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航裕電源:碳化硅功率半導(dǎo)體器件測(cè)試專用電源


第三代半導(dǎo)體材料碳化硅具有禁帶寬度大、臨界擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度高、電子飽和遷移速率大、電子密度高、熱導(dǎo)率高、介電常數(shù)低,具備高頻高效、耐高壓、耐高溫,以及抗輻射能力強(qiáng)等諸多優(yōu)越性能,因而能制備出在高溫下運(yùn)行穩(wěn)定,在高電壓、高頻率等極端環(huán)境下更為穩(wěn)定的半導(dǎo)體器件,是支撐固態(tài)光源、功率半導(dǎo)體、微波射頻器件的“核芯”材料和電子元器件,可以起到減小體積簡(jiǎn)化系統(tǒng),提升功率密度的作用。



現(xiàn)階段,國(guó)內(nèi)仍未建立專門針對(duì)碳化硅功率半導(dǎo)體器件的試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)和評(píng)價(jià)方法,碳化硅功率半導(dǎo)體器件的驅(qū)動(dòng)技術(shù)和保護(hù)技術(shù)仍需加強(qiáng)。因此,國(guó)內(nèi)中游廠商為提高碳化硅器件柵級(jí)工作壽命和穩(wěn)定性,迫切需要對(duì)碳化硅功率半導(dǎo)體器件進(jìn)行多種測(cè)試,提高碳化硅功率半導(dǎo)體器件的使用壽命和穩(wěn)定性。


航裕電源運(yùn)用十余年專業(yè)電源研發(fā)制造技術(shù),服務(wù)于國(guó)家科創(chuàng)興國(guó)戰(zhàn)略,為功率半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展竭盡全力,推出多款碳化硅半導(dǎo)體器件測(cè)試專用電源,推動(dòng)碳化硅、氮化鎵等半導(dǎo)體器件制造工藝的提升與發(fā)展,助力功率半導(dǎo)體科創(chuàng)事業(yè)騰飛。


1、 靜態(tài)特性測(cè)試


碳化硅功率半導(dǎo)體器件的柵極氧化層面臨著更高的電場(chǎng)強(qiáng)度。由于制造工藝導(dǎo)致碳化硅功率半導(dǎo)體器件界面態(tài)密度高出了近2~3個(gè)數(shù)量級(jí),由此引起的柵極閾值電壓不穩(wěn)定性嚴(yán)重影響了碳化硅的可靠性。


■ 耐壓測(cè)試


耐壓測(cè)試是最常見(jiàn)的靜態(tài)測(cè)試。它包括施加一個(gè)預(yù)設(shè)好的電壓,輸出電壓作用于被測(cè)物,并持續(xù)一段時(shí)間,電壓值和持續(xù)時(shí)間長(zhǎng)短視具體應(yīng)用工況而定。


該測(cè)試可采用以下電源


HY-HV系列可編程高壓直流電源

*高壓小電流電源,電壓耐久性測(cè)試專用



■ 輸出電壓型號(hào)有2kV、3kV、4kV、5kV、6kV、8kV、10kV、15kV、20kV······50kV等

■ 高功率密度:?jiǎn)螜C(jī)最大150kW

■ 工作模式:恒壓CV、恒流CC,CV/CC優(yōu)先可設(shè)

■ 支持前面板編程,無(wú)須上位機(jī)軟件控制

■ 上升和下降斜率可調(diào)(電壓/電流)

■ 電源輸出軟啟動(dòng)功能

■ 16 bits D/A 高精度轉(zhuǎn)換器,輸出精確

■ 20 bits A/D 高精度轉(zhuǎn)換器,回讀更準(zhǔn)


■ 高壓擊穿測(cè)試


碳化硅禁帶寬度為硅的3倍左右,意味著需要更大的能量來(lái)激發(fā)電子導(dǎo)電,要求很高的擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度。


航裕電源HY-HVL系列線性可編程高壓直流電源,輸出電壓型號(hào)有1.25kV、2.5kV、5kV、10kV、15kV、20kV、30kV、40kV、50kV等多種范圍可選,滿足多元化高壓器件擊穿測(cè)試需求,具有高精度,低干擾,低紋波等優(yōu)勢(shì),適合高精密測(cè)試與測(cè)量,可進(jìn)行高壓器件擊穿測(cè)試、高壓組件測(cè)試、高壓電阻率測(cè)試、絕緣耐壓測(cè)試、二極管反偏測(cè)試等。


