海微系統(tǒng)所傳感技術聯(lián)合國家重點實驗室從1987年成立至今，一直以來以微電子技術和微納加工技術為基礎開展各類微納傳感器和微系統(tǒng)的研究工作。在國家重點實驗室的1600平方米凈化實驗室中，實驗室以雙面光刻機、硅片鍵合機、DRIE硅深刻蝕機等為基礎開發(fā)了體微機械加工技術除了在芯片上的集成制造，實驗室開發(fā)了傳感器先進封裝技術。
在4吋芯片微納加工線上，實驗室還配有各種在線和離線微納制造表征測試設備：包括各種微納瓷都的膜厚、臺階、應力、紅外三維成像等等在線制造檢測設備，也包括冷場發(fā)射高分辨掃描電鏡、普通透射電鏡的基礎部分等離線制造表征設備，它們可以有效地為MEMS/NEMS技術的開發(fā)提供有監(jiān)控手段。
6、淄博高新區(qū)——6吋MEMS中試線
作為國內(nèi)首條6吋硅基MEMS中試代工平臺于2016年5月17日通過國家質(zhì)量管理體系認證，并于2016年6月20日通過教育部成果鑒定，鑒定成果為國際先進。MEMS平臺投資1.6億人民幣，廠房面積4996平，潔凈面積達1500平，超凈面積和規(guī)模位居山東省、全國前列。
該中試線由清華大學、淄博高新區(qū)MEMS研究院和國高(淄博)微系統(tǒng)科技有限公司共同完成。已具備MEMS陀螺、加速度計、繼電器/開關器件標準中試代工初步能力，完成45個單項工藝和19個產(chǎn)品工藝。
7、廣州奧松電子——6吋MEMS半導體傳感器芯片生產(chǎn)線
2020年，廣州奧松電子有限公司（簡稱“奧松電子”）6吋MEMS半導體傳感器芯片生產(chǎn)線正式投入運營，成功量產(chǎn)出溫濕度、流量、氣體、差壓、風速等傳感器芯片。
奧松電子MEMS半導體生產(chǎn)線一期工程為500納米MEMS半導體工藝制程，生產(chǎn)設備約占整個投資規(guī)模的70%。根據(jù)規(guī)劃，2021年二期工程將建成350納米制程工藝MEMS半導體生產(chǎn)線；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導體生產(chǎn)線；總項目全部建成投產(chǎn)后，每月流片規(guī)模將達到4萬片，滿足奧松電子自身需求及粵港澳大灣區(qū)各類MEMS半導體芯片的代工需求。
8、賽微電子——8吋MEMS國際代工線
賽微電子于2016年收購全球MEMS代工廠中排名第二的瑞典Silex，可生產(chǎn)加速度傳感器、慣性傳感器、流量傳感器、紅外傳感器等多種MEMS傳感器，光學器件、生物器件、硅麥克風等多種MEMS器件，以及各種MEMS基本結(jié)構(gòu)模塊。瑞典產(chǎn)線在 2017-2020 年進行了超過 3 億元人民幣的資本投入，2020 年 9月，瑞典原有 6 吋產(chǎn)線（FAB1）升級切換成 8吋產(chǎn)線，合計 MEMS 晶圓產(chǎn)能提升至 7,000片/月的水平。
圖：賽微電子董事長總經(jīng)理楊云春手持北京FAB3生產(chǎn)的8吋MEMS麥克風晶圓
獲得對Silex的控股后，賽微電子在北京建設了MEMS晶圓代工廠，以擴大該公司的產(chǎn)能。2021年6月10日正式啟動量產(chǎn)，北京 MEMS 產(chǎn)線的建設總產(chǎn)能為 3 萬片/月。
9、中芯集成電路制造（紹興）——8吋MEMS生產(chǎn)線
2018年3月1日，中芯紹興項目舉行簽約儀式，項目首期投資58.8億元人民幣。2018年5月18日，中芯紹興8吋廠房項目舉行奠基儀式。2019年11月，紹興的生產(chǎn)線順利投產(chǎn)，2020年在紹興舉辦的集成電路產(chǎn)業(yè)峰會上，中芯介紹稱，紹興的產(chǎn)能達到每月4萬片。中芯國際的MEMS方案主要集中在MEMS麥克風、加速度計、陀螺儀、壓力、顯微鏡、超聲波傳感器、射頻器件。
10、華潤微電子——6吋、8吋MEMS生產(chǎn)線
華潤微電子MEMS產(chǎn)線是國內(nèi)規(guī)模最大的與CMOS生產(chǎn)線兼容的MEMS傳感器量產(chǎn)生產(chǎn)線，并已自主研發(fā)多套具有國內(nèi)領先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術，用于制造壓力、硅麥克風、光電、溫濕度等MEMS傳感器。
