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昆博研究院牽頭起草MEMS硅壓阻溫壓復(fù)合壓力傳感器芯片國家標準


  來源: 昆山旅游度假區(qū)發(fā)布 時間:2024-08-11 編輯:清風(fēng)
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日前,全國標準信息公共服務(wù)平臺公開發(fā)布信息,由昆山昆博智能感知產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司(簡稱:昆博研究院)牽頭起草的《微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) MEMS硅壓阻溫壓復(fù)合壓力傳感器芯片》獲批立項,正式進入起草階段,這是該研究院第二次牽頭制定國家標準。



近年來,昆山昆博智能感知產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司憑借其專業(yè)的技術(shù)水平和研發(fā)實力,牽頭起草制定了國家標準《微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 傳感器用MEMS壓電薄膜的環(huán)境試驗方法》,并牽頭成立了MEMS高端裝備應(yīng)用標準化研究組,為我國在MEMS技術(shù)領(lǐng)域的標準化工作以及相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展不斷助力。此外,該研究院還積極參與了《MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗方法》《微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) MEMS材料微柱壓縮試驗方法》《微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 薄膜力學(xué)性能的鼓脹試驗方法》等國家標準的起草制定工作。


標準背景


隨著我國航空航天、工業(yè)等領(lǐng)域的快速發(fā)展,許多場景任務(wù)提出了多物理量、多參數(shù)并行測量和處理的要求,一體化多功能復(fù)合傳感器受到越來越多的關(guān)注。市面上常見的比較成熟的復(fù)合傳感器是溫度和壓力兩個物理量的測量。采用溫度與壓力集成芯片的方式實現(xiàn)單芯片多功能同時測量溫度和壓力信息,復(fù)合壓力傳感器芯片測溫元件可以準確反映壓力傳感器工作環(huán)境溫度,從而為溫度補償提供準確參考依據(jù),提高傳感器精度,同時MEMS硅壓阻溫壓復(fù)合壓力傳感器芯片能夠降低傳感器尺寸,提高集成度。


目前,國內(nèi)外沒有關(guān)于MEMS硅壓阻溫壓復(fù)合壓力傳感器芯片專用標準,用戶和生產(chǎn)廠家之間沒有統(tǒng)一的質(zhì)量技術(shù)標準。本項目研究制定關(guān)于MEMS硅壓阻溫壓復(fù)合壓力傳感器芯片通用技術(shù)標準,對適用于航空航天、工業(yè)、能源開發(fā)等領(lǐng)域的MEMS硅壓阻溫壓復(fù)合壓力傳感器芯片基本性能要求及測試方法進行了規(guī)定。昆山昆博智能感知產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院研制我國自主的MEMS硅壓阻溫壓復(fù)合壓力傳感器芯片國家標準,將彌補我國該領(lǐng)域的標準空白,加快我國MEMS硅壓阻溫壓復(fù)合壓力傳感器芯片研發(fā)、生產(chǎn)效率,降低產(chǎn)品成本,提高我國MEMS硅壓阻溫壓復(fù)合壓力傳感器芯片產(chǎn)品質(zhì)量,引領(lǐng)國產(chǎn)MEMS硅壓阻溫壓復(fù)合壓力傳感器芯片進入國際市場。


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