該測(cè)試可采用以下電源


HY-HVL系列線性可編程高壓直流電源

*滿足高壓、高精度的測(cè)試需求



■ 輸出電壓型號(hào)有1.25kV、2.5kV、5kV、10kV、15kV、20kV、30kV、40kV、50kV等

■ 輸出電流范圍:500μA-50mA

■ 工作模式:恒壓CV、恒流CC,CV/CC優(yōu)先可設(shè)

■ 超低干擾、超低紋波,適合高精密測(cè)試與測(cè)量

■ 支持前面板編程,無(wú)須上位機(jī)軟件控制

■ 上升和下降斜率可調(diào)(電壓/電流)

■ 電源輸出軟啟動(dòng)功能,應(yīng)對(duì)感性負(fù)載

■ 16 bits D/A 高精度轉(zhuǎn)換器,輸出精確

■ 20 bits A/D 高精度轉(zhuǎn)換器, 回讀更準(zhǔn)


■ 老化試驗(yàn)


通過(guò)老化試驗(yàn),模擬碳化硅功率半導(dǎo)體器件實(shí)際工況電環(huán)境,進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的測(cè)試,檢驗(yàn)產(chǎn)品的性能,從而知道產(chǎn)品的使用壽命。


該測(cè)試可采用以下電源


HY-S系列1U超薄型可編程直流電源

*超薄機(jī)身,穩(wěn)定供電,易于集成



■ 采用新型碳化硅材料,空間小,效率高

■ 尺寸:483(W) * 445.5(D) * 44.5(H) mm

■ 輸出電壓最大1500V,輸出電流最大360A

■ 高功率密度5kW

■ 抗震,軍品級(jí)三防(防霉菌、防潮濕、防鹽霧)

■ 工作模式:恒壓CV、恒流CC,CV/CC優(yōu)先可設(shè)

■ 輸入標(biāo)配PFC,功率因素高達(dá)0.99

■ 上升和下降斜率可調(diào)(電壓/電流)

■ 電源輸出軟啟動(dòng)功能,應(yīng)對(duì)感性負(fù)載

■ 16 bits D/A 高精度轉(zhuǎn)換器,輸出精確

■ 20 bits A/D 高精度轉(zhuǎn)換器,回讀更準(zhǔn)


HY-PM系列可編程多功能直流電源

*低壓大電流電源,電流耐久性測(cè)試專用



■ 單機(jī)輸出電流最大1.5kA,可并聯(lián)輸出3kA、5kA、10kA、15kA等規(guī)格,最大至30kA

■ 高功率密度:?jiǎn)螜C(jī)最大5kW/2U&15kW/3U

■ 更大功率可通過(guò)并聯(lián)實(shí)現(xiàn)

■ 工作模式:恒壓CV、恒流CC,CV/CC優(yōu)先可設(shè)

■ 輸入標(biāo)配 PFC,功率因素高達(dá)0.99

■ 支持前面板編程,無(wú)須上位機(jī)軟件控制

■ 上升和下降斜率可調(diào)(電壓/電流)

■ 電源輸出軟啟動(dòng)功能,應(yīng)對(duì)感性負(fù)載

■ 16 bits D/A 高精度轉(zhuǎn)換器,輸出精確

■ 20 bits A/D 高精度轉(zhuǎn)換器,回讀更準(zhǔn)


HY-HV系列可編程高壓直流電源

*高壓小電流電源,電壓耐久性測(cè)試專用



■ 輸出電壓型號(hào)有2kV、5kV、10kV、15kV、20kV、50kV等

■ 高功率密度:?jiǎn)螜C(jī)最大150kW

■ 工作模式:恒壓CV、恒流CC,CV/CC優(yōu)先可設(shè)

■ 支持前面板編程,無(wú)須上位機(jī)軟件控制

■ 上升和下降斜率可調(diào)(電壓/電流)

■ 電源輸出軟啟動(dòng)功能

■ 16 bits D/A 高精度轉(zhuǎn)換器,輸出精確

■ 20 bits A/D 高精度轉(zhuǎn)換器,回讀更準(zhǔn)