公司IPO募投項目中，8吋MEMS的3000片/月產(chǎn)能擴充已經(jīng)完成，可以投入使用。公司光電及MEMS麥克風工藝平臺從6吋升級到8吋，實現(xiàn)批量生產(chǎn)，產(chǎn)品性能及良率水平優(yōu)秀；整體提升了公司MEMS工藝技術水平和競爭能力。
11、華虹宏力——8吋CMOS-MEMS制造平臺
華虹宏力工藝技術覆蓋1微米至90納米各節(jié)點，在標準邏輯、嵌入式非易失性存儲器、混合信號、射頻、高壓、圖像傳感器、電源管理、功率器件工藝等領域形成了具有競爭力的先進工藝平臺，并正在建立微機電系統(tǒng)（MEMS）工藝平臺。
華虹宏力在8吋CMOS-MEMS制造平臺上，成功實現(xiàn)了MEMS器件與標準CMOS工藝及生產(chǎn)線的全兼容，可為客戶提供單芯片集成CMOS-MEMS體硅和表硅工藝。已流片的產(chǎn)品包括磁力計、加速度計、壓力傳感器等。
12、上海先進（并入積塔半導體）——MEMS生產(chǎn)線
上海先進（并入積塔半導體）是國內(nèi)最早從事汽車電子芯片、IGBT芯片和MEMS芯片制造的企業(yè)。目前，擁有5吋、6吋、8吋晶圓生產(chǎn)線和MEMS獨立生產(chǎn)線各一條，專注于模擬電路、功率器件和MEMS芯片的制造。
2011年9月MEMS生產(chǎn)線建成三軸陀螺儀工藝平臺（就是手機上用方向傳感器）。其MEMS 生產(chǎn)線可以代工的器件包括：三軸陀螺儀、加速度計、生物MEMS芯片、光學MEMS、RF MEMS、微流體開關、壓力傳感器等，可被廣泛應用于消費電子，醫(yī)療電子以及汽車電子等領域。目前，此MEMS生產(chǎn)線擁有世界最先進的深槽刻蝕、鍵合、硅片邊緣修整等設備，設計月產(chǎn)量可達3000片。
13、睿創(chuàng)微納——8吋MEMS晶圓生產(chǎn)線
睿創(chuàng)微納是一家專業(yè)從事非制冷紅外熱成像與MEMS傳感技術開發(fā)的半導體集成電路芯片企業(yè)，2020年7月24日，與煙臺開發(fā)區(qū)簽署協(xié)議，建設一條8吋MEMS工藝線和一條化合物半導體工藝線，滿足研發(fā)和中試要求。睿創(chuàng)微納采用與晶圓代工廠共建產(chǎn)線的模式，8吋MEMS晶圓生產(chǎn)線已投入量產(chǎn)（非制冷紅外熱成像探測器芯片），產(chǎn)能達到每月1500片晶圓，可年產(chǎn)各類芯片360萬顆。
14、河北美泰——6吋MEMS生產(chǎn)線
河北美泰擁有6吋MEMS生產(chǎn)線，主要產(chǎn)品有慣性、測試測量傳感器、壓力、汽車傳感器、RF器件、光MEMS器件等。美泰科技的6吋MEMS生產(chǎn)線總投資超過1億美元，是一個以生產(chǎn)高端MEMS產(chǎn)品為主的全新自動化產(chǎn)線。該新產(chǎn)線的月產(chǎn)能達到1萬片。
圖：美泰科技生產(chǎn)的6吋MEMS晶圓
15、罕王微電子—— 8吋MEMS生產(chǎn)線
罕王微電子作為國際一流的專注于MEMS傳感器IDM制造商之一，擁有先進的8吋MEMS芯片產(chǎn)業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全流程。2016年，罕王微電子收購美信旗下MEMS傳感器業(yè)務，2018年底 8吋MEMS生產(chǎn)線工程建設全部竣工，達產(chǎn)后可實現(xiàn)年產(chǎn)能36萬片、30億只MEMS芯片，可生產(chǎn)MEMS壓力及應力、加速度、陀螺儀、流量、溫度、濕度及氣體等傳感器。
16、西人馬——8吋兼容6吋MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線
西人馬公司泉州MEMS芯片及傳感器生產(chǎn)線車間，配備8吋向下兼容6吋的MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線和中國先進的MEMS器件加工平臺，擁有6000平方米的高等級潔凈車間，具備深硅刻蝕、鍵合、光刻、原子力顯微鏡、掃描電鏡等先進的制造、封裝與檢測設備，具備一體化的量產(chǎn)能力。
產(chǎn)品包括高精度硅壓力傳感芯片、中溫和高溫壓力芯片、陀螺儀芯片等。西人馬已經(jīng)成為國內(nèi)MEMS領域IDM芯片公司的鰲頭，紅外和壓力傳感器每日產(chǎn)量可以達到幾十萬顆。
17、諾思微系統(tǒng)——6吋MEMS晶圓生產(chǎn)線和4吋工藝研發(fā)線
