溫度計(jì)能測(cè)溫度

體重秤能測(cè)體重

這背后發(fā)揮關(guān)鍵作用的就是

傳感器

傳感器就像是電子設(shè)備的“眼睛”和“耳朵”

能感知各種信息

比如溫度、壓力、光線等等

然后把這些信息變成電信號(hào)

讓設(shè)備“看懂”“聽(tīng)懂”

“小物件”喚起“大能量”

今天就來(lái)聊聊

MEMS 壓力傳感器

“小巧玲瓏”的它

是傳感器家族里的一員

因?yàn)轶w積很小

可以集成在各種小小的設(shè)備里

專(zhuān)門(mén)負(fù)責(zé)測(cè)量壓力

而基于Cavity-SOI 原理的

壓阻式絕壓壓力傳感器

是MEMS壓力傳感器中的一種特殊類(lèi)型

憑借獨(dú)特的技術(shù)原理和結(jié)構(gòu)

它實(shí)現(xiàn)了更精準(zhǔn)的絕對(duì)壓力測(cè)量

比如您給輪胎打氣時(shí)

想知道輪胎內(nèi)部的壓力到底夠不夠

或在工廠要確保管道中的液體壓力處于安全范圍

就得靠它來(lái)幫忙測(cè)量壓力

它的工作原理是采用了一種巧妙的“壓阻式”方法

可以把它想象成一個(gè)很敏感的小彈簧

當(dāng)有壓力作用在上面時(shí)

它就會(huì)被壓縮或拉伸

從而改變內(nèi)部的電阻

而通過(guò)檢測(cè)這個(gè)電阻的變化

就能精確地知道壓力的大小

Cavity-SOI技術(shù)是通過(guò)在SOI晶圓上

制造一個(gè)封閉的空腔來(lái)實(shí)現(xiàn)絕壓測(cè)量

這就像是給這個(gè)傳感器加上了一層超級(jí)防護(hù)

讓它測(cè)量壓力的時(shí)候更精準(zhǔn)、更穩(wěn)定

就好比給運(yùn)動(dòng)員穿上了合腳的跑鞋

能輔助他們跑得更快、發(fā)揮更穩(wěn)定

在日常中，還有哪些場(chǎng)景與它相關(guān)？

在汽車(chē)領(lǐng)域，它是引擎管理系統(tǒng)、制動(dòng)系統(tǒng)和氣候控制系統(tǒng)的好幫手；在工業(yè)領(lǐng)域，它常用于液壓系統(tǒng)、氣動(dòng)系統(tǒng)和過(guò)程控制系統(tǒng)，提供實(shí)時(shí)壓力數(shù)據(jù)，幫助控制系統(tǒng)及時(shí)調(diào)整和維護(hù)；在醫(yī)療方面，它被用于呼吸機(jī)、血壓監(jiān)測(cè)儀和其他醫(yī)療設(shè)備；在消費(fèi)電子領(lǐng)域，諸如智能手機(jī)、智能手表等產(chǎn)品中也有它的身影。

中國(guó)電科58所打造的150kPa和700kPa兩款MEMS壓阻式絕壓壓力傳感器，具有高精度、高可靠、低功耗、穩(wěn)定性強(qiáng)、抗干擾能力強(qiáng)、尺寸微型化等突出特點(diǎn)。

其中，150kPa的傳感器常用于優(yōu)化燃油噴射和點(diǎn)火時(shí)機(jī)，提升汽車(chē)的燃油效率和動(dòng)力性能。在醫(yī)療領(lǐng)域，也能精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)呼吸機(jī)中的氣道壓力，為患者的呼吸治療提供可靠保障。在智能手機(jī)中，其氣壓計(jì)功能可幫助實(shí)現(xiàn)海拔高度測(cè)量和準(zhǔn)確的天氣預(yù)報(bào)。700kPa的傳感器是渦輪增壓引擎的得力伙伴，能夠精確測(cè)量引擎壓力，確保發(fā)動(dòng)機(jī)在高負(fù)載下的安全運(yùn)行。在醫(yī)療方面，對(duì)于像體外循環(huán)設(shè)備這類(lèi)需要更高壓力監(jiān)測(cè)的設(shè)備，它能夠提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)，保障醫(yī)療操作的順利進(jìn)行。

目前，58所正在進(jìn)行絕壓產(chǎn)品壓力量程系列化拓展，向著100kPa~2000kPa絕壓壓力量程產(chǎn)品全覆蓋及量產(chǎn)化的目標(biāo)前進(jìn)。不斷致力于技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品優(yōu)化，為千行百業(yè)提供更多高性能、高可靠性的MEMS傳感器產(chǎn)品。