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  • 硅材料難題解決 助力MEMS器件突破極限

    硅材料從大自然常見的沙子中取材，成本低、產(chǎn)量大，因此被廣泛用作MEMS器件的襯底材料，并被譽(yù)為信息時(shí)代的“骨干”材料。但是，硅在常溫環(huán)境下的脆性限制了MEMS...

    來源 : MEMS | 2020-06-22 10:59
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