11月24日，第三屆中國MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展高峰論壇在安徽蚌埠召開。論壇期間，中國兵器工業(yè)集團有限公司第二一四研究所召開了“MEMS成套工藝及高性能慣性傳感器”產(chǎn)品發(fā)布會，正式推出了“基于微晶玻璃鍵合的SOI體硅工藝”“基于TSV-SOI的體硅工藝”等4套MEMS工藝體系。該工藝具有全硅低應力、亞微米高精度和晶圓級高真空封裝等三大技術(shù)特色，可為用戶提供一站式、全方位技術(shù)服務。

同時，該所還發(fā)布了12款高性能MEMS慣性傳感器。此次發(fā)布的12款高性能MEMS慣性傳感器包含高性能MEMS陀螺儀、高性能MEMS加速度計和特種裝置用大量程MEMS開關(guān)三類。其中高性能MEMS陀螺儀產(chǎn)品4款，量程覆蓋范圍400°/s-4000°/s，零偏穩(wěn)定性（10s平滑）（1σ）優(yōu)于1°/h；高性能MEMS加速度計3款，量程覆蓋范圍±2g-±100g，零偏穩(wěn)定性（10s平滑）（1σ）小于20μg；特種裝置用大量程MEMS開關(guān)產(chǎn)品5款，量程覆蓋5000g、20000g及以上。此次發(fā)布的12款高性能MEMS慣性傳感器，其敏感結(jié)構(gòu)及配套ASIC電路，為全國產(chǎn)化自主設(shè)計和生產(chǎn)，產(chǎn)品通過了中國儀器儀表學會組織的新產(chǎn)品鑒定，具有動態(tài)范圍大、精度高、高量程、抗高過載能力強等優(yōu)點。

關(guān)于慣性傳感器

慣性傳感器是一種傳感器，主要是檢測和測量加速度、傾斜、沖擊、振動、旋轉(zhuǎn)和多自由度(DoF)運動，是解決導航、定向和運動載體控制的重要部件。