3月11日，廣州增芯科技有限公司12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目（以下簡(jiǎn)稱“增芯項(xiàng)目”）在廣州增城開發(fā)區(qū)舉行光刻機(jī)搬入活動(dòng)，這標(biāo)志著增芯項(xiàng)目順利進(jìn)入調(diào)試投產(chǎn)準(zhǔn)備階段。據(jù)了解，該項(xiàng)目預(yù)計(jì)今年6月份將完成首批設(shè)備安裝，今年12月底完成第一個(gè)有良率的產(chǎn)品下線。

記者從現(xiàn)場(chǎng)獲悉，增芯項(xiàng)目一期計(jì)劃投資370億元，自2022年底動(dòng)工起，僅用9個(gè)月零6天完成自樁基啟動(dòng)至主廠房封頂建設(shè)，實(shí)現(xiàn)了“開工一年裝機(jī)”，封頂至今僅5個(gè)多月便迎來(lái)了生產(chǎn)線最核心的裝備——光刻機(jī)?！斑@次大家看到光刻機(jī)進(jìn)廠，說(shuō)明離我們正式通線投產(chǎn)就不遠(yuǎn)了?！睆V州增芯科技有限公司總經(jīng)理張亮說(shuō)。

“光刻機(jī)是晶圓制造當(dāng)中最關(guān)鍵的核心裝備，我們計(jì)劃引入多臺(tái)光刻機(jī)，資金投入占到整個(gè)工廠建設(shè)的25%?！睆埩两榻B，光刻作為集成電路制造的關(guān)鍵工藝，利用光化學(xué)反應(yīng)原理把實(shí)現(xiàn)制備在掩模版上的圖形轉(zhuǎn)印到晶圓表面，后續(xù)經(jīng)過(guò)蝕刻在晶圓上形成圖形，“這臺(tái)光刻機(jī)的速率是非?？斓模瑢?duì)我們整個(gè)的生產(chǎn)效率提升和穩(wěn)定起到了非常關(guān)鍵的作用”。

增芯項(xiàng)目接下來(lái)還有哪些關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)？“在今年通線投產(chǎn)的過(guò)程中，我們還將經(jīng)歷產(chǎn)品良率的提升、產(chǎn)能的爬坡等關(guān)鍵步驟，未來(lái)希望能在增城打造月產(chǎn)12萬(wàn)片的產(chǎn)能，更好地輻射整個(gè)粵港澳大灣區(qū)集成電路芯片的需求?！睆埩翉?qiáng)調(diào)，目前國(guó)產(chǎn)裝備在增芯一期項(xiàng)目里的使用占比超過(guò)了35%，希望在二期投產(chǎn)的時(shí)候能達(dá)到一半以上。

值得注意的是，在廣東打造國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展“第三極”過(guò)程中，增城區(qū)正加快構(gòu)建以“芯顯車”為主導(dǎo)的現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系，在培育發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)方面，已相繼布局了增芯、越海等一批規(guī)模大、能級(jí)高、帶動(dòng)力強(qiáng)的骨干項(xiàng)目，覆蓋集成電路“四梁八柱”中制造、封測(cè)、裝備、材料和平臺(tái)等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

文、圖 ｜ 記者 許張超