隨著人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、數(shù)字經(jīng)濟(jì)、智能裝備、元宇宙等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，MEMS傳感器的需求量在快速增長。根據(jù) Yole 的 數(shù)據(jù)，2020 年全球 MEMS 行業(yè)市場規(guī)模為 120.48 億美元，預(yù)計(jì) 2026 年市場規(guī)模將達(dá)到 182.56 億美元。

國內(nèi)MEMS傳感器市場巨大，據(jù)賽迪顧問報(bào)告稱，預(yù)計(jì)到2023年中國MEMS市場規(guī)模將超過1200億元，然而中國目前中高端傳感器還是以進(jìn)口為主，尤其是在智能傳感器方面，和國外還有巨大的差距。

為了盡快滿足國內(nèi)對中高端智能傳感器的大量應(yīng)用需求，提高本土廣泛應(yīng)用場景的數(shù)字化和智能化，構(gòu)建多領(lǐng)域、深層次的國際科技合作體系，引導(dǎo)先進(jìn)技術(shù)實(shí)現(xiàn)本土產(chǎn)業(yè)化、國產(chǎn)化尤為重要。

在此背景下，平湖經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)和德國漢希科特應(yīng)用研究院共同成立了漢?？铺匕雽?dǎo)體技術(shù)（平湖）有限公司（簡稱“漢?？铺兀ㄆ胶保５聡鴿h?？铺貞?yīng)用研究院成立于1990年，是位于德國巴登符騰堡州半導(dǎo)體的一家州立微系統(tǒng)傳感器應(yīng)用研究院，專注于硅基技術(shù)、微傳感器開發(fā)、電子和微電子系統(tǒng)以及軟件解決方案，在該領(lǐng)域研究中有極強(qiáng)的競爭力。

作為德國漢希科特應(yīng)用研究院在全球的第一家海外市場拓展機(jī)構(gòu)，漢希科特（平湖）創(chuàng)立初衷是希望將德國先進(jìn)的微系統(tǒng)傳感器制造技術(shù)在中國市場實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化，嘗試將各類高質(zhì)量傳感器應(yīng)用到相關(guān)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。

據(jù)悉，漢希科特（平湖）擁有成熟的研發(fā)平臺、設(shè)施設(shè)備和人才隊(duì)伍，設(shè)立了專門的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，研發(fā)辦公室，萬級潔凈車間和加工車間。

3月29日，感知芯視界在2023深圳國際傳感器與應(yīng)用技術(shù)展覽會上采訪了漢?？铺兀ㄆ胶┛偨?jīng)理鐘銳，請她分享了漢?？铺貛淼牧咙c(diǎn)展品以及企業(yè)在傳感器技術(shù)研發(fā)、市場應(yīng)用等方面的技術(shù)優(yōu)勢、未來的發(fā)力方向。

圖片圖：漢?？铺匕雽?dǎo)體技術(shù)（平湖）有限公司總經(jīng)理鐘銳

以下是專訪對話內(nèi)容：

Q：請您介紹漢?？铺兀ㄆ胶┰谏钲趪H傳感器展會上帶來了哪些亮點(diǎn)產(chǎn)品？

鐘銳：我們帶來了一些德國漢?？铺貞?yīng)用研究院比較成熟的產(chǎn)品，希望可以對接中國市場，比如流量傳感器、微流控式細(xì)胞打印頭以及氣體傳感器等。德國漢?？铺貞?yīng)用研究院已經(jīng)有70年的歷史，成立于1953年，最初是鐘表制造研究所，自1980年MEMS技術(shù)興起時(shí)，開始研發(fā)MEMS傳感器，1981年改為微系統(tǒng)應(yīng)用研究院，在MEMS行業(yè)積累了很多專業(yè)的產(chǎn)品。

