中試平臺建設(shè)迎來新突破！7月11日，由廣東微納院建設(shè)的“半導(dǎo)體微納加工、半導(dǎo)體材料外延”兩大中試平臺實現(xiàn)產(chǎn)線貫通，吸引12家企業(yè)簽約合作項目，合作高校、院所、企業(yè)代表超180人參加，加速佛山半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向“芯”發(fā)展。
廣東微納院半導(dǎo)體微納加工中試平臺通線。
12個項目簽約
強(qiáng)化企業(yè)集聚效應(yīng)
活動上，“半導(dǎo)體微納加工、半導(dǎo)體材料外延”兩大中試平臺各簽約6個項目，將為半導(dǎo)體企業(yè)提供中試流片、客制化材料外延生長等多個服務(wù)。另外平臺通線后，具備8吋硅晶圓和氮化鎵晶圓加工能力，2-8吋氮化鎵基材料外延生長能力；其中晶圓加工產(chǎn)能為8吋5000片/月，材料外延生長總產(chǎn)能為4吋4000片/月。
半導(dǎo)體微納加工中試平臺項目簽約儀式。
其中，半導(dǎo)體材料外延中試平臺簽約客戶、廣州市鴻利秉一光電科技有限公司，主要生產(chǎn)紫外發(fā)光二極管、半導(dǎo)體激光器等半導(dǎo)體產(chǎn)品，多用于光固化、光醫(yī)療、消菌殺毒等領(lǐng)域。目前，國內(nèi)在半導(dǎo)體激光芯片，尤其是綠光芯片的生產(chǎn)封裝方面遇到了較大的技術(shù)瓶頸，企業(yè)剛好依托平臺提供相應(yīng)的設(shè)備及技術(shù)支持，實現(xiàn)技術(shù)難題突破。
“我們主要看中廣東微納院有很多新型的、先進(jìn)的設(shè)備，可以依托微納院進(jìn)行芯片定制研發(fā)，再由我們進(jìn)行封裝技術(shù)攻關(guān)，一起推動紫外發(fā)光二極管和半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品發(fā)展?！睆V州市鴻利秉一光電科技有限公司研發(fā)總監(jiān)任榮斌說道。
而另一家簽約半導(dǎo)體微納加工平臺的企業(yè)——紅與藍(lán)半導(dǎo)體（佛山）有限公司，則看中了省、市、區(qū)各級政府對平臺的大力支持，以及平臺強(qiáng)大的資源背景。
“企業(yè)落戶佛山以來，受到市、區(qū)各級政府的大力支持。而且平臺在中國科學(xué)院蘇州納米所的支持下，組建了一支非常專業(yè)的團(tuán)隊，無論在設(shè)備維護(hù)、保養(yǎng)、操作、運行等各個方面，都能為企業(yè)進(jìn)行工藝研發(fā)提供了強(qiáng)有力的支撐，吸引我們不斷將資源向佛山傾斜?！奔t與藍(lán)半導(dǎo)體（佛山）有限公司董事長楊戰(zhàn)武表示，企業(yè)聚焦寬禁帶化合物半導(dǎo)體材料，尤其是氮化鎵技術(shù)和產(chǎn)品的研發(fā)、制造。而目前平臺所能提供的8吋5000片/月的氮化鎵晶圓加工能力，對企業(yè)來說是一個巨大的福音。
截至目前，廣東微納院累計孵化引進(jìn)各類半導(dǎo)體企業(yè)43家，企業(yè)估值超過30億元，在半導(dǎo)體微納加工和材料外延表征等方面形成顯著的特色和競爭力。
二期建設(shè)封頂
提升平臺服務(wù)容量
活動當(dāng)天，歷時一年半建設(shè)的廣東微納院二期，迎來了封頂儀式。
廣東微納院二期封頂儀式。
依托半導(dǎo)體中試平臺，廣東微納院二期建設(shè)于2023年3月啟動，定位為產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)，建有6萬㎡專業(yè)化半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)載體，其中潔凈廠房3.4萬平方米，預(yù)計2025年一季度設(shè)備安裝進(jìn)場、二季度建成投產(chǎn)，將打造成為華南地區(qū)潔凈面積最大、產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋最全的專業(yè)化技術(shù)驅(qū)動型主題園區(qū)。
廣東微納院副院長王暉介紹中試平臺規(guī)劃與建設(shè)情況。
廣東微納院副院長王暉表示，將一個毛坯的廠房變成能讓企業(yè)入駐后直接使用的潔凈車間，是一個非常復(fù)雜的系統(tǒng)性工程。其中包括水電氣以及各種環(huán)評資質(zhì)，并非所有企業(yè)都具備建設(shè)半導(dǎo)體廠房的專業(yè)能力和充足資金?！拔覀儼寻雽?dǎo)體發(fā)展所需要素都先準(zhǔn)備好，讓企業(yè)做到進(jìn)駐即生產(chǎn)，從客戶變成鄰居?！?