諾思微系統(tǒng)是一家從事無線通信射頻前端MEMS芯片、模塊應用方案設計研發(fā)生產(chǎn)銷售的高科技公司。已投產(chǎn)一條6吋的MEMS晶圓生產(chǎn)線和一條4吋的工藝研發(fā)線，天津廠房和研發(fā)中心總占地面積2.7萬平方米。采用硅襯底的微機電系統(tǒng)(MEMS)制造技術的FBAR射頻濾波器，月生產(chǎn)能力達到3000萬只芯片。
今年3月，作為國內(nèi)唯一具備大規(guī)模量產(chǎn)交付能力的平臺，諾思牽頭國家重點研發(fā)計劃“制造基礎技術與關鍵部件”專項項目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關鍵技術與平臺”正式啟動，未來3年內(nèi)諾思的量產(chǎn)產(chǎn)線將力爭達到年產(chǎn)20億顆芯片的產(chǎn)能規(guī)模，為解決高端射頻濾波芯片的國產(chǎn)供應提供保障。
18、芯動科技——6吋MEMS生產(chǎn)線
浙江芯動科技有限公司創(chuàng)立于2017年4月，是一家專注高端MEMS代工的生產(chǎn)加工企業(yè)。擁有6吋MEMS芯片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全過程，可生產(chǎn)壓力、加速度計、陀螺儀，光鏡和生物醫(yī)學等MEMS傳感器芯片產(chǎn)品。2018年10月生產(chǎn)出首批產(chǎn)品。據(jù)此前相關介紹，芯動科技投產(chǎn)后，生產(chǎn)能力可達年產(chǎn)400萬顆芯片，年產(chǎn)值可達4億元。
據(jù)去年11月官方消息顯示，芯動科技目前已投入1億多用于產(chǎn)線的建設，計劃聯(lián)合資本方在未來2-3年投入5億元人民幣繼續(xù)完善制造基地的相關設備設施。該基地目前建筑面積為3000平方米，是中國最先進的MEMS器件加工平臺之一，具備芯片制造、封裝測試等一系列的能力。
19、啟泰傳感科技——MEMS壓敏傳感芯片生產(chǎn)線
啟泰傳感科技作為傳感器產(chǎn)業(yè)的龍頭企業(yè)，坐擁6千多平方米、潔凈度達100級的壓敏芯片廠。MEMS壓敏傳感芯片生產(chǎn)線于 2019 年 1 月 16 日成功通線， 2019 年 8 月份實現(xiàn)批量生產(chǎn)，年產(chǎn)壓敏傳感芯片50萬顆，第一期達產(chǎn)后可年產(chǎn)芯片600萬顆。
項目一期投資1.8億元，占地面積約35畝，建設總用地面積2 萬多平米，6千多平方米的潔凈壓敏芯片廠，黃光區(qū)潔凈度100級， 其它功能區(qū)1000級，精密機械加工區(qū)10000級。目前，啟泰傳感科技正在規(guī)劃專為汽車產(chǎn)業(yè)研發(fā)的第二條金屬基壓敏芯片生產(chǎn)線，生產(chǎn)線達產(chǎn)后，將年產(chǎn)壓敏芯片3000萬顆，生產(chǎn)水平達到工業(yè)4.0的標準。
20、士蘭微——MEMS傳感器芯片生產(chǎn)線
士蘭微自1997年成立以來，實現(xiàn)了芯片設計、制造、封測等環(huán)節(jié)的一體化布局，為逐步發(fā)展成為MEMS IDM供應商奠定了堅實的基礎。自2010年開始，士蘭微電子投入大量資金，通過對加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產(chǎn)品的開發(fā)，在6吋、8吋芯片生產(chǎn)線上實現(xiàn)了批量制造能力，并建立自己的MEMS封測生產(chǎn)線，初步走通了系列傳感器的IDM發(fā)展之路。
MEMS傳感器方面，士蘭微已推出三軸加速度計、三軸地磁傳感器、六軸慣性傳感器、空氣壓力傳感器、紅外光感傳感器、硅麥克風、心率傳感器等MEMS傳感器產(chǎn)品，緊跟移動智能終端和穿戴式產(chǎn)品發(fā)展的步伐。
21、高德紅外——8吋MEMS生產(chǎn)線
高德紅外已建成 8 吋 0.25um 批產(chǎn)型 MEMS 生產(chǎn)線，是國內(nèi)唯一一條自主可控且具備批產(chǎn)能力的非制冷紅外焦平面探測器生產(chǎn)線。設計生產(chǎn)能力，器件水平和產(chǎn)業(yè)化能力居于國內(nèi)領先國際先進地位。2019年高德紅外進一步投入擴充了晶圓級探測器芯片產(chǎn)線產(chǎn)能，設備已基本到位并調(diào)試完畢，后續(xù)將加大量產(chǎn)晶圓級封裝產(chǎn)品的供貨能力，同時擴展晶圓級產(chǎn)品從高中低端的全面覆蓋，滿足各類客戶需求。
