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  • 【研究進展】基于硅晶格常數(shù)的納米線寬計量技術(shù)

    納米線寬是集成電路的關(guān)鍵尺寸量值，通常也被稱為關(guān)鍵尺寸（Critical Dimension，CD），其量值的準確性對芯片器件的性能影響巨大。研究表明，當集成電路線寬節(jié)點...

    來源 : 中國計量科學研究院 | 2022-09-13 13:50
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