納米線寬是集成電路的關(guān)鍵尺寸量值,通常也被稱(chēng)為關(guān)鍵尺寸(Critical Dimension,CD),其量值的準(zhǔn)確性對(duì)芯片器件的性能影響巨大。研究表明,當(dāng)集成電路線寬節(jié)點(diǎn)...
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