HY-HP系列可編程大功率直流電源

*滿足大功率測(cè)試需求



■ 輸出功率型號(hào)有20kW、30kW、50kW、100kW、150kW······300kW等型號(hào),最大可至2000kW

■ 輸出電壓 最大 2000V

■ 輸出電流 最大 30000A

■ 工作模式:恒壓CV、恒流CC,CV/CC優(yōu)先可設(shè)

■ 162 種電壓/電流組合,可供用戶自由選擇

■ 支持前面板編程,無(wú)須上位機(jī)軟件控制

■ 上升和下降斜率可調(diào)(電壓/電流)

■ 電源輸出軟啟動(dòng)功能,應(yīng)對(duì)感性負(fù)載

■ 16 bits D/A 高精度轉(zhuǎn)換器,輸出精確

■ 20 bits A/D 高精度轉(zhuǎn)換器,回讀更準(zhǔn)


2、 動(dòng)態(tài)特性測(cè)試


碳化硅功率半導(dǎo)體器件的遲滯現(xiàn)象取決于界面態(tài)的充放電情況。當(dāng)器件從積累到耗盡,再變成反轉(zhuǎn)時(shí),費(fèi)米能級(jí)快速穿過(guò)碳化硅帶隙,使得界面態(tài)進(jìn)入非穩(wěn)態(tài),并發(fā)生供體陷阱的放電,這將影響到碳化硅MOSFET的動(dòng)態(tài)性能,導(dǎo)致漏極電流過(guò)調(diào),從而增加開(kāi)關(guān)損耗,加速器件老化。并且也會(huì)導(dǎo)致短路時(shí)峰值電流的增加,加劇短路工況。


該測(cè)試可采用以下電源


HY-PM系列可編程多功能直流電源

*電流上升時(shí)間小于5毫秒,專用于電流瞬動(dòng)試驗(yàn)



■ 單機(jī)輸出電流最大1.5kA,可并聯(lián)輸出3kA、5kA、10kA、15kA等規(guī)格,最大至30kA

■ 高功率密度:?jiǎn)螜C(jī)最大5kW/2U&15kW/3U

■ 更大功率可通過(guò)并聯(lián)實(shí)現(xiàn)

■ 工作模式:恒壓CV、恒流CC,CV/CC優(yōu)先可設(shè)

■ 輸入標(biāo)配PFC,功率因素高達(dá)0.99

■ 支持前面板編程,無(wú)須上位機(jī)軟件控制

■ 上升和下降斜率可調(diào)(電壓/電流)

■ 電源輸出軟啟動(dòng)功能,應(yīng)對(duì)感性負(fù)載

■ 16 bits D/A 高精度轉(zhuǎn)換器,輸出精確

■ 20 bits A/D 高精度轉(zhuǎn)換器,回讀更準(zhǔn)


HY-S系列1U超薄型可編程直流電源

*超薄機(jī)身,穩(wěn)定供電、易于集成



■ 采用新型碳化硅材料,空間小,效率高

■ 尺寸:483(W) * 445.5(D) * 44.5(H) mm

■ 輸出電壓最大1500V,輸出電流最大360A

■ 高功率密度5kW

■ 抗震,軍品級(jí)三防(防霉菌、防潮濕、防鹽霧)

■ 工作模式:恒壓CV、恒流CC,CV/CC優(yōu)先可設(shè)

■ 輸入標(biāo)配PFC,功率因素高達(dá)0.99

■ 上升和下降斜率可調(diào)(電壓/電流)

■ 電源輸出軟啟動(dòng)功能,應(yīng)對(duì)感性負(fù)載

■ 16 bits D/A 高精度轉(zhuǎn)換器,輸出精確

■ 20 bits A/D 高精度轉(zhuǎn)換器,回讀更準(zhǔn)


航裕電源始終堅(jiān)持“專、精、特”的產(chǎn)品定位并瞄準(zhǔn)“進(jìn)口替代”的市場(chǎng)需求的基礎(chǔ)上,提出“差異化進(jìn)口替代”和“精品制造”的發(fā)展戰(zhàn)略。


航裕電源追求卓越,目標(biāo)成為國(guó)際一流電源企業(yè)。十年來(lái),服務(wù)國(guó)家戰(zhàn)略,致力于中國(guó)測(cè)試電源技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展,積極探尋國(guó)內(nèi)中高端電源需求,不斷提高電源技術(shù)研發(fā)和應(yīng)用水平,為客戶提供更精準(zhǔn)、便捷、智能的測(cè)試解決方案。


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