Q：目前咱們的產(chǎn)品都是基于德國的技術(shù)來做？

鐘銳：是的，因?yàn)镸EMS傳感器開發(fā)的流程非常長，一款產(chǎn)品從開發(fā)走到市場應(yīng)用需要花費(fèi)很多年的時(shí)間。我們現(xiàn)在希望把漢?？铺兀ㄆ胶┳龀梢粋€(gè)平臺，把德國成熟的技術(shù)、成熟的產(chǎn)品引進(jìn)過來對接中國的市場。實(shí)際上這個(gè)對接過程也是需要時(shí)間的，因?yàn)镸EMS傳感器類似于非標(biāo)定制產(chǎn)品，每個(gè)企業(yè)、每個(gè)客戶都有自己特殊的需求，我們需要對接本地化的需求，并進(jìn)行落地應(yīng)用。

Q：請您談?wù)劃h?？铺兀ㄆ胶└聡鴿h?？铺貞?yīng)用研究院的合作模式是怎么樣的？

鐘銳：可以把我們看成是一家人。目前我們在平湖正在組建中國設(shè)計(jì)和工藝團(tuán)隊(duì)。因?yàn)镸EMS比較特殊，它需要有一條產(chǎn)線來做支撐，我們也在規(guī)劃未來建設(shè)一條MEMS制造中試線。

在產(chǎn)品開發(fā)方面，我們正在做逐步的轉(zhuǎn)移。我們希望把德國的技術(shù)引進(jìn)到中國來，逐步實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化。比如在MEMS產(chǎn)品封測方面，我們已在平湖建設(shè)了一條封測中試線。

Q：德國跟國內(nèi)市場也不一樣，人才團(tuán)隊(duì)建設(shè)重點(diǎn)也不同？

鐘銳：確實(shí)如此，盡管產(chǎn)品、場景是類似的，但國內(nèi)市場跟國外市場是不同的。所以我們在國內(nèi)的人才很看重應(yīng)用工程師。電路和應(yīng)用這兩塊是我們最先組建的團(tuán)隊(duì)。

Q：請您介紹一下具體的產(chǎn)品應(yīng)用案例？

鐘銳：我先給大家介紹一下德國漢?？茟?yīng)用研究院那邊的應(yīng)用案例。比如流量傳感器用在工業(yè)以及汽車上。實(shí)際上，這款流量傳感器在德國的應(yīng)用非常多，客戶的范圍也會非常廣。

德國漢?？铺貞?yīng)用研究院并不是只做協(xié)助開發(fā)，他可以提供的服務(wù)種類非常多。比如，可以根據(jù)歐洲傳感器大廠客戶的需要提供MEMS芯片的設(shè)計(jì)；此外，漢?？铺剡€擁有晶圓制造6寸和8寸產(chǎn)線，24小時(shí)運(yùn)行，可以為客戶提供MEMS芯片代工服務(wù)。德國漢?？铺貞?yīng)用研究院的流量傳感器、氣體傳感器、陀螺儀以及微流控等產(chǎn)品，遍布世界多地。

Q：請您談?wù)劃h希科特（平湖）的產(chǎn)品跟國內(nèi)的競品比，有哪些方面的優(yōu)勢？

鐘銳：首先是來源比較可控，因?yàn)樾酒瑏碓炊际俏覀冏约嚎烧莆盏?。其次，我們在國?nèi)有穩(wěn)定的合作晶圓廠，產(chǎn)能也相對有保障。未來，我們希望逐漸把這個(gè)產(chǎn)品工藝開發(fā)放在國內(nèi)，最后實(shí)現(xiàn)全產(chǎn)業(yè)鏈自主可控。

Q：請問你們的目標(biāo)應(yīng)用領(lǐng)域是汽車還是工業(yè)？

鐘銳：我們漢?？铺刂饕龉I(yè)市場，但也會服務(wù)于做汽車產(chǎn)品的公司。

Q：請問漢?？铺卦谥袊@邊的研究院和公司，未來方向上會以哪個(gè)為主？

鐘銳：兩個(gè)都要同時(shí)運(yùn)行的。我們是帶著德國漢?？铺貞?yīng)用研究院的使命來創(chuàng)立漢?？铺兀ㄆ胶┑摹Ｎ覀兿Ｍ麑⒌聡⑾到y(tǒng)應(yīng)用研究院的模式在中國的市場和研究機(jī)構(gòu)環(huán)境下進(jìn)行衍生推行，將德國先進(jìn)的微系統(tǒng)傳感器制造技術(shù)在中國市場的驅(qū)動(dòng)下，實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化。