據(jù)悉，平臺除了能提供專業(yè)設(shè)備、幫助企業(yè)進(jìn)行半導(dǎo)體芯片技術(shù)攻關(guān)等中試服務(wù)外，還為企業(yè)提供了超凈場地，方便企業(yè)直接入駐，與平臺共建產(chǎn)線、共研技術(shù)、共育人才。以紅與藍(lán)半導(dǎo)體企業(yè)為例，入駐平臺后已在產(chǎn)線上完成氮化鎵（功率半導(dǎo)體）單步工藝調(diào)試，并于近期實現(xiàn)批量生產(chǎn)。預(yù)計后續(xù)完成良品率及成本（調(diào)優(yōu)）后，可初步形成年產(chǎn)（值）2000萬元的產(chǎn)業(yè)化合作。
接下來，廣東微納院還將持續(xù)擴(kuò)大平臺建設(shè)。一是計劃投入約3億元購置新型設(shè)備，滿足日益增長的產(chǎn)能和企業(yè)個性化需求。二是推動三期產(chǎn)業(yè)加速區(qū)建設(shè)，建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)廠房，打造半導(dǎo)體裝備、材料、器件等上下游產(chǎn)業(yè)主題園區(qū)。三是謀劃四期建設(shè)?！熬嚯x微納院一兩公里，有大概五六百畝地，如果后期需要開展四期建設(shè)，也是我們的選擇之一，政府部門也在幫我們規(guī)劃?！蓖鯐熣f道。
市、區(qū)聯(lián)動協(xié)力
加快半導(dǎo)體人才培養(yǎng)
《佛山市半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展行動方案（2022-2025年）》提出，加強(qiáng)區(qū)域內(nèi)行業(yè)企業(yè)和高校院所等開展溝通交流、技術(shù)合作活動，到2025年形成本地特色的半導(dǎo)體專業(yè)人才引進(jìn)培養(yǎng)體系。
廣東微納院與華師大工學(xué)部簽約合作，共育半導(dǎo)體人才。
活動上，廣東微納院還與華南師范大學(xué)工學(xué)部舉行了合作簽約儀式，并與廣東綠展科技有限公司、廣東匯芯半導(dǎo)體有限公司、廣東鴻浩半導(dǎo)體設(shè)備有限公司等三家企業(yè)分別達(dá)成產(chǎn)學(xué)研合作，多方將開展多層次、多形式的合作，探索“企業(yè)家+科學(xué)家+工程師”的科技成果轉(zhuǎn)化新模式，以高校資源賦能、以科研院所工程化能力支撐，加速人才鏈、創(chuàng)新鏈和產(chǎn)業(yè)鏈的深度融合，實現(xiàn)科技與產(chǎn)業(yè)雙向奔赴。
廣東微納院、華南師范大學(xué)工學(xué)部與三家南海企業(yè)簽訂產(chǎn)學(xué)研合作協(xié)議。
據(jù)悉，7月9日，南海啟動全面深化校地融合高質(zhì)量發(fā)展行動，并發(fā)布《關(guān)于加強(qiáng)校地合作推動科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合的工作方案》，將與區(qū)內(nèi)10所高校（高職）全面深化戰(zhàn)略合作，通過優(yōu)勢互補(bǔ)、資源共享，高質(zhì)量建設(shè)灣區(qū)產(chǎn)業(yè)科技創(chuàng)新高地，打造國內(nèi)具有競爭力的科技創(chuàng)新開放環(huán)境，推動產(chǎn)業(yè)與科技互促雙強(qiáng)。
“今天，廣東微納院與華師大工學(xué)部合作簽約，是南海全面深化校地融合高質(zhì)量發(fā)展系列活動的第二站，雙方將在成果轉(zhuǎn)化、儀器共享、人才培養(yǎng)和創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)等方面開展合作。”南海區(qū)副區(qū)長勞劍峰表示，南海促成華師大工學(xué)部與廣東微納院的合作簽約，也是希望能夠?qū)⒛虾５倪@些資源與華師大工學(xué)部的資源進(jìn)行共享，通過強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，以科技創(chuàng)新推動產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新，努力促進(jìn)社會生產(chǎn)力實現(xiàn)新的躍升。