德國漢?？铺貞?yīng)用研究院是采用非營利模式來運(yùn)營的。收益投入到設(shè)備更新和擴(kuò)大廠房建設(shè)中，以保持跟客戶企業(yè)同樣的生產(chǎn)水平。我們當(dāng)時(shí)成立漢希科特（平湖）的時(shí)候，獲得了德國研究院的院長、領(lǐng)導(dǎo)們的大力支持。他們都是做技術(shù)出身，希望把自己的技術(shù)用到有需要的地方，不分國界。

漢希科特（平湖）研究院是秉持著為中國市場服務(wù)的初心，一方面做新產(chǎn)品和未來產(chǎn)品方向的開發(fā)和研發(fā)，帶有研究所的性質(zhì)。從企業(yè)角度來看，我們是公司化運(yùn)作，為企業(yè)提供開發(fā)服務(wù)和定制化MEMS傳感器。具體服務(wù)模式，是多樣化的。

Q：請您談?wù)劦聡鴿h?？铺匮芯吭河心男┓矫娴慕?jīng)驗(yàn)值得我們?nèi)ソ梃b？

鐘銳：我覺得這個(gè)問題提得很中肯。

德國研究院一般分為兩種。一種是科學(xué)研究院，比如“量子之父”馬克斯·普朗克是做科學(xué)研究的，有很多的專利、發(fā)明等；另外一種是做應(yīng)用技術(shù)的研究院，比如弗朗霍夫研究所，主要是研究技術(shù)如何產(chǎn)業(yè)化落地。

德國漢?？铺貞?yīng)用研究院類似于后者，獨(dú)特的地方在于漢希科特有MEMS傳感器芯片制造生產(chǎn)線。很多合作企業(yè)即使拿到了MEMS傳感器的工藝技術(shù)，他們的產(chǎn)線很難制造出所需芯片，所以委托漢希科特來提供代工服務(wù)。因此，漢?？铺鼐妥兂闪艘粋€(gè)可提供MEMS傳感器的制造代工的研究所。我們也考慮在中國也可以把這一塊發(fā)揚(yáng)光大，為周邊企業(yè)做高精度的MEMS傳感器代工服務(wù)。

另一方面，德國漢?？铺馗髽I(yè)的緊密合作，是值得我們學(xué)習(xí)的。漢?？铺匚挥诎偷欠v堡州四個(gè)地方，在斯圖加特大學(xué)，烏爾姆大學(xué)，弗萊堡大學(xué)，總部位于威靈根施威靈根。巴登符騰堡州有大量的工業(yè)企業(yè)，為了可以支持這些企業(yè)，漢?？铺卦诘乃膫€(gè)機(jī)構(gòu)，為企業(yè)提供定制化MEMS傳感器研發(fā)和制造服務(wù)。

中國跟德國的企業(yè)是不同的。比如，在德國，漢希科特會跟其它傳感器公司或者生產(chǎn)企業(yè)的部門合作，一起開發(fā)產(chǎn)品；但在中國，可能中小型企業(yè)目前還不具備技術(shù)研發(fā)能力，他們往往會給出需求，我們來提供量產(chǎn)前的樣品或者直接提供產(chǎn)品。

總的來說，中德兩地的企業(yè)發(fā)展情況不同，我們也需要向中國的應(yīng)用研究所學(xué)習(xí)寶貴經(jīng)驗(yàn)，二者要相互結(jié)合、因地制宜。我們始終保持開放合作的模式，目的是為中國客戶提供穩(wěn)定的中高端的傳感器。